[發(fā)明專利]對準掩模組件方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410165421.X
• 申請日: 2014-04-23
• 公開（公告）號: CN104419891B
• 公開（公告）日: 2018-11-16
• 發(fā)明（設計）人: 韓政洹
• 申請（專利權）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04
• 代理公司: 北京英賽嘉華知識產(chǎn)權代理有限責任公司 11204
• 代理人: 余朦;王艷春

1.一種對準掩模組件方法，包括：

提供掩模組件，所述掩模組件包括掩模和掩模框架；以及

通過獨立地移動所述掩模框架的下部和所述掩模框架的上部中至少之一的位置，調(diào)整所述掩模框架，

其中，在調(diào)整所述掩模框架的步驟中，通過使用下框架位置控制器和上框架位置控制器，所述掩模框架的上部的位置被移動得比所述掩模框架的下部的位置更遠，以控制所述掩模框架的扭曲，其中所述下框架位置控制器和所述上框架位置控制器被安裝至用于固定所述掩模組件的掩模臺。

2.如權利要求1所述的方法，其中，

所述下框架位置控制器與所述掩模臺的下部相連接，以及

所述上框架位置控制器與所述掩模臺的上部相連接。

3.如權利要求2所述的方法，其中，

所述下框架位置控制器包括：

下支承件；

下驅動器，安裝至所述下支承件，并配置成產(chǎn)生第一驅動力；以及

下驅動力傳輸單元，連接至所述下驅動器，以通過使用所述第一驅動力控制所述掩模框架的下部的位置，以及

所述上框架位置控制器包括：

上支承件；

上驅動器，安裝至所述上支承件，并配置成產(chǎn)生第二驅動力；以及

上驅動力傳輸單元，連接至所述上驅動器，以通過使用所述第二驅動力控制所述掩模框架的上部的位置。

4.如權利要求3所述的方法，其中，

所述下驅動器和所述上驅動器均包括馬達，

所述下驅動力傳輸單元和所述上驅動力傳輸單元均包括螺紋部分。

5.如權利要求2所述的方法，還包括：

安裝防塵器至所述下框架位置控制器和所述上框架位置控制器。

6.如權利要求2所述的方法，其中所述下框架位置控制器和所述上框架位置控制器中至少之一以與所述下框架位置控制器和所述上框架位置控制器中另一個的數(shù)量不同的數(shù)量設置有多個。