[發明專利]光學非破壞檢查裝置以及光學非破壞檢查方法

無效

• 申請號: 201410163535.0
• 申請日: 2014-04-22
• 公開（公告）號: CN104122296A
• 公開（公告）日: 2014-10-29
• 發明（設計）人: 松本直樹;吉田航也;松本順
• 申請（專利權）人: 株式會社捷太格特
• 主分類號: G01N25/72
• 分類號: G01N25/72;G01J5/10;G01N25/20
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 李洋;蘇琳琳

本發明將在2013年4月26日提交的日本專利申請No.2013-093850的公開內容，包括其說明書、附圖以及摘要，通過引用全部并入本文中。

技術領域

本發明涉及光學非破壞檢查裝置以及光學非破壞檢查方法。

背景技術

在半導體芯片上通過引線接合連接電極情況下，利用各種方法來接合電極和引線，但需要對適當地接合電極和引線進行檢查。以往，作業者利用顯微鏡等放大接合處來目視檢查，或者抽出規定的樣本，破壞電極和引線來檢查其強度等。在作業者目視檢查的情況下，產生作業者的技能的差異、即使是相同的作業者也因疲勞、身體狀況等所帶來的差異，檢查結果的可靠性較低，檢查的效率也不高。另外，在利用抽出樣本進行破壞檢查的情況下，不能夠保證實際作為樣本未被破壞的對象物的全部(未被抽出的剩余的全部)是與破壞的樣本相同的狀態。

因此，在日本特開2011－191232號公報所記載的以往技術中記載有，為了非接觸地根據接合部的面積來判定利用引線接合的接合狀態的合格與否，利用激光對引線的對象位置進行加熱，并對從加熱位置放射的微少量的紅外線使用兩波長紅外輻射溫度計，來測定達到飽和溫度為止的溫度變動，根據溫度變動來求出與接合面積有關的數值，并根據該數值來判定合格與否的、微小徑引線接合的合格與否判定方法以及判定裝置。

在本技術中，測定加熱而達到飽和溫度為止的溫度上升狀態，但使用不同的兩波長的紅外線來測定溫度，而不進行使用了測定處的反射率或者放射率的修正。另外，在利用不同的兩波長的紅外線之比的方法中，實際上，根據選定哪個兩波長，決定測定精度、可測定的溫度范圍。

另外，在日本特開2008－145344號公報所記載的以往技術中記載有，利用激光將接合部位加熱至規定溫度后，使用溫度測定用紅外線傳感器，來測定停止激光照射之后的溫度的下降狀態，并基于溫度下降狀態來判定接合狀態的合格與否的微小的金屬接合部位的評價方法。另外，具備反射率測定用激光和反射率測定用紅外線傳感器，測定反射率來修正檢測出的溫度下降狀態。

在本技術中，利用反射率測定用的紅外線傳感器來檢測照射反射率測定用激光的結果。換句話說，為了測定反射率，利用反射率測定用激光來加熱對象，除了本來的加熱用激光的加熱，還利用反射率測定用激光加熱。如果是這樣的話，依然存在在測定結果的溫度下降特性中重疊了反射率測定用激光的溫度，還是否能夠進行適當的修正的疑問。另外，加熱時達到飽和溫度為止的時間一般是數10ms左右，而加熱后的溫度下降時間一般花費數10秒～數分鐘左右，在測定溫度下降時間的本技術中，檢查時間非常長，所以不優選。

在專利第4857422號公報中所記載的其它以往技術中記載了，在真空室內的高頻線圈內使試料熔融、浮游，導入忠實地表現基于激光加熱的熱物性值測定法的熱傳導的基礎式，能夠直接地測定因高溫熔融的導電材料的真實的熱物性的熱物性測定方法以及測定裝置。本技術是使用非常大規模的裝置，使試料熔融且浮游的方法，不能夠應用于引線接合的接合狀態的檢查。

發明內容

本發明的目的之一在于提供一種能夠更短時間、且更高可靠性地檢查引線接合處等的測定對象物，且能夠使測定的溫度范圍更寬的光學非破壞檢查裝置以及光學非破壞檢查方法。

本發明的一方式是具備以下的構成要素的光學式非破壞檢查裝置。其構成要素是，

聚光準直裝置，其從第2側射出沿著光軸從第1側入射的平行光，朝向作為焦點位置而設定在測定對象物上的測定點進行聚光，并且將從上述測定點放射以及被反射并從第2側入射的光變換為沿著光軸的平行光并從第1側射出；

加熱用激光光源，其射出不破壞測定對象物而進行加熱的激光；

加熱用激光導光裝置，其將上述加熱用激光向上述聚光準直裝置的第1側引導；

紅外線檢測器，其能夠檢測從上述測定點放射的紅外線；

放射紅外線導光裝置，其從由上述測定點放射且從上述聚光準直裝置的第1側射出的平行光中將所規定的紅外線波長的紅外線向上述紅外線檢測器引導；

修正用激光光源，其射出與上述加熱用激光相比是小的輸出且波長不同的修正用激光；

修正用激光導光裝置，其將上述修正用激光向上述聚光準直裝置的第1側引導；

修正用激光檢測器，其能夠檢測被上述測定點反射的上述修正用激光；

反射激光導光裝置，其將被上述測定點反射并從上述聚光準直裝置的第1側射出的上述修正用激光向上述修正用激光檢測器引導；以及

控制裝置，