[發明專利]光學非破壞檢查裝置以及光學非破壞檢查方法

無效

• 申請號: 201410163535.0
• 申請日: 2014-04-22
• 公開（公告）號: CN104122296A
• 公開（公告）日: 2014-10-29
• 發明（設計）人: 松本直樹;吉田航也;松本順
• 申請（專利權）人: 株式會社捷太格特
• 主分類號: G01N25/72
• 分類號: G01N25/72;G01J5/10;G01N25/20
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 李洋;蘇琳琳

1.一種光學非破壞檢查裝置，其特征在于，包括：

聚光準直裝置，其從第2側射出沿著光軸從第1側入射的平行光，朝向作為焦點位置而設定在測定對象物上的測定點進行聚光，并且將從所述測定點放射以及被反射并從第2側入射的光變換為沿著光軸的平行光并從第1側射出；

加熱用激光光源，其射出不破壞測定對象物而進行加熱的激光；

加熱用激光導光裝置，其將所述加熱用激光向所述聚光準直裝置的第1側引導；

紅外線檢測器，其能夠檢測從所述測定點放射的紅外線；

放射紅外線導光裝置，其從由所述測定點放射并從所述聚光準直裝置的第1側射出的平行光中將所規定的紅外線波長的紅外線向所述紅外線檢測器引導；

修正用激光光源，其射出與所述加熱用激光相比是小的輸出且波長不同的修正用激光；

修正用激光導光裝置，其將所述修正用激光向所述聚光準直裝置的第1側引導；

修正用激光檢測器，其能夠檢測被所述測定點反射的所述修正用激光；

反射激光導光裝置，其將被所述測定點反射并從所述聚光準直裝置的第1側射出的所述修正用激光向所述修正用激光檢測器引導；以及

控制裝置，

所述控制裝置控制所述加熱用激光光源和所述修正用激光光源，并且，基于來自所述紅外線檢測器的檢測信號和來自所述修正用激光檢測器的檢測信號，測定與加熱時間對應的所述測定點的溫度上升狀態亦即溫度上升特性，并基于測定出的所述溫度上升特性來判定測定對象物的狀態。

2.根據權利要求1所述的光學非破壞檢查裝置，其特征在于，

所述加熱用激光導光裝置包括：

加熱用激光準直裝置，其被配置在所述加熱用激光光源的附近，將從所述加熱用激光光源射出的加熱用激光變換為平行光；和

加熱激光用選擇反射裝置，其被配置在所述聚光準直裝置的光軸上，使所述加熱用激光朝向所述聚光準直裝置的第1側反射，并且，使從所述測定點放射以及被反射并從所述聚光準直裝置的第1側射出的平行光中的、與加熱用激光的波長不同的波長的光透過；或

加熱激光用選擇反射裝置，其被配置在所述聚光準直裝置的光軸上，使所述加熱用激光朝向所述聚光準直裝置的第1側透過，并且，對從所述測定點放射以及被反射并從所述聚光準直裝置的第1側射出的平行光中的、與加熱用激光的波長不同的波長的光進行反射。

3.根據權利要求2所述的光學非破壞檢查裝置，其特征在于，

所述放射紅外線導光裝置包括：

所述加熱激光用選擇反射裝置；和

規定紅外線用選擇反射裝置，其被配置在從所述聚光準直裝置的第1側射出并透過所述加熱激光用選擇反射裝置或者被所述加熱激光用選擇反射裝置反射的平行光、且與加熱用激光的波長不同的波長的平行光的路徑上，使該平行光中規定紅外線波長的紅外線朝向所述紅外線檢測器透過，并且反射與所述規定紅外線波長不同的波長的平行光；或

規定紅外線用選擇反射裝置，其被配置在從所述聚光準直裝置的第1側射出并透過所述加熱激光用選擇反射裝置或者被所述加熱激光用選擇反射裝置反射的平行光、且與加熱用激光的波長不同的波長的平行光的路徑上，使該平行光中規定紅外線波長的紅外線朝向所述紅外線檢測器反射，并且使與所述規定紅外線波長不同的波長的平行光透過；和

紅外線聚光裝置，其被配置在所述紅外線檢測器的附近，使由所述規定紅外線用選擇反射裝置透過或反射的規定紅外線波長的平行光的紅外線朝向所述紅外線檢測器進行聚光。