[發(fā)明專利]強酸集中供液系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410159200.1
• 申請日: 2014-04-18
• 公開（公告）號: CN103939739B
• 公開（公告）日: 2017-01-11
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王廣軍;劉亞偉;劉付炯;楊慶杰
• 申請（專利權(quán)）人: 無錫尚德太陽能電力有限公司;洛陽尚德太陽能電力有限公司
• 主分類號: H01L21/00
• 分類號: H01L21/00;F17D1/08
• 代理公司: 無錫市大為專利商標事務(wù)所(普通合伙)32104
• 代理人: 曹祖良,劉海

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種強酸集中供液系統(tǒng)，尤其是一種減少酸氣溢出、提高抽酸量的供液裝置。

背景技術(shù)

強酸（包含HF、HCl、HNO₃、H₂SO₄等）一般采用集中供液系統(tǒng)，采取特殊的措施，方便集中管理和使用。強酸從集中供液房通過輸送系統(tǒng)，送到不同的地方，以滿足到不同的工藝需求。現(xiàn)有技術(shù)中，集中供酸系統(tǒng)一般采用如圖1所示的結(jié)構(gòu)，在泵2a的出液端的管道上連接回液管3a，但是由于回液管3a與儲酸槽5a之間未密封，空氣和酸氣可以自由進出，空氣中的灰塵進入儲酸槽5a會污染酸液，對工藝造成潛在影響，對要求高的半導(dǎo)體行業(yè)是不可忽視的因素；并且，酸氣溢出也會造成集中供液房酸氣大，影響工人身心健康。另外，現(xiàn)有的集中供液系統(tǒng)由于抽液管的設(shè)計不夠合理，酸液抽不凈，余量一般為了5%～8%，造成浪費。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足，提供一種強酸集中供液系統(tǒng)，防止酸氣溢出對環(huán)境、健康的影響，并且使液管最大限度的抽酸，減少浪費。

按照本發(fā)明提供的技術(shù)方案，所述強酸集中供液系統(tǒng)，包括儲酸罐，儲酸罐中插入出液管，出液管的管口插入儲酸罐的槽底，出液管與泵的進口連接，泵的出口端的管道與回液管連接，回液管與儲酸槽之間密封，回液管插入儲酸槽中；其特征是：在所述回液管上連接進氣管，進氣管的進氣端連接單向閥和過濾器。

所述出液管伸入儲酸槽中的長度比儲酸槽的高度長6～10mm，出液管伸入儲酸槽中的部分呈弧形，出液管的管口抵住儲酸槽的槽底。

在所述出液管的管口設(shè)置多個缺口。

所述缺口為半圓形、鋸齒形或矩形，缺口的高度為出液管半徑的一半。

所述回液管的管口位于儲酸槽的液面以上。

本發(fā)明所述強酸集中供液系統(tǒng)通過單向閥、過濾器，避免了酸氣溢出對環(huán)境、健康的影響；并且重新對出液管進行設(shè)計，使管子最大限度的抽酸，減少浪費。

附圖說明

圖1為現(xiàn)有技術(shù)中集中供酸系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3為所述出液管管口的示意圖。

具體實施方式

下面結(jié)合具體附圖對本發(fā)明作進一步說明。

如圖2～圖3所示：所述強酸集中供液系統(tǒng)包括缺口1、泵2、回液管3、出液管4、儲酸罐5、過濾器6、單向閥7、進氣管8等。

如圖2所示，本發(fā)明包括儲酸罐5，儲酸罐5中插入出液管4，出液管4的管口插入儲酸罐5的槽底，出液管4與泵2的進口連接，泵2的出口端的管道與回液管3連接，回液管3插入儲酸槽5中，回液管3與儲酸槽5之間密封，回液管3的管口位于儲酸槽5的液面以上；在所述回液管3上連接進氣管8，進氣管8的進氣端連接單向閥7和過濾器6，過濾器6可以防止灰塵進入儲酸罐5，單向閥7可以保證空氣只能進入補壓而不能出；

所述出液管4伸入儲酸槽5中的長度加長6～10mm、并且出液管4呈弧形，出液管4的管口抵住儲酸槽5的槽底；如圖3所示，在所述出液管4的管口設(shè)置4個半圓形缺口1，缺口1的半徑為出液管4半徑的一半，比如出液管4半徑為10mm，缺口1應(yīng)開半徑5mm，這樣最后余量液面會低于1厘米，對于200L的儲酸槽5酸液余量會小于2%；

所述缺口1的形狀也可以為鋸齒形、矩形或其它形狀，高度為出液管4半徑的一半。

采用本發(fā)明所述的強酸集中供液系統(tǒng)后，酸氣濃度從以前的10-100ppm,降低到0-0.5ppm；酸的殘余量由以前的5-10KG/桶，降低到3-5?KG/桶。