[發(fā)明專(zhuān)利]一種真空鎖定腔室

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410150611.4
• 申請(qǐng)日: 2014-04-15
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN105097600B
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-07-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 宋瑞智
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/67
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/67
• 代理公司: 北京天昊聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;張?zhí)焓?/td>

本發(fā)明提供了一種真空鎖定腔室，包括擴(kuò)散器和充氣閥，擴(kuò)散器包括過(guò)濾器，過(guò)濾器位于真空鎖定腔室內(nèi)，且過(guò)濾器與充氣閥相連，氣體依次經(jīng)由充氣閥和過(guò)濾器輸送至真空鎖定腔室內(nèi)，以實(shí)現(xiàn)對(duì)真空鎖定腔室充氣，過(guò)濾器設(shè)置在真空鎖定腔室的中心區(qū)域，且為沿真空鎖定腔室的周向設(shè)置的環(huán)形結(jié)構(gòu)，以使氣體在真空鎖定腔室內(nèi)均勻地?cái)U(kuò)散。本發(fā)明提供的真空鎖定腔室，可以提高測(cè)量真空鎖定腔室壓力的準(zhǔn)確性，因而可以提高充氣過(guò)程中控制精度，從而可以避免過(guò)充現(xiàn)象的發(fā)生。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于半導(dǎo)體加工技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種真空鎖定腔室。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體加工設(shè)備用于對(duì)基片等被加工工件完成刻蝕、濺射沉積等工藝，主要包括工藝系統(tǒng)和傳輸系統(tǒng)，工藝系統(tǒng)一般為真空環(huán)境，用于完成刻蝕等工藝過(guò)程；傳輸系統(tǒng)用于實(shí)現(xiàn)基片在位于大氣環(huán)境中的片盒和真空環(huán)境的工藝系統(tǒng)之間的傳輸；為實(shí)現(xiàn)基片在真空環(huán)境和大氣環(huán)境的傳輸，半導(dǎo)體加工設(shè)備包括真空鎖定腔室，當(dāng)將待加工基片傳輸至工藝系統(tǒng)中時(shí)，先將待加工基片傳輸至大氣環(huán)境的真空鎖定腔室內(nèi)，之后對(duì)真空鎖定腔室抽真空，之后再將待加工基片傳輸至工藝系統(tǒng)；當(dāng)將已加工基片自工藝系統(tǒng)傳輸至片盒中時(shí)，將已加工基片傳輸至真空環(huán)境的真空鎖定腔室內(nèi)，之后對(duì)真空鎖定腔室充氣，之后再將已加工基片傳輸至片盒內(nèi)。

圖1為現(xiàn)有的真空鎖定腔室的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為圖1中所示擴(kuò)散器的結(jié)構(gòu)示意圖。請(qǐng)一并參閱圖1和圖2，該真空鎖定腔室10由上蓋101和腔體102形成，且真空鎖定腔室包括觀察窗107、擴(kuò)散器103、抽氣孔104、抽氣閥105和壓力計(jì)106，其中，觀察窗107設(shè)置在上蓋101上，用以透過(guò)該觀察窗107可觀察真空鎖定腔室10內(nèi)；壓力計(jì)106用于測(cè)量真空鎖定腔室10內(nèi)的壓力；擴(kuò)散器103設(shè)置在上蓋上，用以向真空鎖定腔室10內(nèi)充氣（例如，氮?dú)猓鐖D2所示，擴(kuò)散器103由電拋光的不銹鋼管a、焊接式接頭b以及孔徑為0.012μm高純度的柱狀過(guò)濾器c組成，擴(kuò)散器103的A端接充氣閥（圖中未示出），在對(duì)真空鎖定腔室10充氣時(shí)，抽氣閥105關(guān)閉以及充氣閥打開(kāi)，所充氣體自充氣閥進(jìn)入柱形過(guò)濾器c再擴(kuò)散至真空鎖定腔室10內(nèi)，并根據(jù)壓力計(jì)106測(cè)量的當(dāng)前腔室壓力，判斷是否與第一預(yù)設(shè)壓力相等，若是，停止充氣，若否，繼續(xù)充氣；抽氣孔104的一端真空鎖定腔室10相連通，另一端與抽氣閥105的一端連接，在對(duì)真空鎖定腔室10抽氣時(shí)，充氣閥關(guān)閉以及抽氣閥105打開(kāi)，抽氣閥105的另一端與干泵連接，借助干泵將真空鎖定腔室10內(nèi)的氣體依次自抽氣孔104和抽氣閥105排出，并根據(jù)壓力計(jì)106測(cè)量的當(dāng)前腔室壓力，判斷是否與第二預(yù)設(shè)壓力相等，若是，停止抽氣，若否，繼續(xù)抽氣。

然而，采用上述真空鎖定腔室10在實(shí)際應(yīng)用中往往會(huì)存在以下問(wèn)題：

由于擴(kuò)散器103設(shè)置在上蓋101的邊緣區(qū)域，且其過(guò)濾器c為柱形結(jié)構(gòu)，而壓力計(jì)106的測(cè)量位置位于真空鎖定腔10內(nèi)的遠(yuǎn)離擴(kuò)散器103一端，如圖1所示，并且在充氣過(guò)程中氣流在腔室內(nèi)需要進(jìn)行擴(kuò)散過(guò)程，因此，在充氣的一段時(shí)間內(nèi)靠近擴(kuò)散器103的氣體濃度大于靠近壓力計(jì)103的氣體濃度，即，造成真空鎖定腔室10氣流不均勻，這使得壓力計(jì)106在測(cè)量位置處測(cè)量到的壓力小于腔室內(nèi)其他位置處的壓力，因而會(huì)導(dǎo)致壓力計(jì)106測(cè)量會(huì)延遲，從而造成壓力計(jì)106測(cè)量腔室10內(nèi)整體壓力的精確度低，進(jìn)而會(huì)產(chǎn)生過(guò)充現(xiàn)象，造成由于真空鎖定腔室10的內(nèi)外壓差使得真空鎖定腔室10的門(mén)閥無(wú)法正常打開(kāi)。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明旨在解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問(wèn)題，提供了一種真空鎖定腔室，其可以提高測(cè)量真空鎖定腔室壓力的準(zhǔn)確性，因而可以提高充氣過(guò)程中控制精度，從而可以避免過(guò)充現(xiàn)象的發(fā)生。

為解決上述問(wèn)題，本發(fā)明提供了一種真空鎖定腔室，包括擴(kuò)散器和充氣閥，所述擴(kuò)散器包括過(guò)濾器，所述過(guò)濾器位于所述真空鎖定腔室內(nèi)，且所述過(guò)濾器與所述充氣閥相連，氣體依次經(jīng)由所述充氣閥和過(guò)濾器輸送至所述真空鎖定腔室內(nèi)，以實(shí)現(xiàn)對(duì)所述真空鎖定腔室充氣，所述過(guò)濾器設(shè)置在所述真空鎖定腔室的中心區(qū)域，且為沿所述真空鎖定腔室的周向設(shè)置的環(huán)形結(jié)構(gòu)，以使氣體在所述真空鎖定腔室內(nèi)均勻地?cái)U(kuò)散。