[發明專利]光學式非破壞檢查裝置以及光學式非破壞檢查方法

無效

• 申請號: 201410150382.6
• 申請日: 2014-04-15
• 公開（公告）號: CN104111258A
• 公開（公告）日: 2014-10-22
• 發明（設計）人: 松本直樹;吉田航也;松本順
• 申請（專利權）人: 株式會社捷太格特
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 李洋;蘇琳琳

1.一種光學式非破壞檢查裝置，其構成為包括：

聚光準直裝置，其使沿著光軸從第一側入射的平行光從第二側射出，朝向作為焦點位置設定在測定對象物上的測定點聚光，并且將從所述測定點放射以及被反射而從第二側入射的光變換為沿著光軸的平行光，使所述平行光從第一側射出；

加熱用激光源，其射出以不破壞測定對象物的方式加熱測定對象物的激光；

加熱用激光導光裝置，其將所述加熱用激光向所述聚光準直裝置的第一側引導；

第一紅外線檢測器以及第二紅外線檢測器，它們能夠檢測出從所述測定點放射的紅外線；

控制裝置；以及

放射紅外線選擇導光裝置，其將通過所述控制裝置在從所述測定點放射且從所述聚光裝置的第一側射出的平行光中選擇出的兩個不同波長的紅外線分別向所述第一紅外線檢測器與所述第二紅外線檢測器各自引導，

其中，

所述控制裝置：

一邊控制所述加熱用激光源利用所述加熱用激光對所述測定點進行加熱，一邊獲取來自所述第一紅外線檢測器的檢測信號與來自所述第二紅外線檢測器的檢測信號，基于來自所述第一紅外線檢測器的檢測值與來自所述第二紅外線檢測器的檢測值的比測定所述測定點的溫度，

對與加熱時間對應的所述測定點的溫度上升狀態亦即溫度上升特性進行測定，基于測定出的所述溫度上升特性判斷測定對象物的狀態，

在測定過程中，根據測定出的溫度，對所述放射紅外線選擇導光裝置進行控制，來改變向所述第一紅外線檢測器與所述第二紅外線檢測器的至少一方引導的紅外線的波長。

2.根據權利要求1所述的光學式非破壞檢查裝置，其中，

所述放射紅外線選擇導光裝置構成為包括：

第一放射紅外線導光裝置，其將通過所述控制裝置在從所述測定點放射且從所述聚光準直裝置的第一側射出的平行光中選擇的第一紅外線波長的紅外線或者第二紅外線波長的紅外線的任意一方向所述第一紅外線檢測器引導；以及

第二放射紅外線導光裝置，其從自所述測定點放射且從所述聚光準直裝置的第一側射出的平行光中，將規定紅外線波長的紅外線向所述第二紅外線檢測器引導。

3.根據權利要求2所述的光學式非破壞檢查裝置，其中，

所述加熱用激光導光裝置構成為包括：

加熱用激光準直裝置，其配置于所述加熱用激光源的附近，將從所述加熱用激光源射出的加熱用激光變換為平行光；以及

加熱激光用選擇反射裝置，其配置于所述聚光準直裝置的光軸上，對所述加熱用激光朝向所述聚光準直裝置的第一側進行反射，并且使從所述測定點放射以及被反射而從所述聚光準直裝置的第一側射出的平行光中的、波長與加熱用激光的波長不同的光透過；或者該加熱激光用選擇反射裝置配置于所述聚光準直裝置的光軸上，使所述加熱用激光朝向所述聚光準直裝置的第一側透過，并且對從所述測定點放射以及被反射而從所述聚光準直裝置的第一側射出的平行光中的、與加熱用激光的波長不同的波長的光進行反射。