[發明專利]圖像處理方法、裝置和自動光學檢測機

在審

• 申請號: 201410147746.5
• 申請日: 2014-04-14
• 公開（公告）號: CN103927749A
• 公開（公告）日: 2014-07-16
• 發明（設計）人: 張岳妍
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電技術有限公司
• 主分類號: G06T7/00
• 分類號: G06T7/00
• 代理公司: 北京聿宏知識產權代理有限公司 11372
• 代理人: 吳大建;劉華聯

技術領域

本發明涉及自動光學測量技術領域，具體地說，涉及一種圖像處理方法、裝置和自動光學檢測機。

背景技術

薄膜晶體管液晶顯示屏TFT-LCD（Thin?Film?Transistor?Liquid?Crystal?Display）正朝著大尺寸、高分辨率的方向發展，并且消費者對顯示屏的視覺感受的要求也越來越高。通常采用自動光學檢測AOI（Automated?Optical?Inspection）設備監控TFT-LCD產品品質。但是，在AOI設備運行過程中通常會出現震動，導致相機拍攝圖像的清晰度降低，以至于影響檢測結果。

圖1為現有技術中彩色濾光片的RGB子像素分布示意圖。黑色矩陣BM（Black?Matrix）12排列設置在基板11上，紅色子像素13a，綠色子像素13b，藍色子像素13c間隔設置在黑色矩陣12之間。通常黑色矩陣的寬度D作為線寬CD（Critical?Demention）。在TFT-LCD制程中，RGB子像素與黑色矩陣12產生交疊，形成重疊區域（overlay）14。

在生產過程中采用AOI設備測量TFT-LCD產品的線寬CD（Critical?Demention）和重疊區域（overlay）寬度來檢測產品質量。通常AOI設備在運行中會出現震動，引起掃描圖像清晰度降低，例如線寬和重疊區域模糊，邊緣不清晰，導致測量結果不準確甚至誤判。圖2所示為震動造成掃描圖像中重疊區域模糊的示意圖。如圖2所示，測量所得重疊區域寬度L2比正常的重疊區域寬度L1小。

目前，降低AOI設備震動的方法是在機臺下方的地板做防震處理，或者將機臺基板承載體的滾壓裝置改造為平臺，進一步，還可在平臺底座加入氣浮功能，從而減少環境震動引起的基板震動。

基于上述情況，亟需一種改進的AOI圖像處理方法解決設備震動引起的掃描圖像清晰度降低的技術問題。

發明內容

本發明針對現有技術中存在的上述問題，提供了一種圖像處理方法，用于自動光學檢測過程中，包括：

檢測區域確定步驟，確定檢測圖像中的矩形檢測區域；

清晰度閾值確定步驟，根據多個樣本圖像在所述檢測區域內的每個像素點的灰度值，計算圖像清晰度閾值；

產品圖像清晰度確定步驟，根據產品圖像在所述檢測區域內的每個像素點的灰度值，計算產品圖像清晰度；

比較步驟，比較產品圖像清晰度與所述圖像清晰度閾值；當產品圖像清晰度大于所述圖像清晰度閾值時，執行產品圖像選定步驟；當產品圖像清晰度小于所述圖像清晰度閾值時，執行所述產品圖像清晰度確定步驟；

產品圖像選定步驟，選定當前產品圖像為待檢測圖像。

根據本發明的一個實施例，所述清晰度閾值確定步驟包括：

樣本掃描步驟，對同一檢測樣本進行多次掃描獲得與標準片匹配的多個樣本圖像；

閾值計算步驟，分別獲取多個樣本圖像在所述檢測區域內的每個像素點的灰度值，計算圖像清晰度閾值。

根據本發明的一個實施例，所述產品圖像清晰度確定步驟包括：

產品掃描步驟，掃描產品獲得產品圖像；

圖像清晰度計算步驟，獲取產品圖像中所述檢測區域內的每個像素點的灰度值，計算產品圖像清晰度。

根據本發明的一個實施例，所述閾值計算步驟包括：

獲取每一樣本圖像在所述檢測區域內像素點的灰度值；

分別計算每一樣本圖像中所述檢測區域內每一行相鄰像素點灰度值的差值的絕對值，選取絕對值的最大值為樣本圖像行灰度差值；選取樣本圖像行灰度差值的最大值為當前樣本圖像的樣本清晰度；

選取全部樣本清晰度的最小值為所述圖像清晰度閾值。

根據本發明的一個實施例，所述圖像清晰度計算步驟包括：

獲取產品圖像在所述檢測區域內像素點的灰度值；

分別計算產品圖像中所述檢測區域內每一行相鄰像素點灰度值的差值的絕對值，選取絕對值的最大值為產品圖像行灰度差值；選取產品圖像行灰度差值的最大值為產品圖像清晰度。

根據本發明的另一個方面，提供一種圖像處理裝置，用于自動光學檢測機中，包括：

檢測區域確定單元，用于確定檢測圖像中矩形檢測區域；

清晰度閾值確定單元，用于根據多個樣本圖像在所述檢測區域內的每個像素點的灰度值，計算圖像清晰度閾值；

產品圖像清晰度確定單元，用于根據產品圖像在所述檢測區域內的每個像素點的灰度值，計算產品圖像清晰度；