[發(fā)明專利]一種半導體處理系統(tǒng)中流體除氣泡裝置及其除氣泡方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410146171.5
• 申請日: 2014-04-11
• 公開（公告）號: CN104971522B
• 公開（公告）日: 2017-01-25
• 發(fā)明（設計）人: 程虎;李寶
• 申請（專利權）人: 沈陽芯源微電子設備有限公司
• 主分類號: B01D19/02
• 分類號: B01D19/02
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標代理有限公司21002
• 代理人: 白振宇

1.一種半導體處理系統(tǒng)中流體除氣泡裝置，其特征在于：包括液體容器（1）、液體泵（2）、三通接頭（3）、第一控制器（4）、第一通斷閥（5）、噴嘴（6）、第二控制器（7）、第二通斷閥（8）、廢液回收桶（9）及液體泵控制器（10），其中三通接頭（3）分別通過管路與由液體泵控制器（10）控制開關的液體泵（2）、由第一控制器（4）控制開關的第一通斷閥（5）及由第二控制器（7）控制開關的第二通斷閥（8）相連通，所述液體容器（1）通過管路與液體泵（2）相連通、為所述除氣泡裝置提供液體，所述廢液回收桶（9）通過管路與第一通斷閥（5）相連通、回收經(jīng)所述第一通斷閥（5）流出的液體，所述噴嘴（6）通過管路與第二通斷閥（8）相連通、經(jīng)所述第二通斷閥（8）流出的液體進入噴嘴（6）。

2.按權利要求1所述的半導體處理系統(tǒng)中流體除氣泡裝置，其特征在于：所述三通接頭（3）的三個接頭分別為進液口（11）、排氣口（12）及出液口（13），該三通接頭（3）為異徑三通，即所述進液口（11）與出液口（13）為相同直徑的接頭，所述排氣口（12）的直徑為進液口（11）與出液口（13）直徑的二倍以上。

3.按權利要求2所述的半導體處理系統(tǒng)中流體除氣泡裝置，其特征在于：所述排氣口（12）豎直向上，出液口（13）豎直向下，所述進液口（11）位于排氣口（12）與出液口（13）之間。

4.按權利要求1、2或3所述的半導體處理系統(tǒng)中流體除氣泡裝置，其特征在于：所述三通接頭（3）與第一通斷閥（5）之間的管路為垂直于水平面的豎直管路，所述第一通斷閥（5）位于三通接頭（3）的正上方。

5.一種按權利要求1所述半導體處理系統(tǒng)中流體除氣泡裝置的除氣泡方法，其特征在于：該除氣泡方法的步驟分為：

工作準備狀態(tài)，第一控制器（4）控制第一通斷閥（5）處于打開狀態(tài)，第二控制器（7）控制第二通斷閥（8）處于關閉狀態(tài)，液體泵控制器（10）控制液體泵（2）供液，將所述第一通斷閥（5）與三通接頭（3）之間的管路填充滿液體后，所述液體泵（2）停止工作，第一通斷閥（5）關閉，多余液體排入所述廢液回收桶（9）；

工作狀態(tài)，所述第二通斷閥（8）打開，液體泵控制器（10）控制液體泵（2）供液，液體經(jīng)過第二通斷閥（8）進入所述噴嘴（6），液體中的氣泡上升至所述第一通斷閥（5）的底端累積；

排氣狀態(tài)，該排氣狀態(tài)與所述工作準備狀態(tài)相同，第一通斷閥（5）打開，第二通斷閥（8）關閉，液體泵控制器（10）控制液體泵（2）供液，第一通斷閥（5）的底端累積的氣體隨液體排出。

6.按權利要求5所述的除氣泡方法，其特征在于：所述工作準備狀態(tài)過程中液體泵（2）供液時間為2～5秒，之后關閉所述液體泵（2）及第一通斷閥（5）。

7.按權利要求5所述的除氣泡方法，其特征在于：所述工作狀態(tài)過程中，由于第一通斷閥（5）與三通接頭（3）之間的管路在工作準備狀態(tài)過程中充滿液體，氣泡會一直上升至第一通斷閥（5）的底端并累積，而進入第二通斷閥（8）的液體中不含有氣泡，并且流量與所述液體泵（2）供液流量相同。

8.按權利要求5所述的除氣泡方法，其特征在于：所述排氣狀態(tài)是在每個工作狀態(tài)之前進行一次，保證工作開始時所述第一通斷閥（5）與所述三通接頭（3）之間的管路充滿液體。