[發(fā)明專利]一種晶圓測試過程中的拾片文件的自動生成方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410143264.2
• 申請日: 2014-04-11
• 公開（公告）號: CN104715101B
• 公開（公告）日: 2018-07-24
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 金蘭;石志剛;楊振宇
• 申請（專利權(quán)）人: 北京確安科技股份有限公司
• 主分類號: G06F17/50
• 分類號: G06F17/50
• 代理公司: 北京路浩知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11002
• 代理人: 苗青盛

本發(fā)明公開了一種晶圓測試過程中的拾片文件的自動生成方法，通過探針臺最終Map圖信息自動生成拾片文件的方法；操作步驟是：選擇要輸入的有效的Map圖文件，選擇用戶要求的拾片文件輸出文件格式，選擇拾片文件輸出路徑，自動生成拾片文件；該發(fā)明方法消除了現(xiàn)有的拾片文件的不安全因素，操作簡便、快速、結(jié)果安全，節(jié)約了測試成本，保證了被測晶圓管芯測試結(jié)果的唯一性。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種晶圓測試過程中的拾片文件的自動生成方法，屬于集成電路測試技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)

目前，在集成電路測試公司經(jīng)過測試的晶圓傳遞到下一道工序-封裝，有兩種方式標識其測試結(jié)果：打墨點和給拾片機提供拾片文件，兩者各有利弊。

打墨點是在晶圓表面用墨水圓點標記壞管芯，以便封裝廠在進行芯片貼裝時，自動拾片機根據(jù)其明暗度可以自動分辨出合格的芯片和不合格的芯片，并將壞品剔除掉，其缺點是打點需要占用一臺或多臺探針臺設(shè)備，打點時間根據(jù)失效管芯數(shù)呈幾何倍數(shù)增長。在現(xiàn)在芯片制作工藝越來越精細的前提下，管芯越小，晶圓上的總管芯數(shù)越來越多。舉例說，若一枚8寸晶圓內(nèi)包含10000個有效管芯，其良率為90%，則失效管芯數(shù)為1000個，按打一個墨點需要花費0.5秒計，總共需要8.5分鐘花費在打墨點上，加上探針臺上下片時間（2分鐘/每枚晶圓），則需要10.5分鐘，1Lot（25枚晶圓）打點時間共計4.5小時。

拾片文件是將晶圓測試結(jié)果以電子文檔形式提供給封裝廠。這種方法的優(yōu)點是不占用額外的設(shè)備時間，通過測試結(jié)果自動生成拾片文件，節(jié)約測試成本。

現(xiàn)有的拾片文件生成方法是通過提取海量測試數(shù)據(jù)中的坐標以及測試結(jié)果等信息，再經(jīng)過數(shù)據(jù)處理組合生成拾片文件，如圖1上方所指流程（細線所指流程）。

現(xiàn)有方法缺點如下：

1）通過軟件從海量測試數(shù)據(jù)中提取生成拾片文件所需的坐標信息以及測試結(jié)果，并將測試結(jié)果按照XY坐標對應的點寫入到拾片文件中，面對每一枚晶圓的龐大測試數(shù)據(jù)，操作繁瑣；

2）在測試過程中由于設(shè)備及硬件故障會出現(xiàn)停機現(xiàn)象，此時半個晶圓的測試數(shù)據(jù)要保存；故障處理完之后再繼續(xù)測試余下的部分，這時，測試數(shù)據(jù)分成兩個文件，并且在繼續(xù)的過程中必然會出現(xiàn)部分坐標的多個測試結(jié)果，這時軟件需要判斷同一坐標重復測試數(shù)據(jù)中的有效信息，去除無效信息，為了使每一坐標的管芯測試結(jié)果保證唯一，需要靠人工進行數(shù)據(jù)處理，易出錯、結(jié)果不可靠。

3）由于探針或其他原因?qū)е聜€別管芯失效也需要在測試生產(chǎn)過程中進行補測，對于補測數(shù)據(jù)文件也需要用人工進行數(shù)據(jù)處理，對某一個坐標的管芯測試多次后，錯誤比率增加，測試結(jié)果可信度降低，拾片文件的可靠性也降低。

因此，急需用更安全有效的方法生成拾片文件，減少人工干預，保證管芯測試結(jié)果唯一性，為集成電路封裝工序提供高質(zhì)量的拾片文件。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種更安全、有效的拾片文件的生成方法。為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明的解決方案如下：

與海量測試數(shù)據(jù)相比，探針臺生成的Map圖文件具有唯一性，即使在測試過程中出現(xiàn)半片接圖或者補測的情況，也是在之前Map圖的基礎(chǔ)上進行信息增加和信息修改，因此可以保證探針臺Map圖為最終結(jié)果。不同探針臺對一枚晶圓測試過程中產(chǎn)生的多張Map圖處理方式不一樣，例如，EG公司的EG4000系列探針臺能夠保存多張過程圖；而TSK公司的UF200系列探針臺僅保存最后一張Map圖，但能夠保證其最后生成的Map圖為該枚晶圓最終結(jié)果Map圖。加上Map圖為探針臺自動生成文件，無法進行人工干預，十六進制碼內(nèi)容無法進行誤編輯，可以杜絕人為因素導致的Map圖文件修改。因此，本發(fā)明選取探針臺生成的Map圖作為唯一依據(jù)，自動生成拾片文件，如圖1下方所指流程（粗線所指流程）。