[發明專利]一種晶圓測試過程中的拾片文件的自動生成方法有效
| 申請號： | 201410143264.2 | 申請日： | 2014-04-11 |
| 公開（公告）號： | CN104715101B | 公開（公告）日： | 2018-07-24 |
| 發明（設計）人： | 金蘭;石志剛;楊振宇 | 申請（專利權）人： | 北京確安科技股份有限公司 |
| 主分類號： | G06F17/50 | 分類號： | G06F17/50 |
| 代理公司： | 北京路浩知識產權代理有限公司 11002 | 代理人： | 苗青盛 |
| 地址： | 100094 北京市海淀*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 測試 過程 中的 文件 自動 生成 方法 | ||
【權利要求書】：
1.晶圓測試過程中的拾片文件的自動生成方法，其特征在于,包括以下步驟：
選擇要輸入的有效的Map圖文件，格式為*.txt或者*.map，
選擇客戶要求的拾片文件輸出格式，
選擇拾片文件輸出路徑，
從所述有效的Map圖文件中提取有效信息，根據所述有效信息自動生成拾片文件；
其中，所述有效的Map圖文件為自動探針臺的最終Map圖，所述Map圖包括以下信息：LotID、WaferID、行數、列數、翻轉角度、XY軸坐標以及Bin值；且所述Map圖中P為好管芯，F為壞管芯，M為晶圓邊緣的不完整管芯，其余四角部分為非測試區域；
所述拾片文件的文件名中包括LotID和WaferID，以保證晶圓管芯測試結果的唯一性。
2.根據權利要求1所述的拾片文件的自動生成方法，其特征在于，
拾片文件中的主體部分由Map圖文件中的RowCount、ColumnCount、XY軸坐標、Bin值信息組成，RowCount和ColumnCount用于在拾片文件中生成基于晶圓的最小外接矩形，該矩形中有非測試區域和測試區域。
3.根據權利要求2所述的拾片文件的自動生成方法，其特征在于，
根據封裝廠要求，定義好管芯、壞管芯以及非測試區域符號。
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