[發(fā)明專利]基板處理裝置及其方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410138171.0
• 申請日: 2014-04-08
• 公開（公告）號: CN104103557B
• 公開（公告）日: 2017-04-12
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 朱喆元;李碩徽
• 申請（專利權(quán)）人: PSK有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/677
• 代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司11227
• 代理人: 李洋,舒艷君

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種基板處理裝置。

背景技術(shù)

用以制造液晶顯示面板和半導(dǎo)體元件的基板處理裝置，一般是采用可以將多片基板合并處理的群集系統(tǒng)（cluster?system）。

專利文獻1中揭示了一種群集系統(tǒng)的一例。基板處理裝置包括裝載站（load?station）、轉(zhuǎn)運機器人（transfer?robot）、負(fù)載鎖定室（load?lock?chamber）、搬運機器人（handling?robot）及制程室（process?chamber）。轉(zhuǎn)運機器人將基板在安裝于裝載站的傳送盒（foup）與負(fù)載鎖定室之間轉(zhuǎn)運，而搬運機器人將基板在負(fù)載鎖定室與制程室之間、以及制程室彼此間轉(zhuǎn)運。負(fù)載鎖定室在兩個不同的環(huán)境、例如大氣壓環(huán)境與真空環(huán)境之間起緩沖空間的作用，且在基板由轉(zhuǎn)運機器人和搬運機器人所轉(zhuǎn)運之前先暫時待機。

上述的基板處理裝置因環(huán)境條件之差而必須提供負(fù)載鎖定室，且在負(fù)載鎖定室的兩側(cè)分別提供轉(zhuǎn)運機器人。因而，會增加裝置整體面積，且會在轉(zhuǎn)運機器人、負(fù)載鎖定室及搬運機器人之間因基板傳遞而發(fā)生制程遲滯。制程遲滯將使制程時間增加并減少裝置整體的制程處理效率。

專利文獻1：韓國專利公開第10-2008-0004118號公報

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明提供一種可以減少裝置面積的基板處理裝置。

并且，本發(fā)明提供一種可以提高制程處理效率的基板處理裝置。

本發(fā)明的實施例所涉及的基板處理裝置，包括：裝載端口（load?port），其供收納有基板的卡匣（cassette）放置；制程室，其執(zhí)行對基板的制程處理；框架（frame），其提供于上述裝載端口與上述制程室之間，且在內(nèi)部形成有空間；以及轉(zhuǎn)運機器人，其位于上述框架的內(nèi)部，在上述卡匣與上述制程室之間轉(zhuǎn)運基板。

并且，可以還包括：調(diào)整室（alignment?chamber），其提供于上述框架的內(nèi)部，供基板的位置整齊排列；以及冷卻室（cooling?chamber），其提供于上述框架的內(nèi)部，供制程完成后的基板冷卻。

并且，上述轉(zhuǎn)運機器人、上述調(diào)整室及上述冷卻室可以位于同一空間。

并且，上述調(diào)整室和上述冷卻室可以沿上下方向?qū)盈B。

并且，上述調(diào)整室和上述冷卻室沿側(cè)方向并排地配置。

并且，上述裝載端口、上述轉(zhuǎn)運機器人及上述制程室可以依次配置成一排，上述調(diào)整室和上述冷卻室，從將上述裝載端口、上述轉(zhuǎn)運機器人及上述制程室配置成一排所成的線脫離而配置。

并且，可以還包括：支撐板，其位于上述調(diào)整室內(nèi)；第1及第2襯墊（pad），它們固定于上述支撐板的上表面，供基板放置；以及調(diào)整推桿（alignment?pusher），其位于上述支撐板的上表面，朝向上述支撐板的中心方向移動而推動基板。

并且，上述第1襯墊具有：第1主體，其供基板放置；以及第1上端部，其從上述第1主體朝向上部突出，且內(nèi)側(cè)面具有與基板的曲率半徑相應(yīng)的曲率半徑；上述第2襯墊具有：第2主體，其供基板放置；以及第2上端部，其從上述第2主體朝向上部突出，且內(nèi)側(cè)面具有比基板的曲率半徑大的曲率半徑；上述調(diào)整推桿推動基板以使基板的側(cè)部可以緊貼于上述第1上端部的內(nèi)側(cè)面。

并且，可以還包括：冷卻板，其位于上述冷卻室的內(nèi)側(cè)，且內(nèi)部形成有冷卻流路；多個升降銷（lift?pin），它們沿著形成于上述冷卻板的銷孔（pin?hole）而朝上下方向移動；以及調(diào)整推桿，其將放置于上述冷卻板的基板的側(cè)部向上述冷卻板的中心方向推動而整齊排列基板位置。

并且，上述調(diào)整推桿可以包括：第1推桿至第3推桿，它們沿著上述冷卻板的周邊而相互地離開地配置；以及驅(qū)動部，其驅(qū)動上述第1推桿至上述第3推桿，以使上述第1推桿和上述第2推桿向上述冷卻板的中心方向?qū)宓囊粋?cè)進行第1次推動，并且使上述第3推桿向上述冷卻板的中心方向?qū)宓牧硪粋?cè)部進行第2次推動。

本發(fā)明的實施例所涉及的基板處理方法，包括：基板拉出步驟，拉出被收納于卡匣中的基板；制程處理前步驟，將基板提供至制程室的內(nèi)部；以及基板收納步驟，使制程處理完成后的基板收納于上述卡匣；上述基板拉出步驟、上述制程準(zhǔn)備步驟及上述基板收納步驟中的基板，經(jīng)由同一轉(zhuǎn)運機器人來轉(zhuǎn)運。

并且，可以還包括：調(diào)整步驟，在提供基板于上述制程室的內(nèi)部之前，先將基板提供至調(diào)整室內(nèi)以整齊排列基板位置；上述調(diào)整室與上述制程室之間的基板轉(zhuǎn)運，經(jīng)由上述轉(zhuǎn)運機器人來進行。