[發明專利]一種多晶硅生產方法有效
| 申請號： | 201410130224.4 | 申請日： | 2014-04-01 |
| 公開（公告）號： | CN104973600B | 公開（公告）日： | 2017-01-25 |
| 發明（設計）人： | 王文;梁國東;楊勇;其他發明人請求不公開姓名 | 申請（專利權）人： | 新特能源股份有限公司 |
| 主分類號： | C01B33/035 | 分類號： | C01B33/035 |
| 代理公司： | 北京天昊聯合知識產權代理有限公司11112 | 代理人： | 羅建民,鄧伯英 |
| 地址： | 830011 新疆維吾爾自治區烏魯木齊市烏魯*** | 國省代碼： | 新疆;65 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 多晶 生產 方法 | ||
1.一種多晶硅生產方法，其特征在于，所述方法包括以下步驟：
在還原爐初始進料階段、還原爐運行階段和還原爐停爐降料階段，持續將三氯氫硅和氫氣的混合氣通入還原爐；
反應開始的0-t0小時為還原爐初始進料階段，在還原爐初始進料階段，維持氫氣與三氯氫硅流量的摩爾配比R不變，逐步增加三氯氫硅料量FTCS，維持還原爐的初始溫度不變；
反應開始的t0-t5小時為還原爐運行階段，在還原爐運行階段，按照多個控制階段，分別控制三氯氫硅料量FTCS、氫氣與三氯氫硅流量的摩爾配比R，以及還原爐爐內溫度T；
其中，按照以下控制曲線，控制三氯氫硅料量FTCS，單位為kg/h：
FTCS=A1*t+B1(t0<t<t1)；
FTCS=A2*t+B2(t1≤t<t2)；
FTCS=A3*t+B3(t2≤t<t3)；
FTCS=A3*t3+B3(t3≤t<t4)；
FTCS=A5*t+B4(t4≤t≤t5)；
A1、A2、A3、A5、B1、B2、B3、B4為常數，且0＜A2＜A1，A2＜A3，A5＜0；t為從進料開始的反應時間，t1、t2、t3、t4、t5為常數，t0＜t1＜t2＜t3＜t4＜t5；
反應開始的t5-t8小時為還原爐停爐降料階段，在還原爐停爐降料階段，逐步降低三氯氫硅料量FTCS，維持t5時刻的氫氣與三氯氫硅流量的摩爾配比R不變，并先維持還原爐爐內的溫度一段時間，再逐步降低還原爐爐內的溫度。
2.如權利要求1所述的方法，其特征在于，
33.33≤A1≤212.5，10≤B1≤233.33；
25≤A2≤106.25，325≤B2≤1775；
33.33≤A3≤332.5，-3145≤B3≤166.67；
-30≤A5≤-3.7，1370≤B4≤7000。
3.如權利要求1所述的方法，其特征在于，
0＜t0≤3＜t1≤15＜t2≤25＜t3≤40＜t4≤75＜t5≤100；
t2-t1>5，t3-t2>5，t5-t4>10。
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