[發(fā)明專利]感光性樹脂組合物、感光性組件、感光性組件卷及光阻圖案的形成方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410128975.2
• 申請(qǐng)日: 2006-07-19
• 公開（公告）號(hào): CN103869614A
• 公開（公告）日: 2014-06-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 澤邊賢;野尻剛
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 日立化成工業(yè)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): G03F7/023
• 分類號(hào): G03F7/023;G03F7/00
• 代理公司: 北京銀龍知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11243
• 代理人: 金鮮英;王未東

本申請(qǐng)是申請(qǐng)日為2006年7月19日，申請(qǐng)?zhí)枮?00680031281.0，發(fā)明名稱為《感光性樹脂組合物及感光性組件》的中國(guó)專利申請(qǐng)的分案申請(qǐng)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明為有關(guān)感光性樹脂組合物及感光性組件

背景技術(shù)

半導(dǎo)體集成電路、液晶顯示元件、印刷電路板等形成圖案所使用的圖像形成方法中，已知多為利用酚醛清漆型酚樹脂與1,2-重氮醌化合物組合所得的正型光阻的方法。

該正型光阻為，未曝光部份為堿不溶性，曝光部份為堿可溶性，在堿顯影時(shí)，曝光部份的光阻被去除。此時(shí)，上述未曝光部份中的1,2-重氮醌化合物會(huì)引起與酚醛清漆型酚樹脂的相互作用，而形成具有溶解阻礙劑的作用，進(jìn)而形成堿不溶性。

又，曝光部份中，1,2-重氮醌化合物因紫外線的照射而分解，即引起所謂Wolff移轉(zhuǎn)而形成茚烯酮（インデンケテン）。又，此茚烯酮與水反應(yīng)而形成茚羧酸。此茚羧酸因?yàn)樗嵝裕鴼埩舻姆尤┣迤嵝头訕渲嗑哂蟹邮搅u基，故為弱酸性。因此，上述曝光部份對(duì)氫氧化四甲基銨的強(qiáng)堿水溶液為可溶。

但是，使用氫氧化四甲基銨等強(qiáng)堿水溶液進(jìn)行顯影時(shí)，常會(huì)使未曝光部份易產(chǎn)生剝離的情形。如此，上述正型光阻則不能具有充分的分辨率。又，使用強(qiáng)堿水溶液時(shí)，在安全性或廢液處理等環(huán)境面上也存在問(wèn)題。

因此，即使使用弱堿水溶液，也要求可充分顯影的感光性樹脂組合物。

相對(duì)于前述要求，則需尋求對(duì)感光性樹脂組合物的特性進(jìn)行改善。例如，已有提案一種含有在酚醛清漆型環(huán)氧化合物與不飽和一元酸所得的反應(yīng)生成物上附加酸酐而得到的化合物的感光性樹脂組合物（例如，參考專利文獻(xiàn)1～5）。又，例如另有揭示一種含有具羧基的感光性樹脂的熱硬化性、光硬化性組合物（例如，參考專利文獻(xiàn)6），其中的具羧基的感光性樹脂是通過(guò)酚醛清漆型酚樹脂與環(huán)氧化物的反應(yīng)生成物與不飽和一元酸反應(yīng)，使所得的反應(yīng)生成物再與酸酐反應(yīng)而得到的。又，亦有提出一種使用醇式羥基的酚醛清漆型酚樹脂的醇式羥基與酸酐反應(yīng)所得的酚醛清漆型酚樹脂的正型感光性樹脂組合物（例如，參考專利文獻(xiàn)7）。

專利文獻(xiàn)1：特開昭61－243869號(hào)公報(bào)

專利文獻(xiàn)2：特開平3－253093號(hào)公報(bào)

專利文獻(xiàn)3：特開平6－192387號(hào)公報(bào)

專利文獻(xiàn)4：特開平7－41716號(hào)公報(bào)

專利文獻(xiàn)5：特開平9－136942號(hào)公報(bào)

專利文獻(xiàn)6：國(guó)際公開第02／024774號(hào)小冊(cè)子

專利文獻(xiàn)7：特開2001－114853號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明者們，由上述專利文獻(xiàn)1～7所記載的感光性樹脂組合物開始，對(duì)以往的感光性樹脂組合物進(jìn)行詳細(xì)的研究。其結(jié)果，本發(fā)明者發(fā)現(xiàn)前述以往的感光性樹脂組合物，幾乎不能完全滿足優(yōu)良光感度、圖像對(duì)比度、分辨率及密著性等全部特性。

即，上述專利文獻(xiàn)1～5所記載的感光性樹脂組合物，因使用酚醛清漆型環(huán)氧樹脂，其與使用酚醛清漆型酚樹脂的情形相比較時(shí)，在耐堿性、基板與光阻的密著性等則有劣化的傾向。

又，專利文獻(xiàn)6所記載的感光性樹脂組合物，雖使用酚醛清漆型酚樹脂，但并不使用1,2-重氮醌(quinonediazide)化合物。因此，該感光性樹脂組合物并不具有正型光阻的機(jī)能。又，專利文獻(xiàn)6記載的酚醛清漆型酚樹脂，并不具有酚式羥基。其結(jié)果，將會(huì)使該感光性樹脂組合物，例如即使含有重氮醌化合物的情形下，造成該酚醛清漆型酚樹脂與重氮醌化合物的相互作用并不充分，未曝光部份則會(huì)有未能充分形成堿不溶性的傾向。因此，上述專利文獻(xiàn)6記載的感光性樹脂組合物，會(huì)有無(wú)法得到良好圖像對(duì)比度的傾向。

專利文獻(xiàn)7所記載的感光性樹脂組合物，使用了酚醛清漆型酚樹脂及1,2-重氮醌化合物。但是，該酚醛清漆型酚樹脂的合成步驟更為繁雜，故會(huì)有不容易提升產(chǎn)量的傾向。

本發(fā)明就是鑒于上述以往技術(shù)產(chǎn)生的問(wèn)題而提出的，以提供一種即使于弱堿水溶液中亦可充分顯影，具有極為優(yōu)良光感度、圖像對(duì)比度、分辨率及密著性的感光性樹脂組合物及感光性組件為目的。

為解決上述問(wèn)題，本發(fā)明則提供一種含有（a）酚醛清漆型酚樹脂的酚式羥基與多元酸酐反應(yīng)所得的化合物，與（b）1,2-重氮醌化合物的感光性樹脂組合物。

上述感光性樹脂組合物，在酚醛清漆型酚樹脂所有的酚式羥基與多元酸酐反應(yīng)所得的（a）成分中，進(jìn)一步含有由1,2-重氮醌化合物所形成的（b）成分。如此，可使上述感光性樹脂組合物顯出更為優(yōu)良的光感度、圖像對(duì)比度、分辨率及密著性。