[發明專利]感光性樹脂組合物、感光性組件、感光性組件卷及光阻圖案的形成方法

在審

• 申請號: 201410128975.2
• 申請日: 2006-07-19
• 公開（公告）號: CN103869614A
• 公開（公告）日: 2014-06-18
• 發明（設計）人: 澤邊賢;野尻剛
• 申請（專利權）人: 日立化成工業株式會社
• 主分類號: G03F7/023
• 分類號: G03F7/023;G03F7/00
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 金鮮英;王未東

1.一種感光性樹脂組合物，其含有（a）由酚醛清漆型酚樹脂的酚式羥基與多元酸酐反應所得的化合物和（b）1,2-重氮醌化合物。

2.根據權利要求1所述的感光性樹脂組合物，其中，所述（a）成分在分子內具有至少1個下述通式（A）所示的2價的基團，

式（A）中，R為羧酸酐殘基。

3.根據權利要求1或2所述的感光性樹脂組合物，其中，所述（a）成分是相對于所述酚醛清漆型酚樹脂的酚式羥基1摩爾反應所述多元酸酐0.10～0.80摩爾而得到的化合物。

4.根據權利要求1或2所述的感光性樹脂組合物，其中，所述（a）成分是相對于所述酚醛清漆型酚樹脂的酚式羥基1摩爾反應所述多元酸酐0.15～0.60摩爾而得到的化合物。

5.根據權利要求1或2所述的感光性樹脂組合物，其中，所述（a）成分是相對于所述酚醛清漆型酚樹脂的酚式羥基1摩爾反應所述多元酸酐0.20～0.40摩爾而得到的化合物。

6.根據權利要求1～5中任一項所述的感光性樹脂組合物，其中，所述多元酸酐是二元酸酐。

7.根據權利要求1～5中任一項所述的感光性樹脂組合物，其中，所述多元酸酐是從由四氫鄰苯二甲酸酐、琥珀酸酐及六氫鄰苯二甲酸酐組成的組中所選出的一種以上。

8.根據權利要求1～7中任一項所述的感光性樹脂組合物，其中，所述（b）成分為具有羥基及／或氨基的有機化合物與具有磺基及／或磺酰氯基的1,2-重氮醌化合物反應所得的化合物。

9.根據權利要求8所述的感光性樹脂組合物，其中，所述具有羥基及／或氨基的有機化合物是從由多羥基二苯甲酮類、雙［（多）羥基苯基］鏈烷類、三（羥基苯基）甲烷類、以及雙（環己基羥基苯基）（羥基苯基）甲烷類組成的組中所選出的一種以上。

10.根據權利要求8所述的感光性樹脂組合物，其中，所述具有羥基及／或氨基的有機化合物是下述通式（1）～（3）中任一所示的化合物，

式（1）～（3）中，R¹、R²、R³、R⁴、R⁵、R⁶、R⁷、R⁸、R⁹、R¹⁰、R¹¹及R¹²分別獨立為氫原子、取代或未取代的碳原子數1～5的烷基、或取代或未取代的碳原子數1～5的烷氧基，Ⅹ為單鍵、氧原子或亞苯基。

11.根據權利要求8所述的感光性樹脂組合物，其中，所述具有羥基及／或氨基的有機化合物是下述通式（4）～（6）中任一所示的化合物，

12.根據權利要求8所述的感光性樹脂組合物，其中，所述具有磺基及／或磺酰氯基的1,2-重氮醌化合物是從由1,2-萘醌-2-重氮基-4-磺酸、1,2-萘醌-2-重氮基-5-磺酸、1,2-萘醌-2-重氮基-4-磺酰氯、以及1,2-萘醌-2-重氮基-5-磺酰氯組成的組中所選出的一種以上。

13.根據權利要求1～12中任一項所述的感光性樹脂組合物，其中，所述（a）成分的酸價為30～150mgKOH／g。

14.根據權利要求1～12中任一項所述的感光性樹脂組合物，其中，所述（a）成分的酸價為40～140mgKOH／g。

15.根據權利要求1～12中任一項所述的感光性樹脂組合物，其中，所述（a）成分的酸價為50～120mgKOH／g。

16.根據權利要求1～15中任一項所述的感光性樹脂組合物，其中，所述（a）成分的重均分子量為300～100000。

17.根據權利要求1～15中任一項所述的感光性樹脂組合物，其中，所述（a）成分的重均分子量為1000～50000。

18.根據權利要求1～15中任一項所述的感光性樹脂組合物，其中，所述（a）成分的重均分子量為3000～20000。