[發明專利]一種用于真空室內多工位濺射靶的冷卻水進出結構

有效

• 申請號: 201410127157.0
• 申請日: 2014-04-01
• 公開（公告）號: CN103952673A
• 公開（公告）日: 2014-07-30
• 發明（設計）人: 陳特超;胡凡
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第四十八研究所
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34
• 代理公司: 長沙正奇專利事務所有限責任公司 43113
• 代理人: 馬強

技術領域

本發明涉及鍍膜行業的濺射靶材的水冷卻領域，特別涉及一種用于真空室內多工位濺射靶的冷卻水進出結構。

背景技術

在現代薄膜技術中，離子束濺射由于其污染小、缺陷少、成膜致密，因而被大量應用于高質量光學薄膜的制備中。其原理是在一定真空條件下，利用離子源引出高速、高能量的離子束，經中和器產生的負電子中和變成中性離子束后轟擊靶材，將靶材以原子、分子或原子團的形態濺射出來，再沉積到基片上形成薄膜。

為了連續鍍制多種材料的薄膜，減少因更換靶材所需的輔助時間，提高生產效率，離子束濺射靶設計成可同時安裝多種靶材的多工位靶，靶材通過真空室外電動機帶動旋轉軸進行換位。在鍍膜過程中，靶材會因濺射導致發熱而降低靶材的使用壽命，所以需要對靶材進行水冷。由于濺射靶是在真空室內且工作時需轉動，因此冷卻水如何安全可靠的進出真空室成為濺射靶冷卻的難題。

發明內容

基于現有技術的不足，本發明要解決的問題是提供一種用于真空室內多工位濺射靶的冷卻水進出結構。

為解決上述技術問題，本發明提供一種用于真空室內多工位濺射靶的冷卻水進出結構，其包括進水器、旋轉水接頭、中空旋轉軸和長進水管；進水器為中空結構，其下端與側面裝有出水嘴的旋轉水接頭的進水端連接；旋轉水接頭的旋轉端與中空旋轉軸的上端連接，使中空旋轉軸可相對旋轉水接頭以軸線為轉軸轉動，連接處采用密封墊密封；長進水管穿過中空旋轉軸和旋轉水接頭伸入進水器內，其上末端與進水器之間裝有聚氨酯油封圈進行旋轉密封；長進水管的下端外壁與中空旋轉軸內腔下端口固定連接形成密封；中空旋轉軸的側面開有回水口；所述進水器及長進水管連通組成進水通道；所述長進水管外壁與中空旋轉軸及旋轉水接頭的內腔壁之間的空隙構成回水通道。

作為本發明一種用于真空室內多工位濺射靶的冷卻水進出結構在一方面的改進，所述進水器包括進水嘴、進水法蘭與分水法蘭；裝有進水嘴的進水法蘭與分水法蘭采取法蘭形式連接并且連接處用O型密封圈密封。

本發明中，中空旋轉軸穿過真空室壁，交界處用磁流體做動密封；中空旋轉軸下端連接多工位靶，帶動多工位靶旋轉換位。多工位靶處在真空室內，旋轉水接頭和進水器處于真空室外。

工作時，冷卻水由進水法蘭上的進水嘴進入分水法蘭，經長進水管從其下端出口流入靶材的冷卻水套，依次經過多塊靶材的冷卻水套后經中空旋轉軸的側面回水口流至中空旋轉軸內壁與長進水管外壁之間構成的回水空隙，最后由旋轉水接頭固定外殼上的出水嘴流出。

與現有技術相比，本發明的冷卻水進出結構簡單緊湊，拆卸方便，將進水通道和回水通道集成在一根管道中，并且旋轉密封結構位于真空室外，即使密封出現故障，也不會對對真空室造成影響，解決了一直以來冷卻水如何安全可靠的進出真空室成為濺射靶冷卻的難題，特別適合于多工位靶各面靶材單獨直接水冷。

下面結合附圖詳細說明本發明,其作為本說明書的一部分,通過實施例來說明本發明的原理，本發明的其他方面、特征及其優點通過該詳細說明將會變得一目了然。

附圖說明

構成本發明的一部分的附圖用來提供對本發明的進一步理解，本發明的示意性實施例及其說明用于解釋本發明，并不構成對本發明的不當限定。

圖1為本發明的剖視圖；

圖2為本發明的外部結構示意圖；

圖3為圖1的Ⅰ處局部放大圖；

圖4為圖1的Ⅱ處局部放大圖。

圖1-4中附圖標記的對應關系為：

1-中空旋轉軸；2-長進水管；3-旋轉水接頭；4-出水嘴；5-分水法蘭；6-進水法蘭；7-進水嘴；8-O型密封圈；9-聚氨酯油封圈；10-密封墊；11-真空室壁；12-回水口；13-靶材連接軸；14-進水器；15-回水管；16-靶材水連接管；17-磁流體密封；18-靶體。

具體實施方式

需要說明的是，在不沖突的情況下，本發明中的實施例及實施例中的特征可以相互組合。下面將參考附圖并結合實施例來詳細說明本發明。