[發明專利]一種用于真空室內多工位濺射靶的冷卻水進出結構

有效

• 申請號: 201410127157.0
• 申請日: 2014-04-01
• 公開（公告）號: CN103952673A
• 公開（公告）日: 2014-07-30
• 發明（設計）人: 陳特超;胡凡
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第四十八研究所
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34
• 代理公司: 長沙正奇專利事務所有限責任公司 43113
• 代理人: 馬強

1.?一種用于真空室內多工位濺射靶的冷卻水進出結構，其特征在于：包括進水器（14）、旋轉水接頭（3）、中空旋轉軸（1）和長進水管（2）；進水器（14）為中空結構，其下端與側面裝有出水嘴（4）的旋轉水接頭（3）的進水端連接；旋轉水接頭（3）的旋轉端與中空旋轉軸（1）的上端連接，使中空旋轉軸（1）可相對旋轉水接頭（3）以軸線為轉軸轉動，連接處采用密封墊（10）密封；長進水管（2）穿過中空旋轉軸（1）和旋轉水接頭（3）伸入進水器（14）內，其上末端與進水器（14）之間裝有聚氨酯油封圈（9）進行旋轉密封；長進水管（2）的下端外壁與中空旋轉軸（1）內腔下端口固定連接形成密封；中空旋轉軸（1）的側面開有回水口（12）；所述進水器（14）及長進水管（2）連通組成進水通道；所述長進水管（2）外壁與中空旋轉軸（1）及旋轉水接頭（3）的內腔壁之間的空隙構成回水通道。

2.根據權利要求1所述的用于真空室內多工位濺射靶的冷卻水進出結構，其特征在于：所述進水器（14）包括進水嘴（7）、進水法蘭（6）與分水法蘭（5）；裝有進水嘴（7）的進水法蘭（6）與分水法蘭（5）采取法蘭形式連接并且連接處用O型密封圈（8）密封。