[發(fā)明專利]SPC策略建立方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410125528.1
• 申請日: 2014-03-31
• 公開（公告）號: CN103869795A
• 公開（公告）日: 2014-06-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 余燕萍;邵雄
• 申請（專利權(quán)）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號: G05B19/418
• 分類號: G05B19/418
• 代理公司: 上海天辰知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 31275
• 代理人: 吳世華;林彥之

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及數(shù)據(jù)信息技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種用于半導(dǎo)體工藝中SPC策略的建立方法。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體制造工藝中，任何一項(xiàng)工藝，都可能包含許多步驟，每個(gè)步驟又包括眾多參數(shù)，對一項(xiàng)工藝中每個(gè)參數(shù)進(jìn)行控制，是保證工藝正常進(jìn)行、制造出符合標(biāo)準(zhǔn)和要求的半導(dǎo)體器件的關(guān)鍵因素。

現(xiàn)有半導(dǎo)體制造工藝的參數(shù)一般通過SPC系統(tǒng)（Statistical?Process?Control，統(tǒng)計(jì)過程控制）來控制。SPC是一種借助數(shù)理統(tǒng)計(jì)方法的過程控制工具，它對生產(chǎn)過程進(jìn)行分析評價(jià)，根據(jù)反饋信息及時(shí)發(fā)現(xiàn)系統(tǒng)性因素出現(xiàn)的征兆，并采取措施消除其影響，使過程維持在僅受隨機(jī)性因素影響的受控狀態(tài)，以達(dá)到控制質(zhì)量的目的。

而其中，建立SPC策略是關(guān)鍵，完善的SPC策略能夠?qū)に囘^程進(jìn)行及時(shí)、有效的分析和評價(jià)。現(xiàn)有的SPC策略是通過PCB（process?control?builder，過程控制構(gòu)建器）系統(tǒng)來建立的，PCB系統(tǒng)是設(shè)置SPC?rule（SPC規(guī)則）和SPC?control?limit（SPC控制限）、收集、計(jì)算、分析和改進(jìn)數(shù)據(jù)的手段，在確定工藝過程合理范圍的基礎(chǔ)之上，確定工藝參數(shù)的控制范圍和參數(shù)正常、異常規(guī)律，并預(yù)設(shè)改進(jìn)措施，以在工藝過程參數(shù)超出上限、下限時(shí)，予以實(shí)施改進(jìn)的措施。

然而，現(xiàn)有技術(shù)中基于PCB系統(tǒng)來建立SPC策略的方法，需要工程師手動(dòng)計(jì)算每個(gè)工藝參數(shù)的所需數(shù)值，并手動(dòng)將這些數(shù)值輸入PCB系統(tǒng)。一個(gè)制造工藝中的參數(shù)一般有200-300項(xiàng)，若需手動(dòng)計(jì)算并輸入，則需要至少2-3天才能建立完成SPC策略；而且手動(dòng)計(jì)算難免會(huì)出現(xiàn)計(jì)算錯(cuò)誤，或者在輸入時(shí)出現(xiàn)錯(cuò)誤，造成SPC策略的缺陷，給工藝帶來隱患；若需要工程師檢查是否有錯(cuò)誤，則更加增加了人力和時(shí)間。

綜上，如何提供一種SPC策略的建立方法，改變現(xiàn)有技術(shù)人工計(jì)算、手動(dòng)輸入的模式，來提高建立的效率和數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確率，是本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的技術(shù)問題之一。

發(fā)明內(nèi)容

為了解決上述現(xiàn)有技術(shù)存在的問題，本發(fā)明提供了一種SPC策略建立方法，通過數(shù)據(jù)的自動(dòng)收集和自動(dòng)檢測，來提高SPC策略建立的效率，并提高數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確率。

本發(fā)明提供的SPC策略建立方法包括以下步驟：

步驟S01，在MES系統(tǒng)（Manufactory?execute?system，生產(chǎn)制造執(zhí)行系統(tǒng)）中建立一項(xiàng)產(chǎn)品制造工藝中的所有DC模塊（Date?collection，數(shù)據(jù)收集）；

步驟S02，策略模塊獲取建立該SPC策略所需的DC模塊；

步驟S03，根據(jù)這些DC模塊中的數(shù)據(jù)，通過策略模塊自動(dòng)計(jì)算SPC策略中相應(yīng)的SPC控制限，并添加相應(yīng)的SPC規(guī)則；

步驟S04，SPC策略建立完成。

進(jìn)一步地，該DC模塊包括一個(gè)或多個(gè)工藝參數(shù)的目標(biāo)值、下限數(shù)值和上限數(shù)值。

進(jìn)一步地，該策略模塊是自動(dòng)策略系統(tǒng)（Auto?strategy），用于根據(jù)DC模塊中的工藝參數(shù)數(shù)據(jù)計(jì)算相應(yīng)的SPC控制限并添加相應(yīng)的SPC規(guī)則，該SPC控制限包括控制上限和控制下限。

進(jìn)一步地，一個(gè)工藝參數(shù)的SPC控制上限=目標(biāo)值+（上限數(shù)值-目標(biāo)值）*0.75，該工藝參數(shù)的SPC控制下限=目標(biāo)值-（目標(biāo)值-下限數(shù)值）*0.75。

進(jìn)一步地，步驟S04包括：策略模塊創(chuàng)建SPC策略時(shí)檢測SPC控制限數(shù)據(jù)是否正確。

進(jìn)一步地，檢測SPC控制限數(shù)據(jù)包括檢測DC模塊中的工藝參數(shù)數(shù)據(jù)以及根據(jù)該工藝參數(shù)數(shù)據(jù)計(jì)算得到的控制上限和控制下限。

進(jìn)一步地，步驟S04中檢測SPC控制限數(shù)據(jù)正確之后，在激活SPC策略時(shí)檢測該策略是否正確。

進(jìn)一步地，檢測該策略包括檢測SPC策略是否包含所有所需DC模塊中的工藝參數(shù)數(shù)據(jù)及相應(yīng)的SPC控制限和SPC規(guī)則。

本發(fā)明的SPC策略建立方法通過策略模塊如自動(dòng)策略系統(tǒng)，直接獲取MES系統(tǒng)中預(yù)設(shè)的DC模塊參數(shù)數(shù)據(jù)，并根據(jù)這些參數(shù)數(shù)據(jù)自動(dòng)計(jì)算控制限和添加規(guī)則，快速生成SPC策略，可以大大減少工程師手動(dòng)輸入和計(jì)算的工作量和工作時(shí)間，也可以減少工程師在手動(dòng)輸入時(shí)產(chǎn)生的誤操作，杜絕工程師人工計(jì)算的錯(cuò)誤率。后續(xù)檢測SPC控制限數(shù)據(jù)和策略的步驟可以進(jìn)一步降低數(shù)據(jù)的錯(cuò)誤率，提高策略的可靠性和穩(wěn)定性。在一個(gè)包含200-300項(xiàng)參數(shù)的制造工藝中，利用本發(fā)明的建立方法，只需要1-2小時(shí)就能建立完成SPC策略，且保證策略數(shù)據(jù)和規(guī)則的正確性。

附圖說明