[發(fā)明專利]SPC策略建立方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410125528.1
• 申請(qǐng)日: 2014-03-31
• 公開（公告）號(hào): CN103869795A
• 公開（公告）日: 2014-06-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 余燕萍;邵雄
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號(hào): G05B19/418
• 分類號(hào): G05B19/418
• 代理公司: 上海天辰知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 31275
• 代理人: 吳世華;林彥之

1.一種SPC策略建立方法，其特征在于，其包括以下步驟：

步驟S01，在MES系統(tǒng)中建立一項(xiàng)產(chǎn)品制造工藝中的所有DC模塊；

步驟S02，策略模塊獲取建立該SPC策略所需的DC模塊；

步驟S03，根據(jù)這些DC模塊中的數(shù)據(jù)，通過(guò)策略模塊自動(dòng)計(jì)算SPC策略中相應(yīng)的SPC控制限，并添加相應(yīng)的SPC規(guī)則；

步驟S04，SPC策略建立完成。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的SPC策略建立方法，其特征在于：該DC模塊包括一個(gè)或多個(gè)工藝參數(shù)的目標(biāo)值、下限數(shù)值和上限數(shù)值。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的SPC策略建立方法，其特征在于：該策略模塊是自動(dòng)策略系統(tǒng)，用于根據(jù)DC模塊中的工藝參數(shù)數(shù)據(jù)計(jì)算相應(yīng)的SPC控制限并添加相應(yīng)的SPC規(guī)則，該SPC控制限包括控制上限和控制下限。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的SPC策略建立方法，其特征在于：一個(gè)工藝參數(shù)的SPC控制上限=目標(biāo)值+（上限數(shù)值-目標(biāo)值）*0.75，該工藝參數(shù)的SPC控制下限=目標(biāo)值-（目標(biāo)值-下限數(shù)值）*0.75。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至4任一項(xiàng)所述的SPC策略建立方法，其特征在于：步驟S04包括：策略模塊創(chuàng)建SPC策略時(shí)檢測(cè)SPC控制限數(shù)據(jù)是否正確。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的SPC策略建立方法，其特征在于：檢測(cè)SPC控制限數(shù)據(jù)包括檢測(cè)DC模塊中的工藝參數(shù)數(shù)據(jù)以及根據(jù)該工藝參數(shù)數(shù)據(jù)計(jì)算得到的控制上限和控制下限。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的SPC策略建立方法，其特征在于：步驟S04中檢測(cè)SPC控制限數(shù)據(jù)正確之后，在激活SPC策略時(shí)檢測(cè)該策略是否正確。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的SPC策略建立方法，其特征在于：檢測(cè)該策略包括檢測(cè)SPC策略是否包含所有所需DC模塊中的工藝參數(shù)數(shù)據(jù)及相應(yīng)的SPC控制限和SPC規(guī)則。