[發(fā)明專利]一種真空電鏡樣品真空預(yù)反應(yīng)室

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410119559.6
• 申請(qǐng)日: 2014-03-27
• 公開（公告）號(hào): CN103868776A
• 公開（公告）日: 2014-06-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 單智偉;李雁淮;張丹利;吳建東;張曉哲
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 西安交通大學(xué)
• 主分類號(hào): G01N1/28
• 分類號(hào): G01N1/28
• 代理公司: 西安通大專利代理有限責(zé)任公司 61200
• 代理人: 陸萬壽

1.一種真空電鏡樣品真空預(yù)反應(yīng)室，其特征在于：包括支架（12），以及安裝在支架（12）上的真空腔體（4）；真空腔體（4）的前端連接有轉(zhuǎn)接套筒，轉(zhuǎn)接套筒上連接有樣品桿（1）；真空腔體（4）一側(cè)并排設(shè)置有與外真空泵相連的抽氣閥套裝（10）和用于放出腐蝕性氣體的放氣閥套裝（11）；真空腔體（4）的后端連接有用于通入反應(yīng)氣體并與外界氣瓶連接的進(jìn)氣通道（8），進(jìn)氣通道（8）上設(shè)置有用于控制進(jìn)氣通道（8）通斷的進(jìn)氣閥。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空電鏡樣品真空預(yù)反應(yīng)室，其特征在于：所述的樣品桿（1）為表面光潔并帶有密封圈的316L不銹鋼樣品桿。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空電鏡樣品真空預(yù)反應(yīng)室，其特征在于：所述的真空腔體（4）為柱狀316L不銹鋼腔體，且其前端設(shè)置有一端用于減小體積的過渡管（13）。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的真空電鏡樣品真空預(yù)反應(yīng)室，其特征在于：所述的真空腔體（4）的另一側(cè)并排設(shè)置有用于測量真空腔體內(nèi)真空度的型號(hào)為KF16-2的真空熱偶規(guī)（5）和用于安裝傳感器或真空計(jì)的不銹鋼預(yù)留法蘭（9）。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的真空電鏡樣品真空預(yù)反應(yīng)室，其特征在于：所述的真空腔體（4）的頂部安裝有觀察反應(yīng)進(jìn)度的觀察窗（6），觀察窗（6）的直徑為100mm，采用鋼化玻璃制成。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空電鏡樣品真空預(yù)反應(yīng)室，其特征在于：所述的連接套筒包括與真空腔體相配合并且?guī)в忻芊馊Φ霓D(zhuǎn)接法蘭（2），轉(zhuǎn)接法蘭（2）通過螺母（3）將其固定并密封于真空腔體（4）上。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空電鏡樣品真空預(yù)反應(yīng)室，其特征在于：所述的進(jìn)氣閥采用型號(hào)為sw-1的進(jìn)氣針閥（7）。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空電鏡樣品真空預(yù)反應(yīng)室，其特征在于：所述的抽氣閥套裝（10）采用型號(hào)為KF40-1的膠圈密封角閥，放氣閥套裝（11）采用直徑為6mm、型號(hào)為cf16-1的閥門。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空電鏡樣品真空預(yù)反應(yīng)室，其特征在于：所述的進(jìn)氣管道（8）的直徑為8mm。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空電鏡樣品真空預(yù)反應(yīng)室，其特征在于：所述的支架（12）為兩個(gè)間距為150mm的不銹鋼支架。