[發(fā)明專利]半導(dǎo)體設(shè)備工藝加工異常處理的方法及系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410119427.3
• 申請日: 2014-03-27
• 公開（公告）號: CN104952761B
• 公開（公告）日: 2018-11-06
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李娟娟
• 申請（專利權(quán)）人: 北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 廣州華進聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 44224
• 代理人: 李芙蓉

1.一種半導(dǎo)體設(shè)備工藝加工異常處理的方法，其特征在于，包括以下步驟：

檢測工藝加工過程是否出現(xiàn)異常；

當(dāng)所述工藝加工過程出現(xiàn)異常時，停止當(dāng)前工藝步驟，并拋出阻塞型報警；

根據(jù)所選擇的預(yù)設(shè)異常處理模式執(zhí)行相應(yīng)的操作；

所述預(yù)設(shè)異常處理模式為多個，不同的所述預(yù)設(shè)異常處理模式包括不同的操作步驟組合；

所述預(yù)設(shè)異常處理模式包括第一預(yù)設(shè)異常處理模式，第二預(yù)設(shè)異常處理模式，第三預(yù)設(shè)異常處理模式，第四預(yù)設(shè)異常處理模式，第五預(yù)設(shè)異常處理模式，第六預(yù)設(shè)異常處理模式，第七預(yù)設(shè)異常處理模式，第八預(yù)設(shè)異常處理模式，第九預(yù)設(shè)異常處理模式，以及第十預(yù)設(shè)異常處理模式中的一種以上的組合；

所述根據(jù)所選擇的預(yù)設(shè)異常處理模式執(zhí)行相應(yīng)的操作，包括以下步驟：

當(dāng)所選擇的預(yù)設(shè)異常處理模式為第一預(yù)設(shè)異常處理模式時，控制繼續(xù)執(zhí)行工藝表單中的下一工藝步驟；

當(dāng)所選擇的預(yù)設(shè)異常處理模式為第二預(yù)設(shè)異常處理模式時，控制重新執(zhí)行當(dāng)前工藝步驟；

當(dāng)所選擇的預(yù)設(shè)異常處理模式為第三預(yù)設(shè)異常處理模式時，控制繼續(xù)執(zhí)行當(dāng)前工藝步驟；

當(dāng)所選擇的預(yù)設(shè)異常處理模式為第四預(yù)設(shè)異常處理模式時，控制停止工藝加工過程，等待處理；

當(dāng)所選擇的預(yù)設(shè)異常處理模式為第五預(yù)設(shè)異常處理模式時，控制執(zhí)行解除卡盤吸附的工藝步驟，并按工藝過程正常結(jié)束傳出物料；

當(dāng)所選擇的預(yù)設(shè)異常處理模式為第六預(yù)設(shè)異常處理模式時，控制執(zhí)行解除卡盤吸附的工藝步驟，并按指定路徑傳出物料；

當(dāng)所選擇的預(yù)設(shè)異常處理模式為第七預(yù)設(shè)異常處理模式時，控制執(zhí)行解除卡盤吸附的工藝步驟，并將物料直接傳輸回原點；

當(dāng)所選擇的預(yù)設(shè)異常處理模式為第八預(yù)設(shè)異常處理模式時，控制按工藝過程正常結(jié)束傳出物料；

當(dāng)所選擇的預(yù)設(shè)異常處理模式為第九預(yù)設(shè)異常處理模式時，控制按指定路徑傳出物料；

當(dāng)所選擇的預(yù)設(shè)異常處理模式為第十預(yù)設(shè)異常處理模式時，控制將物料直接傳輸回原點。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體設(shè)備工藝加工異常處理的方法，其特征在于，還包括以下步驟：

當(dāng)所述工藝加工過程未出現(xiàn)異常時，控制根據(jù)工藝表單繼續(xù)執(zhí)行下一工藝步驟，直至完成所述工藝表單中的所有工藝步驟。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體設(shè)備工藝加工異常處理的方法，其特征在于，所述預(yù)設(shè)異常處理模式還包括第十一預(yù)設(shè)異常處理模式；

所述根據(jù)所選擇的預(yù)設(shè)異常處理模式執(zhí)行相應(yīng)的操作，還包括以下步驟：

當(dāng)所選擇的預(yù)設(shè)異常處理模式為第十一預(yù)設(shè)異常處理模式時，控制結(jié)束當(dāng)前工藝加工過程。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體設(shè)備工藝加工異常處理的方法，其特征在于，所述當(dāng)所選擇的預(yù)設(shè)異常處理模式為第六預(yù)設(shè)異常處理模式時，控制執(zhí)行解除卡盤吸附的工藝步驟，并按指定路徑傳出物料，包括以下步驟：

設(shè)置當(dāng)前工藝步驟序號為所述解除卡盤吸附工藝步驟對應(yīng)的工藝步驟序號，并設(shè)置指定路徑輸出標(biāo)志有效；

按照工藝表單中的工藝步驟執(zhí)行順序執(zhí)行所述解除卡盤吸附工藝步驟及后續(xù)工藝步驟；

完成所述工藝表單中的所有工藝步驟后，判斷所述指定路徑輸出標(biāo)志是否有效，若是，則按指定路徑傳出物料；

所述當(dāng)所選擇的預(yù)設(shè)異常處理模式為第七預(yù)設(shè)異常處理模式時，控制執(zhí)行解除卡盤吸附的工藝步驟，并將物料直接傳輸回原點，包括以下步驟：

設(shè)置當(dāng)前工藝步驟序號為所述解除卡盤吸附工藝步驟對應(yīng)的工藝步驟序號，并設(shè)置傳回原點標(biāo)志有效；

按照工藝表單中的工藝步驟執(zhí)行順序執(zhí)行所述解除卡盤吸附工藝步驟及后續(xù)工藝步驟；

完成所述工藝表單中的所有工藝步驟后，判斷所述傳回原點標(biāo)志是否有效，若是，則將物料直接傳輸回原點。