[發(fā)明專利]一種測(cè)量剝離液中光阻的濃度的方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410118203.0
• 申請(qǐng)日: 2014-03-27
• 公開（公告）號(hào): CN103900978A
• 公開（公告）日: 2014-07-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王俐
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳市華星光電技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): G01N21/31
• 分類號(hào): G01N21/31;G01N21/33
• 代理公司: 廣東廣和律師事務(wù)所 44298
• 代理人: 劉敏

1.一種測(cè)量剝離液中光阻的濃度的方法，其特征在于，所述測(cè)量剝離液中光阻的濃度的方法包括以下步驟：

S102：制備光阻標(biāo)樣；

S104：采集標(biāo)樣及待測(cè)試的樣品對(duì)應(yīng)的光譜；

S106：對(duì)所采集的光譜進(jìn)行n階求導(dǎo)，得到并存儲(chǔ)第n階求導(dǎo)曲線，其中n為大于或等于1的整數(shù)；和

S108：基于所得到的第n階求導(dǎo)曲線建立標(biāo)準(zhǔn)曲線，計(jì)算待測(cè)試的樣品的光阻的濃度。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)量剝離液中光阻的濃度的方法，其特征在于，所述S102中，將光阻涂布在素玻璃上，經(jīng)過曝光制程、顯影制程和蝕刻制程，將光阻刮取目標(biāo)質(zhì)量，在燒杯中模擬剝離過程，得到目標(biāo)濃度的標(biāo)樣。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)量剝離液中光阻的濃度的方法，其特征在于，所述S104中，利用紫外-可見分光光度計(jì)采集標(biāo)樣及待測(cè)試的樣品的光譜。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)量剝離液中光阻的濃度的方法，其特征在于，所述S104包括以下步驟：

溶劑選擇：選擇合適的溶劑，并以該溶劑為測(cè)試參比液；

剝離液光譜采集：取一定量的新鮮剝離液，用所述溶劑稀釋一定倍數(shù)后，掃描在相同波長范圍內(nèi)的吸收曲線；

標(biāo)樣光譜采集：將多個(gè)目標(biāo)濃度的標(biāo)樣，用所述溶劑稀釋所述倍數(shù)后，掃描在相同波長范圍內(nèi)的吸收曲線；

樣品光譜采集：取待測(cè)試的樣品，用所述溶劑稀釋所述倍數(shù)后，掃描在相同波長范圍內(nèi)的吸收曲線。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的測(cè)量剝離液中光阻的濃度的方法，其特征在于，所述S106中，將新鮮剝離液、標(biāo)樣以及待測(cè)試的樣品的吸收曲線進(jìn)行n階求導(dǎo)轉(zhuǎn)換，并保存各個(gè)轉(zhuǎn)換后的第n階求導(dǎo)曲線，其中n為1、2、3或4。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的測(cè)量剝離液中光阻的濃度的方法，其特征在于，所述S108中，當(dāng)新鮮剝離液的第n階求導(dǎo)曲線在第一波長(λ1)處吸收為0，而標(biāo)樣及待測(cè)試的樣品在第一波長(λ1)處有一致波谷時(shí)，以第一波長(λ1)處波谷值與標(biāo)樣的光阻的濃度建立標(biāo)準(zhǔn)曲線。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的測(cè)量剝離液中光阻的濃度的方法，其特征在于，所述S108中，當(dāng)新鮮剝離液的第n階求導(dǎo)曲線在第二波長(λ2)處吸收為0，而標(biāo)樣及待測(cè)試的樣品在第二波長(λ2)處有一致波峰時(shí)，以第二波長(λ2)處波峰值與標(biāo)樣的光阻的濃度建立標(biāo)準(zhǔn)曲線。

8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的測(cè)量剝離液中光阻的濃度的方法，其特征在于，所述S108中，當(dāng)新鮮剝離液的第n階求導(dǎo)曲線在第三波長(λ3)至第四波長(λ4)區(qū)間吸收均為0，而標(biāo)樣及待測(cè)試的樣品在第三波長(λ3)處有一致波谷且在第四波長(λ4)處有一致波峰時(shí)，以第三波長(λ3)至第四波長(λ4)的振幅與標(biāo)樣的光阻的濃度建立標(biāo)準(zhǔn)曲線。

9.根據(jù)權(quán)利要求1至8任一項(xiàng)所述的測(cè)量剝離液中光阻的濃度的方法，其特征在于，所述剝離液為有機(jī)胺類剝離液。

10.根據(jù)權(quán)利要求1至8任一項(xiàng)所述的測(cè)量剝離液中光阻的濃度的方法，其特征在于，所述光阻為酚醛樹脂類正型光阻。