[發明專利]浸沒式光刻機中浸液傳送系統的控制時序的模型匹配方法

有效

• 申請號: 201410110134.9
• 申請日: 2014-03-21
• 公開（公告）號: CN103885301A
• 公開（公告）日: 2014-06-25
• 發明（設計）人: 傅新;楊凱;陳文昱;張志杰;杜凌云
• 申請（專利權）人: 浙江大學
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 杭州求是專利事務所有限公司 33200
• 代理人: 林懷禹

技術領域

本發明涉及一種控制時序的模型匹配方法，特別是涉及一種浸沒式光刻機中浸液傳送系統的控制時序的模型匹配方法。

背景技術

光刻機是制造超大規模集成電路的核心裝備之一，現代光刻機以光學光刻為主，它利用光學系統把掩膜版上的圖形精確地投影并曝光在涂過光刻膠的硅片上。它包括一個激光光源、一個光學系統、一塊由芯片圖形組成的投影掩膜版、對準系統、機械傳動系統和控制系統。

浸沒式光刻（Immersion?Lithography）設備通過在最后一片投影物鏡與硅片之間填充某種高折射率的液體，相對于中間介質為氣體的干式光刻機，提高了投影物鏡的數值孔徑（NA），從而提高了光刻設備的分辨率和焦深。在已提出的下一代光刻機中，浸沒式光刻對現有設備改動最小，對現在的干式光刻機具有良好的繼承性。目前常采用的方案是局部浸沒法，即將液體限制在硅片上方和最后一片投影物鏡的下表面之間的局部區域內，并保持穩定連續的液體流動。

從傳統光刻到浸沒式光刻，浸沒式光刻機浸液傳送系統的控制系統是實現穩定連續的液體流動的一項關鍵技術。已有的浸沒式光刻機中浸液傳送系統都需要考慮系統通訊架構和控制時序問題。控制時序方法能夠確保浸沒式光刻機中浸液傳送系統運行的邏輯性和合理性，實現浸液傳送系統故障處理。

傳統的系統控制時序設計方法處理方式比較復雜，多是通過開發人員編寫大量的重復性例程來解決。現有的系統控制時序的設計方法中，普遍將重心放在如何降低代碼的使用量上，從而無法達到有效的降低控制時序的處理復雜度。

發明內容

為了解決浸沒式光刻機中浸液傳送系統的時序設計問題，本發明的目的在于提供一種浸沒式光刻機中浸液傳送系統的控制時序的模型匹配方法。

本發明采用的技術方案包括以下步驟：

將浸液傳送系統的時序控制過程當作狀態機構建符合浸沒傳送系統時序控制過程的擴展有限狀態機模型；通過將接收到的系統信息輸入量與擴展有限狀態機模型進行匹配，實現對浸沒式光刻機浸液傳送系統的當前狀態、控制時序以及當前狀態所對應的下一步控制操作進行同時定位。

所述的擴展有限狀態機模型的構建包括：

1.1）根據浸液傳送系統整個運行過程中的不同狀態建立有限狀態集合Q以及各個狀態下所對應的控制操作集合C、有限狀態判斷標識集合QF、控制操作標識集合CF和系統時序標識集合T共五個集合：

有限狀態集合，用于描述系統整個運行過程中的不同狀態；

控制操作集合，用于描述系統當前狀態所對應的控制操作；

有限狀態判斷標識集合，用于判斷系統當前狀態的標識；

控制操作標識集合，用于判斷系統當前狀態所對應的操作是否已完成；

系統時序標志集合，用于判斷系統當前運行時序的標識；

1.2）窮舉有限狀態集合Q、控制操作集合C、有限狀態判斷標識集合QF、控制操作標識集合CF、系統時序標志集合T；

1.3）在所有狀態之間的各個跳轉關系下，根據上述有限狀態集合Q、控制操作集合C、有限狀態判斷標識集合QF、控制操作標識集合CF、系統時序標志集合T之間的關系建立符合擴展有限狀態機模型的各個實例；

1.4）篩選出重復性的擴展有限狀態機模型的實例，調整有限狀態判斷標識集合QF、控制操作標識集合CF和系統時序標志集合T使得每一個擴展有限狀態機模型的實例為唯一；如果無法調整上述的三個集合，則通過增加額外變量標識，使得每一個擴展有限狀態機模型的實例為唯一。

所述的將接收到的系統信息輸入量與擴展有限狀態機模型進行匹配包括：

2.1）將接收到的系統信息輸入量進行預判斷，如果系統信息輸入量需要與擴展有限狀態機模型進行匹配，則進行下一步驟；如果不需要匹配，則不進行任何操作；

2.2）將系統信息輸入量與所對應的擴展有限狀態機模型實例中具有唯一性特征的變量標識或者變量標識集合進行匹配。

所述的模型匹配方法用于浸沒式光刻機浸液傳送系統下的一個或多個分系統。

所述的擴展有限狀態機模型的實例之間采用結構體變量地址和枚舉變量地址的尋址方式進行識別。

所述的具有唯一性特征的變量或者變量集合為使得該擴展有限狀態機模型的實例為唯一的變量標識或者變量標識集合。

本發明具有的有益效果是：

1.??該設計方法采用的擴展有限狀態機模型窮舉時序控制系統的狀態值，且模型中的每一條實例都是唯一的，能夠最大限度的提高代碼的執行效率，減少重復性代碼的使用量，提升了系統在運行過程中的效率，保證了系統運行的可靠性和有效性。