[發明專利]浸沒式光刻機中浸液傳送系統的控制時序的模型匹配方法

有效

• 申請號: 201410110134.9
• 申請日: 2014-03-21
• 公開（公告）號: CN103885301A
• 公開（公告）日: 2014-06-25
• 發明（設計）人: 傅新;楊凱;陳文昱;張志杰;杜凌云
• 申請（專利權）人: 浙江大學
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 杭州求是專利事務所有限公司 33200
• 代理人: 林懷禹

1.一種浸沒式光刻機中浸液傳送系統的控制時序的模型匹配方法，其特征在于：將浸液傳送系統的時序控制過程當作狀態機構建符合浸沒傳送系統時序控制過程的擴展有限狀態機模型；通過將接收到的系統信息輸入量與擴展有限狀態機模型進行匹配，實現對浸沒式光刻機浸液傳送系統的當前狀態、控制時序以及當前狀態所對應的下一步控制操作進行同時定位。

2.根據權利要求1所述的一種浸沒式光刻機中浸液傳送系統的控制時序的模型匹配方法，其特征在于：所述的擴展有限狀態機模型的構建包括：

1.1）根據浸液傳送系統整個運行過程中的不同狀態建立有限狀態集合Q以及各個狀態下所對應的控制操作集合C、有限狀態判斷標識集合QF、控制操作標識集合CF和系統時序標識集合T共五個集合：

有限狀態集合，用于描述系統整個運行過程中的不同狀態；

控制操作集合，用于描述系統當前狀態所對應的控制操作；

有限狀態判斷標識集合，用于判斷系統當前狀態的標識；

控制操作標識集合，用于判斷系統當前狀態所對應的操作是否已完成；

系統時序標志集合，用于判斷系統當前運行時序的標識；

1.2）窮舉有限狀態集合Q、控制操作集合C、有限狀態判斷標識集合QF、控制操作標識集合CF、系統時序標志集合T；

1.3）在所有狀態之間的各個跳轉關系下，根據上述有限狀態集合Q、控制操作集合C、有限狀態判斷標識集合QF、控制操作標識集合CF、系統時序標志集合T之間的關系建立符合擴展有限狀態機模型的各個實例；

1.4）篩選出重復性的擴展有限狀態機模型的實例，調整有限狀態判斷標識集合QF、控制操作標識集合CF和系統時序標志集合T使得每一個擴展有限狀態機模型的實例為唯一；如果無法調整上述的三個集合，則通過增加額外變量標識，使得每一個擴展有限狀態機模型的實例為唯一。

3.根據權利要求1所述的一種浸沒式光刻機中浸液傳送系統的控制時序的模型匹配方法，其特征在于：所述的將接收到的系統信息輸入量與擴展有限狀態機模型進行匹配包括：

2.1）將接收到的系統信息輸入量進行預判斷，如果系統信息輸入量需要與擴展有限狀態機模型進行匹配，則進行下一步驟；如果不需要匹配，則不進行任何操作；

2.2）將系統信息輸入量與所對應的擴展有限狀態機模型實例中具有唯一性特征的變量標識或者變量標識集合進行匹配。

4.根據權利要求1所述的一種浸沒式光刻機中浸液傳送系統的控制時序的模型匹配方法，其特征在于：所述的模型匹配方法用于浸沒式光刻機浸液傳送系統下的一個或多個分系統。

5.根據權利要求2所述的一種浸沒式光刻機中浸液傳送系統的控制時序的模型匹配方法，其特征在于：所述的擴展有限狀態機模型的實例之間采用結構體變量地址和枚舉變量地址的尋址方式進行識別。

6.根據權利要求3所述的一種浸沒式光刻機中浸液傳送系統的控制時序的模型匹配方法，其特征在于：所述的具有唯一性特征的變量或者變量集合為使得該擴展有限狀態機模型的實例為唯一的變量標識或者變量標識集合。