[發明專利]光源裝置

無效

• 申請號: 201410109020.2
• 申請日: 2014-03-21
• 公開（公告）號: CN104062856A
• 公開（公告）日: 2014-09-24
• 發明（設計）人: 松島竹夫
• 申請（專利權）人: 優志旺電機株式會社
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G02B27/09
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 徐殿軍

技術領域

本發明涉及光源裝置，特別涉及在通過壓印（imprint）法針對加工對象物形成凹凸構造時使用的光源裝置。

背景技術

作為制造微細的凹凸構造的方法，已知有壓印法（例如，參照專利文獻1）。在作為加工對象物的基材的上表面上形成了UV硬化性樹脂的狀態下，將想要成形的模（金屬模）向基材推壓。并且，通過將UV光針對該加工對象物和金屬模照射，在基材上形成與金屬模的凹凸構造相反的凹凸構造。此時，使用LED作為UV光的光源。

專利文獻1：特開2011－171366號公報

在專利文獻1中，設想了作為加工對象物的基材及模的兩者的表面是平面形狀的情況。因此，如果從光源射出均勻強度的光，則針對加工對象物的對象面，更詳細地講，針對UV硬化性樹脂照射均勻的照度的光。

但是，在想要將該技術應用到透鏡（lens）面的凹凸構造的形成中的情況下，發生以下的問題。圖1是使用壓印技術針對透鏡面形成凹凸構造的情況下的示意概念圖。

透鏡25一般是在兩面或單面上具有曲面的結構。為了在該曲面上形成凹凸，向該對象表面推抵的一側的模23的表面也為沿著曲面的結構。此時，形成在作為加工對象物的透鏡25上的樹脂27也成為被形成到曲面上，結果，相應于透鏡25上的位置，從光源21放射的光線（從各發光部朝向透鏡25的直線行進性較高的光線）向樹脂27入射的角度、從光源21到樹脂27的沿著光的直線行進成分的距離、樹脂27的沿著光的直線行進成分的厚度相應于位置而不同。

在此狀態下，在從光源21射出了均勻的光量的光的情況下，存在相應于位置而沒有照射使樹脂27硬化的充足的光量，發生處理不勻（樹脂硬化不勻）這樣的問題。

此外，在模23或透鏡25具有曲面（凹面或凸面）的情況下，如果光的入射面或射出面由曲面形成，則在該曲面中光折射，光的朝向被彎折。這也成為相應于位置使針對樹脂27照射的光量變化的原因。

發明內容

本發明鑒于上述問題，目的是實現一種能夠以與加工對象物的形狀無關、且不發生相應于位置的處理不勻的方式實施針對加工對象物的壓印加工的光源裝置。

本發明是一種針對被照射物照射光的壓印用的光源裝置，其特征在于，構成為具有：光源，包括第1發光部及第2發光部；控制部，能夠針對上述第1發光部及上述第2發光部分別進行光量調整；柱型積分儀（rod integrator）組，具備多個柱型積分儀；上述柱型積分儀組包括第1柱型積分儀、以及以包圍上述第1柱型積分儀的外周的方式形成的第2柱型積分儀；上述第1柱型積分儀將從上述第1發光部射出的光取入，針對上述被照射物的第1照射區域照射光；上述第2柱型積分儀將從上述第2發光部射出的光取入，針對上述被照射物的與上述第1照射區域不同的第2照射區域照射光。

根據上述構成，構成為來自第1柱型積分儀的射出面的射出光量和來自第2柱型積分儀的射出面的射出光量能夠分別由控制部單獨控制。并且，從第1柱型積分儀射出的光在照度均勻的狀態下照射于被照射表面的第1照射區域，同樣，從第2柱型積分儀射出的光在照度均勻的狀態下照射于被照射表面的第2照射區域。

即，能夠按照被照射表面的不同的每個照射區域，在將同一照射區域內的照度保持為均勻的狀態下進行照射光量的調整。

這里，第2柱型積分儀以包圍第1柱型積分儀的外周的方式而形成。由此，來自第2柱型積分儀的射出光所照射的第2照射區域在被照射表面上位于來自第1柱型積分儀的射出光所照射的第1照射區域的外側。即，能夠在被照射表面的內側和外側使各照射區域內的照度為一定，并且能夠調整其照射光量。

例如，設想將本裝置用于透鏡表面的壓印加工的情況。此時，由于透鏡由曲面構成，所以在內側和外側，被照射表面相對于光源的傾斜度不同。在這樣的情況下，通過相應于該傾斜度調整第1發光部和第2發光部的光量，能夠針對被照射表面的整體照射處理所需要的光量的光。

作為光量的調整，除了采用在從第1發光部或第2發光部放射的光量中設置差異的方法以外，還可以采用在發光時間上設置差異的方法、或將它們組合的方法。

另外，在上述構成中，也可以將上述第2柱型積分儀形成在上述第1柱型積分儀的同心軸上。

進而，也可以是，將上述第1柱型積分儀以圓柱或橢圓柱形狀形成，將上述第2柱型積分儀以圓環柱或橢圓環柱形狀形成。