[發明專利]光源裝置

無效

• 申請號: 201410109020.2
• 申請日: 2014-03-21
• 公開（公告）號: CN104062856A
• 公開（公告）日: 2014-09-24
• 發明（設計）人: 松島竹夫
• 申請（專利權）人: 優志旺電機株式會社
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G02B27/09
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 徐殿軍

1.一種針對被照射物照射光的壓印用的光源裝置，其特征在于，

具有：

光源，包括第1發光部及第2發光部；

控制部，能夠針對所述第1發光部及所述第2發光部分別進行光量調整；

柱型積分儀組，具備多個柱型積分儀；

所述柱型積分儀組包括第1柱型積分儀、以及以包圍所述第1柱型積分儀的外周的方式而形成的第2柱型積分儀；

所述第1柱型積分儀將從所述第1發光部射出的光取入，并針對所述被照射物的第1照射區域照射光；

所述第2柱型積分儀將從所述第2發光部射出的光取入，并針對所述被照射物的與所述第1照射區域不同的第2照射區域照射光。

2.如權利要求1所述的光源裝置，其特征在于，

所述光源具備多個所述第2發光部；

所述控制部是能夠針對多個所述第2發光部的各自分別進行光量調整的結構；

所述柱型積分儀組具備以各自包圍所述第1柱型積分儀的外周的方式而形成的多個所述第2柱型積分儀；

多個所述第2柱型積分儀的各自是將從不同的所述第2發光部射出的光取入，并針對不同的所述第2照射區域照射光的結構。

3.如權利要求1或2所述的光源裝置，其特征在于，

所述第2照射區域在所述被照射物的照射表面上位于所述第1照射區域的外側。

4.如權利要求1或2所述的光源裝置，其特征在于，

具備將從所述柱型積分儀組射出的光向所述被照射物投影的投影光學系統；

從所述第1柱型積分儀射出的光經由所述投影光學系統被向所述第1照射區域投影；

從所述第2柱型積分儀射出的光經由所述投影光學系統被向所述第2照射區域投影。

5.如權利要求1或2所述的光源裝置，其特征在于，

所述第1發光部及所述第2發光部由LED構成。

6.如權利要求1或2所述的光源裝置，其特征在于，

所述第2柱型積分儀形成在所述第1柱型積分儀的同心軸上。

7.如權利要求6所述的光源裝置，其特征在于，

所述第1柱型積分儀是圓柱或橢圓柱形狀；

所述第2柱型積分儀是圓環柱或橢圓環柱形狀。