[發明專利]一種高真空磁控軸瓦濺鍍機

有效

• 申請號: 201410107256.2
• 申請日: 2014-03-21
• 公開（公告）號: CN104928634B
• 公開（公告）日: 2017-08-15
• 發明（設計）人: 木儉樸
• 申請（專利權）人: 煙臺大豐軸瓦有限責任公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 煙臺上禾知識產權代理事務所(普通合伙)37234
• 代理人: 劉志毅

1.一種高真空磁控軸瓦濺鍍機，包括濺鍍殼體(1)，濺鍍殼體(1)內設有濺鍍腔(8)，所述濺鍍腔(8)設有濺射靶(2)和軸瓦支撐架(4)，所述濺鍍殼體(1)底部設有底座(7)，其特征在于：在所述底座(7)上設有濺射靶架旋轉軸(6)，所述濺射靶架旋轉軸(6)固定設有用來活動放置濺射靶(2)的濺射靶支撐架(3)，所述所述濺射靶(2)為雙面靶，正面為鎳靶、背面為合金靶，所述濺射靶支撐架(3)中間固定連接有濺射靶架旋轉軸(6)，兩側邊緣為凹凸鋸齒狀，在所述底座7上還設有擋板(10)，所述擋板(10)邊緣設有與濺射靶支撐架(3)兩側邊緣為凹凸鋸齒狀配合的凹凸鋸齒狀，所述軸瓦支撐架(4)包括軸瓦支架旋轉軸(5)和活動裝設在軸瓦支架旋轉軸(5)上用來懸掛軸瓦的掛柱(9)，在所述底座(7)下方設有電機，所述濺射靶架旋轉軸(6)和軸瓦支架旋轉軸(5)各獨自連接一個電機，所述每兩根軸瓦支架旋轉軸(5)由一個擋板(10)和擋板(10)兩側邊緣各垂直緊靠一個濺射靶支撐架(3)以及濺鍍殼體(1)圍繞著，所述每兩根軸瓦支架旋轉軸(5)轉向相反，所述濺射靶架旋轉軸(6)轉向為順時針，所述濺鍍殼體(1)頂部設置有液壓裝置(11)，所述液壓裝置(11)通過圓桿貫穿濺鍍殼體(1)頂面連接一個設置在濺鍍殼體(1)內部的圓形密封蓋(12)。

2.根據權利要求1所述一種高真空磁控軸瓦濺鍍機，其特征在于：所述軸瓦支架旋轉軸(5)表面設有多個螺紋孔，所述掛柱(9)尾端設有與螺紋孔配合的牙，所述掛柱(9)中間半徑小于首段半徑。