[發明專利]振動元件、振子、振蕩器、電子設備以及移動體

有效

• 申請號: 201410106982.2
• 申請日: 2014-03-21
• 公開（公告）號: CN104079255B
• 公開（公告）日: 2018-06-12
• 發明（設計）人: 田中雅子;小幡直久;菊島正幸
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: H03H9/02
• 分類號: H03H9/02;H03H9/19
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 李輝;黃綸偉

本發明提供振動元件、振子、振蕩器、電子設備以及移動體，能夠降低由加速度等外力引起的振動特性的變化，發揮穩定的振動特性。振動元件（1）具有包含振動部（21）和厚度比振動部（21）厚的厚壁部（22）的壓電基板（2）。此外，厚壁部（22）具有沿著振動部（21）的第1外緣（211）設置的第1厚壁部（23）、沿著第2外緣（212）設置的第2厚壁部（24）以及沿著第3外緣（213）設置的第3厚壁部（25），在壓電基板（2）的連接第2厚壁部（24）和第3厚壁部（25）的角部上，設有分別相對于X軸方向和Z’軸方向這兩個方向傾斜的第1傾斜外緣部（26）。

技術領域

本發明涉及振動元件、振子、振蕩器、電子設備以及移動體。

背景技術

關于AT切石英振動元件，由于激勵的主振動的振動模式是厚度剪切振動，適合小型化、高頻率化，并且頻率溫度特性呈優良的三次曲線，因此被用于壓電振蕩器、電子設備等多個方面。

專利文獻1中公開有具有薄壁的振動部和設于振動部的全周上的厚壁部的倒臺面構造的AT切石英振動元件，該AT切石英振動元件在所述厚壁部的一端部通過粘接劑被固定在封裝上。在AT切石英振動元件被懸臂支撐的狀態下，對AT切石英振動元件施加厚度方向的加速度時，前端部（振動部）發生變形，存在振動特性（頻率特性）不穩定的問題。特別是在專利文獻1所述的AT切石英振動元件中，在振動部的整個周圍形成有厚壁部，前端部的重量較重，因此對加速度的影響較大，相應地，頻率的偏離量也變大。另外，為了減輕上述那樣的前端部（振動部）的變形，考慮增厚厚壁部的厚度來提高剛性，但是，當增厚厚壁部的厚度時，基于濕式蝕刻的振動部的形成精度降低，產生所得到的振動元件的振動特性無法收斂于規定的特性的問題。

專利文獻1：日本特開2002-198772號公報

發明內容

本發明的目的在于提供一種振動元件、振子、振蕩器、電子設備以及移動體，能夠降低大型化（厚壁化），并且降低由加速度（振動）等外力引起的振動特性的變化，能夠發揮穩定的振動特性。

本發明正是為了解決上述課題的至少一部分而完成的，能夠作為以下的應用例而實現。

［應用例1］

本應用例的振動元件的特征在于，該振動元件包含：

基板，其包含第1區域和第2區域，該第1區域包含以厚度剪切振動的方式進行振動的振動區域，該第2區域與所述第1區域一體，厚度比所述第1區域厚；以及

激勵電極，其分別設于所述振動區域的彼此處于正反關系的第1主面和第2主面，

所述第1區域包含：

第1外緣和第2外緣，它們在所述厚度剪切振動的振動方向上隔開，并與所述振動方向交叉；以及

第3外緣和第4外緣，它們在與所述振動方向垂直的方向上隔開，

所述第2區域包含：

第1厚壁部，其沿著所述第1外緣設置，設置有固定于對象物的固定部；

第2厚壁部，其沿著所述第2外緣設置；以及

第3厚壁部，其沿著所述第3外緣設置，并且，與所述第1厚壁部和所述第2厚壁部連接，

在所述基板的連接所述第2厚壁部和所述第3厚壁部的連接部上，設置有在俯視時相對于所述振動方向和與所述振動方向垂直的方向交叉的第1外緣部。

由此，可得到能夠降低前端側（固定部的相反側）的質量，降低由加速度（振動）等外力引起的振動特性的變化，發揮穩定的振動特性的振動元件。此外，能夠降低厚壁部的厚度，能夠降低振動元件的大型化。

［應用例2］