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[發(fā)明專利]振動(dòng)元件、振子、振蕩器、電子設(shè)備以及移動(dòng)體有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201410106982.2 申請日: 2014-03-21
公開(公告)號(hào): CN104079255B 公開(公告)日: 2018-06-12
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 田中雅子;小幡直久;菊島正幸 申請(專利權(quán))人: 精工愛普生株式會(huì)社
主分類號(hào): H03H9/02 分類號(hào): H03H9/02;H03H9/19
代理公司: 北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127 代理人: 李輝;黃綸偉
地址: 日本*** 國省代碼: 日本;JP
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 厚壁部 振動(dòng)元件 振動(dòng)部 電子設(shè)備 壓電基板 振動(dòng)特性 移動(dòng)體 振蕩器 振子 厚度比 外緣部 角部
【說明書】:

本發(fā)明提供振動(dòng)元件、振子、振蕩器、電子設(shè)備以及移動(dòng)體,能夠降低由加速度等外力引起的振動(dòng)特性的變化,發(fā)揮穩(wěn)定的振動(dòng)特性。振動(dòng)元件(1)具有包含振動(dòng)部(21)和厚度比振動(dòng)部(21)厚的厚壁部(22)的壓電基板(2)。此外,厚壁部(22)具有沿著振動(dòng)部(21)的第1外緣(211)設(shè)置的第1厚壁部(23)、沿著第2外緣(212)設(shè)置的第2厚壁部(24)以及沿著第3外緣(213)設(shè)置的第3厚壁部(25),在壓電基板(2)的連接第2厚壁部(24)和第3厚壁部(25)的角部上,設(shè)有分別相對于X軸方向和Z’軸方向這兩個(gè)方向傾斜的第1傾斜外緣部(26)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及振動(dòng)元件、振子、振蕩器、電子設(shè)備以及移動(dòng)體。

背景技術(shù)

關(guān)于AT切石英振動(dòng)元件,由于激勵(lì)的主振動(dòng)的振動(dòng)模式是厚度剪切振動(dòng),適合小型化、高頻率化,并且頻率溫度特性呈優(yōu)良的三次曲線,因此被用于壓電振蕩器、電子設(shè)備等多個(gè)方面。

專利文獻(xiàn)1中公開有具有薄壁的振動(dòng)部和設(shè)于振動(dòng)部的全周上的厚壁部的倒臺(tái)面構(gòu)造的AT切石英振動(dòng)元件,該AT切石英振動(dòng)元件在所述厚壁部的一端部通過粘接劑被固定在封裝上。在AT切石英振動(dòng)元件被懸臂支撐的狀態(tài)下,對AT切石英振動(dòng)元件施加厚度方向的加速度時(shí),前端部(振動(dòng)部)發(fā)生變形,存在振動(dòng)特性(頻率特性)不穩(wěn)定的問題。特別是在專利文獻(xiàn)1所述的AT切石英振動(dòng)元件中,在振動(dòng)部的整個(gè)周圍形成有厚壁部,前端部的重量較重,因此對加速度的影響較大,相應(yīng)地,頻率的偏離量也變大。另外,為了減輕上述那樣的前端部(振動(dòng)部)的變形,考慮增厚厚壁部的厚度來提高剛性,但是,當(dāng)增厚厚壁部的厚度時(shí),基于濕式蝕刻的振動(dòng)部的形成精度降低,產(chǎn)生所得到的振動(dòng)元件的振動(dòng)特性無法收斂于規(guī)定的特性的問題。

專利文獻(xiàn)1:日本特開2002-198772號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種振動(dòng)元件、振子、振蕩器、電子設(shè)備以及移動(dòng)體,能夠降低大型化(厚壁化),并且降低由加速度(振動(dòng))等外力引起的振動(dòng)特性的變化,能夠發(fā)揮穩(wěn)定的振動(dòng)特性。

本發(fā)明正是為了解決上述課題的至少一部分而完成的,能夠作為以下的應(yīng)用例而實(shí)現(xiàn)。

[應(yīng)用例1]

本應(yīng)用例的振動(dòng)元件的特征在于,該振動(dòng)元件包含:

基板,其包含第1區(qū)域和第2區(qū)域,該第1區(qū)域包含以厚度剪切振動(dòng)的方式進(jìn)行振動(dòng)的振動(dòng)區(qū)域,該第2區(qū)域與所述第1區(qū)域一體,厚度比所述第1區(qū)域厚;以及

激勵(lì)電極,其分別設(shè)于所述振動(dòng)區(qū)域的彼此處于正反關(guān)系的第1主面和第2主面,

所述第1區(qū)域包含:

第1外緣和第2外緣,它們在所述厚度剪切振動(dòng)的振動(dòng)方向上隔開,并與所述振動(dòng)方向交叉;以及

第3外緣和第4外緣,它們在與所述振動(dòng)方向垂直的方向上隔開,

所述第2區(qū)域包含:

第1厚壁部,其沿著所述第1外緣設(shè)置,設(shè)置有固定于對象物的固定部;

第2厚壁部,其沿著所述第2外緣設(shè)置;以及

第3厚壁部,其沿著所述第3外緣設(shè)置,并且,與所述第1厚壁部和所述第2厚壁部連接,

在所述基板的連接所述第2厚壁部和所述第3厚壁部的連接部上,設(shè)置有在俯視時(shí)相對于所述振動(dòng)方向和與所述振動(dòng)方向垂直的方向交叉的第1外緣部。

由此,可得到能夠降低前端側(cè)(固定部的相反側(cè))的質(zhì)量,降低由加速度(振動(dòng))等外力引起的振動(dòng)特性的變化,發(fā)揮穩(wěn)定的振動(dòng)特性的振動(dòng)元件。此外,能夠降低厚壁部的厚度,能夠降低振動(dòng)元件的大型化。

[應(yīng)用例2]

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專利文獻(xiàn)下載

說明:

1、專利原文基于中國國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局專利說明書;

2、支持發(fā)明專利 、實(shí)用新型專利、外觀設(shè)計(jì)專利(升級(jí)中);

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