[發(fā)明專利]振動(dòng)元件、振子、振蕩器、電子設(shè)備以及移動(dòng)體

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410106982.2
• 申請日: 2014-03-21
• 公開（公告）號(hào): CN104079255B
• 公開（公告）日: 2018-06-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 田中雅子;小幡直久;菊島正幸
• 申請（專利權(quán)）人: 精工愛普生株式會(huì)社
• 主分類號(hào): H03H9/02
• 分類號(hào): H03H9/02;H03H9/19
• 代理公司: 北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 李輝;黃綸偉

本發(fā)明提供振動(dòng)元件、振子、振蕩器、電子設(shè)備以及移動(dòng)體，能夠降低由加速度等外力引起的振動(dòng)特性的變化，發(fā)揮穩(wěn)定的振動(dòng)特性。振動(dòng)元件（1）具有包含振動(dòng)部（21）和厚度比振動(dòng)部（21）厚的厚壁部（22）的壓電基板（2）。此外，厚壁部（22）具有沿著振動(dòng)部（21）的第1外緣（211）設(shè)置的第1厚壁部（23）、沿著第2外緣（212）設(shè)置的第2厚壁部（24）以及沿著第3外緣（213）設(shè)置的第3厚壁部（25），在壓電基板（2）的連接第2厚壁部（24）和第3厚壁部（25）的角部上，設(shè)有分別相對于X軸方向和Z’軸方向這兩個(gè)方向傾斜的第1傾斜外緣部（26）。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及振動(dòng)元件、振子、振蕩器、電子設(shè)備以及移動(dòng)體。

背景技術(shù)

關(guān)于AT切石英振動(dòng)元件，由于激勵(lì)的主振動(dòng)的振動(dòng)模式是厚度剪切振動(dòng)，適合小型化、高頻率化，并且頻率溫度特性呈優(yōu)良的三次曲線，因此被用于壓電振蕩器、電子設(shè)備等多個(gè)方面。

專利文獻(xiàn)1中公開有具有薄壁的振動(dòng)部和設(shè)于振動(dòng)部的全周上的厚壁部的倒臺(tái)面構(gòu)造的AT切石英振動(dòng)元件，該AT切石英振動(dòng)元件在所述厚壁部的一端部通過粘接劑被固定在封裝上。在AT切石英振動(dòng)元件被懸臂支撐的狀態(tài)下，對AT切石英振動(dòng)元件施加厚度方向的加速度時(shí)，前端部（振動(dòng)部）發(fā)生變形，存在振動(dòng)特性（頻率特性）不穩(wěn)定的問題。特別是在專利文獻(xiàn)1所述的AT切石英振動(dòng)元件中，在振動(dòng)部的整個(gè)周圍形成有厚壁部，前端部的重量較重，因此對加速度的影響較大，相應(yīng)地，頻率的偏離量也變大。另外，為了減輕上述那樣的前端部（振動(dòng)部）的變形，考慮增厚厚壁部的厚度來提高剛性，但是，當(dāng)增厚厚壁部的厚度時(shí)，基于濕式蝕刻的振動(dòng)部的形成精度降低，產(chǎn)生所得到的振動(dòng)元件的振動(dòng)特性無法收斂于規(guī)定的特性的問題。

專利文獻(xiàn)1：日本特開2002-198772號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種振動(dòng)元件、振子、振蕩器、電子設(shè)備以及移動(dòng)體，能夠降低大型化（厚壁化），并且降低由加速度（振動(dòng)）等外力引起的振動(dòng)特性的變化，能夠發(fā)揮穩(wěn)定的振動(dòng)特性。

本發(fā)明正是為了解決上述課題的至少一部分而完成的，能夠作為以下的應(yīng)用例而實(shí)現(xiàn)。

［應(yīng)用例1］

本應(yīng)用例的振動(dòng)元件的特征在于，該振動(dòng)元件包含：

基板，其包含第1區(qū)域和第2區(qū)域，該第1區(qū)域包含以厚度剪切振動(dòng)的方式進(jìn)行振動(dòng)的振動(dòng)區(qū)域，該第2區(qū)域與所述第1區(qū)域一體，厚度比所述第1區(qū)域厚；以及

激勵(lì)電極，其分別設(shè)于所述振動(dòng)區(qū)域的彼此處于正反關(guān)系的第1主面和第2主面，

所述第1區(qū)域包含：

第1外緣和第2外緣，它們在所述厚度剪切振動(dòng)的振動(dòng)方向上隔開，并與所述振動(dòng)方向交叉；以及

第3外緣和第4外緣，它們在與所述振動(dòng)方向垂直的方向上隔開，

所述第2區(qū)域包含：

第1厚壁部，其沿著所述第1外緣設(shè)置，設(shè)置有固定于對象物的固定部；

第2厚壁部，其沿著所述第2外緣設(shè)置；以及

第3厚壁部，其沿著所述第3外緣設(shè)置，并且，與所述第1厚壁部和所述第2厚壁部連接，

在所述基板的連接所述第2厚壁部和所述第3厚壁部的連接部上，設(shè)置有在俯視時(shí)相對于所述振動(dòng)方向和與所述振動(dòng)方向垂直的方向交叉的第1外緣部。

由此，可得到能夠降低前端側(cè)（固定部的相反側(cè)）的質(zhì)量，降低由加速度（振動(dòng)）等外力引起的振動(dòng)特性的變化，發(fā)揮穩(wěn)定的振動(dòng)特性的振動(dòng)元件。此外，能夠降低厚壁部的厚度，能夠降低振動(dòng)元件的大型化。

［應(yīng)用例2］