[發明專利]振動元件、振子、振蕩器、電子設備以及移動體

有效

• 申請號: 201410106982.2
• 申請日: 2014-03-21
• 公開（公告）號: CN104079255B
• 公開（公告）日: 2018-06-12
• 發明（設計）人: 田中雅子;小幡直久;菊島正幸
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: H03H9/02
• 分類號: H03H9/02;H03H9/19
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 李輝;黃綸偉

1.一種振動元件，其特征在于，該振動元件具有：

基板，其包含第1區域和第2區域，所述第1區域包含進行厚度剪切振動的振動區域，所述第2區域的厚度比所述第1區域的厚度厚；以及

激勵電極，其配置于所述振動區域的正面和背面，

所述第1區域包含：

第1外緣和第2外緣，所述第1外緣配置于所述厚度剪切振動的振動方向的一端，所述第2外緣配置于所述振動方向的另一端；以及

第3外緣和第4外緣，所述第3外緣配置于與所述振動方向交叉的方向的一端，所述第4外緣配置于所述交叉的方向的另一端，

所述第2區域包含：

第1厚壁部，其設置有固定于對象物的固定部，沿著所述第1外緣配置；

第2厚壁部，其沿著所述第2外緣配置；以及

第3厚壁部，其沿著所述第3外緣配置且與所述第1厚壁部和所述第2厚壁部連接，

所述基板的俯視時的外緣在連接所述第2厚壁部和所述第3厚壁部的連接部上，包含在俯視時相對于所述振動方向和與所述振動方向垂直的方向交叉的第1外緣部。

2.根據權利要求1所述的振動元件，其中，

所述第1外緣部是在俯視時相對于所述振動方向和所述垂直的方向傾斜的第1傾斜外緣部，

所述第1傾斜外緣部相對于所述振動方向的傾斜角為30°以上60°以下。

3.根據權利要求1或2所述的振動元件，其中，

所述第2厚壁部沿著所述振動方向的長度為40μm以上100μm以下。

4.根據權利要求1或2所述的振動元件，其中，

所述第2區域的厚度為50μm以上70μm以下。

5.根據權利要求1或2所述的振動元件，其中，

所述第3厚壁部沿著與所述振動方向垂直的方向的長度為200μm以上。

6.根據權利要求1或2所述的振動元件，其中，

在俯視時所述第2厚壁部的與所述第3厚壁部相反一側的端部上，設置有相對于所述振動方向和與所述振動方向垂直的方向交叉的第2外緣部。

7.根據權利要求6所述的振動元件，其中，

所述第2外緣部是在俯視時相對于所述振動方向和所述垂直的方向傾斜的第2傾斜外緣部，

所述第2傾斜外緣部相對于所述振動方向的傾斜角為30°以上60°以下。

8.根據權利要求7所述的振動元件，其中，

所述第2傾斜外緣部被設置成跨過所述第1區域。

9.根據權利要求1或2所述的振動元件，其中，

所述基板是如下的石英板：在石英晶軸即作為電氣軸的X軸、作為機械軸的Y軸以及作為光學軸的Z軸中，將所述X軸作為旋轉軸，將使所述Z軸以+Z側向所述Y軸的-Y方向旋轉的方式傾斜后的軸作為Z’軸，將使所述Y軸以+Y側向所述Z軸的+Z方向旋轉的方式傾斜后的軸作為Y’軸，將包含所述X軸和所述Z’軸的面作為主面，將沿著所述Y’軸的方向作為厚度方向。

10.一種振子，其特征在于，該振子包含：

權利要求1或2所述的振動元件；以及

收納所述振動元件的封裝。

11.一種振蕩器，其特征在于，該振蕩器具有：

權利要求1或2所述的振動元件；以及

驅動所述振動元件的振蕩電路。

12.一種電子設備，其特征在于，該電子設備具有權利要求1或2所述的振動元件。

13.一種移動體，其特征在于，該移動體具有權利要求1或2所述的振動元件。