[發(fā)明專利]一種減少OPC修正后驗證誤報錯的方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410106502.2
• 申請日: 2014-03-20
• 公開（公告）號: CN103885282B
• 公開（公告）日: 2017-11-03
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 何大權(quán);張辰明;魏芳;張旭昇
• 申請（專利權(quán)）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號: G03F1/36
• 分類號: G03F1/36
• 代理公司: 上海申新律師事務(wù)所31272
• 代理人: 吳俊

1.一種減少OPC修正后驗證誤報錯的方法，其特征在于，

步驟一：完成OPC修正，在OPC修正完成后產(chǎn)生OPC修正后圖形以及OPC修正前的目標圖形；

步驟二：在OPC修正完成后選出導(dǎo)致OPC驗證錯誤誤報的凹角圖形區(qū)域；

步驟三：截取所述目標圖形中錯誤誤報的凹角圖形區(qū)域圖中符合條件的凹角圖形邊片；

步驟四：以所述凹角圖形邊片為邊，所述凹角的頂點為起始點，沿著圖形內(nèi)部方向形成獨立的OPC矩形驗證區(qū)域；

步驟五：對形成獨立的所述OPC矩形驗證區(qū)域以外的區(qū)域進行驗證，通過模擬尺寸和目標尺寸的相對比例進行檢查，以及

對形成獨立的所述OPC矩形驗證區(qū)域進行驗證，該區(qū)域模擬尺寸與目標尺寸的相對比例不小于規(guī)格規(guī)定正常范圍內(nèi)的最小百分比。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述減少OPC修正后驗證誤報錯的方法，其特征在于，導(dǎo)致OPC驗證錯誤誤報的圖形邊長度大于兩倍最小設(shè)計規(guī)則線寬，所述導(dǎo)致OPC驗證錯誤誤報的凹角圖形邊的兩條鄰邊中至少一鄰邊與所述導(dǎo)致OPC驗證錯誤誤報的凹角圖形邊成270度，并且兩條鄰邊的長度均大于最小設(shè)計規(guī)則線寬。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述減少OPC修正后驗證誤報錯的方法，其特征在于，所述矩形驗證區(qū)域的長度為設(shè)計規(guī)則規(guī)定的最小線寬尺寸的1.25倍，所述矩形的寬不小于所述目標圖形的寬。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述減少OPC修正后驗證誤報錯的方法，其特征在于，在步驟五中，當模擬尺寸介于目標尺寸95％至105％之間，正常；反之，修正可能存在問題。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述減少OPC修正后驗證誤報錯的方法，其特征在于，在步驟五中，當模擬尺寸大于形成獨立OPC驗證區(qū)域目標尺寸的95％，正常；反之，修正可能存在問題。