[發明專利]噴灑頭裝置

在審

• 申請號: 201410104272.6
• 申請日: 2014-03-20
• 公開（公告）號: CN104775105A
• 公開（公告）日: 2015-07-15
• 發明（設計）人: 蔡陳德;簡榮禎;黃智勇;陳冠州;王慶鈞;林義鈞
• 申請（專利權）人: 財團法人工業技術研究院
• 主分類號: C23C16/455
• 分類號: C23C16/455
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 陳小雯

1.一種噴灑頭裝置，其特征在于，該噴灑頭裝置包括：

多孔板體，具有第一流道以及多個第二流道，該第一流道沿著該多孔板體蜿蜒分布以供第一流體流通，該些第二流道分別貫穿該多孔板體并且交錯于該第一流道中以供第二流體流通，其中該第二流道垂直于該多孔板體，該第一流道與該第二流道互不連通，且該第一流體接觸各該第二流道的側壁。

2.如權利要求1所述的噴灑頭裝置，其特征在于，該多孔板體包括：

第一板面部，具有由第一側貫穿至第二側的多個第一貫孔，且該第一側相對于該第二側；

環形壁，設置于該第二側；

多個隔片結構，位于該環形壁所圍面積之內，該些隔片結構間隔設置于該第一板面部的該第二側以于該第二側形成該第一流道，且該些第一貫孔分別位于該些隔片結構的相鄰兩者之間；以及

第二板面部，該環形壁以及該些隔片結構位于該第一板面部與該第二板面部之間，且該第二板面部具有多個第二貫孔，該些第二貫孔分別對應于該些第一貫孔。

3.如權利要求2所述的噴灑頭裝置，其特征在于，該多孔板體還包括多個管狀凸起，由該第一板面部的該第二側朝向該第二板面部凸伸并位于該第一流道中，各該管狀凸起連通于其中一該第一貫孔以及對應的其中一該第二貫孔以形成其中一該第二流道。

4.如權利要求2所述的噴灑頭裝置，其特征在于，還包括多個管件，各該管件插設于其中一該第一貫孔以及對應的其中一該第二貫孔中以在該些管件內部形成該些第二流道。

5.如權利要求4所述的噴灑頭裝置，其特征在于，各該管件通過一接合媒介接合于該第一板面部以及該第二板面部。

6.如權利要求2所述的噴灑頭裝置，其特征在于，該環形壁以及該些隔片結構通過接合媒介接合于該第二板面部。

7.如權利要求2所述的噴灑頭裝置，其特征在于，該環形壁以及該些隔片結構通過接合媒介接合于該第一板面部。

8.如權利要求2所述的噴灑頭裝置，其特征在于，該環形壁具有多個開口，該些開口分別連通該第一流道。

9.如權利要求2所述的噴灑頭裝置，其特征在于，該些隔片結構包括至少一第一隔片結構與多個第二隔片結構，該至少一第一隔片結構連接于該環形壁以圍出多個封閉區域而將該第一流道劃分為多個分段，各該分段位于其中一個封閉區域中，該些第二隔片結構分別僅有一端連接于該環形壁而另一端為開放端以在其中一該封閉區域中而決定該第一流體在對應的該分段中的流路。

10.如權利要求9所述的噴灑頭裝置，其特征在于，該環形壁具有多個開口，該些開口分別連通該流路的入口端以及出口端。

11.如權利要求1所述的噴灑頭裝置，其特征在于，該第一流道與各該第二流道的出口端之間的距離小于該第一流道與各該第二流道的入口端之間的距離。

12.如權利要求1所述的噴灑頭裝置，其特征在于，該第一流道劃分為彼此獨立的多個分段，各該分段具有入口端與出口端，且該第一流體在各該分段中具有單一流路。

13.如權利要求1所述的噴灑頭裝置，其特征在于，該第一流體為熱交換流體，而該第二流體為制作工藝流體。

14.如權利要求13所述的噴灑頭裝置，其特征在于，該制作工藝流體包括反應流體、載體流體或其組合。

15.如權利要求13所述的噴灑頭裝置，其特征在于，該冷卻流體包括冷卻劑。

16.如權利要求1所述的噴灑頭裝置，其特征在于，還包括多個內管件，設置于該些第二流道中，各該內管件與對應個其中一該第二流道平行以供第三流體流通。

17.如權利要求1所述的噴灑頭裝置，其特征在于，還包括上蓋以及固定框，該多孔板體夾于該上蓋以及該固定框之間。