[發明專利]一種靶材綁定方法

有效

• 申請號: 201410099257.7
• 申請日: 2014-03-18
• 公開（公告）號: CN104928633B
• 公開（公告）日: 2018-01-09
• 發明（設計）人: 林俊榮;梁敏敏;祝令建;王玉曉
• 申請（專利權）人: 漢能聯創移動能源投資有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;B23K31/02
• 代理公司: 北京維澳專利代理有限公司11252
• 代理人: 周放,張春雨

技術領域

本發明涉及一種靶材加工方法，具體地講是涉及一種靶材的綁定方法。

背景技術

目前，濺射鍍膜行業內使用的靶材通常都是采用擴散綁定或粘合綁定的方式來制造的，由于靶材都是在低電位的濺射環境下使用，所以綁定用的粘結材料必須具有導電和無磁的特性，目前行業內通常采用銦或銦合金、錫或錫合金來做粘結材料。另外，為了加強靶材與背板之間的粘結力，在綁定的過程中通常還會加入機械輔助部件，如導電毯、金屬彈簧夾片、螺紋配、緊配(熱壓配)、擠制壓配等方式，來加強靶材綁定的牢固性。

公開號為US2009/0250337A1的美國專利申請公開了一種圓筒狀靶材的綁定方法，其中披露了使用In，Sn，InSn，SnBi或低溫(低于300℃)熔點之低溫金屬作為焊料將筒狀靶材與筒狀載管焊接，然而，利用該方法綁定的靶材在使用的過程中不能承受高溫，且由于焊料太貴而導致綁定成本過高。

公開號為CN103264231A的中國專利公開了一種適于高溫濺射靶材的焊接方法，通過在靶材和背板的焊接面以及銅網的兩面涂布含有重量百分比為60-70％的銀粉或重量百分比為70-80％的活性炭顆粒的環氧樹脂膠，依次疊放各層后于常溫常壓下固化而完成靶材的綁定。該專利解決了靶材濺鍍過程中不能承受高溫這一技術問題，利用該專利所述方法制作的靶材可承受200-250℃的高溫，從而使得靶材濺射功率可提高三分之一左右，且可明顯提高濺射速率，較不易脫靶，實現了高效連續濺鍍，顯著提高了生產效率。然而，該專利并未限定銅網的孔隙度，若銅網的孔隙度過大，在綁定的過程中容易在焊接層中形成大氣泡，這些過大氣泡的存在會使得靶材在使用過程中產生熱聚集，從而導致脫靶的隱患；若銅網的孔隙度過小，則一方面容易導致環氧樹脂膠無法通過或流動性差，從而導致粘結層的粘結力差，靶材綁定的牢固度不夠，容易導致脫靶，另一方面會使得銅網的可撓性變差，即銅網太硬而不易彎曲，從而易在銅網上形成不易撫平的壓痕，該壓痕為氣泡提供了藏身之所，進而影響靶材綁定的可靠性。

公開號為WO2006/129941A1的國際專利申請公開了一種濺射靶材的焊接綁定方法，采用織物掃過固化前熔融狀態的焊接層的方式排出存在于粘結層中的氣泡，從而實現可靠的綁定。然而，該方法在實施的過程中，由于織物在掠過焊料的時候會因為焊料粘附在織物上而造成焊料的浪費，且被焊料粘附的織物也會因為空隙被堵而不能再次使用或需要經過二次處理才能再次使用，從而造成靶材綁定的成本過高。

因此，為了解決靶材綁定的可靠性問題以及降低靶材綁定成本的問題，急需發明一種新的靶材綁定方法。

發明內容

本發明的目的是提供一種能有效提高靶材綁定率以增加綁定可靠性的靶材綁定方法。

為實現上述目的，本發明采用以下技術方案：

一種靶材綁定方法，包括以下步驟：

(1)清潔靶材和背板的焊接面；

(2)在有機粘合劑中加入重量百分比為50-80％的非磁性金屬粉制成導電膠；

(3)將所述導電膠均勻涂布在所述靶材和背板的焊接面以及非磁性金屬網的兩面，其中，所述非磁性金屬網的篩孔尺寸為20-120目；

(4)將所述非磁性金屬網和靶材依次疊放在所述背板的焊接面上并定位，所述非磁性金屬網位于靶材和背板的焊接面之間；

(5)在所述靶材上放置壓塊，靜置固化，得到位于所述靶材和所述背板之間的焊接層；

(6)清除靶材邊緣多余的導電膠。

本發明通過將所述非磁性金屬網的篩孔尺寸限定為20-120目，從而實現對所述焊接層中的氣泡大小進行限制的目的。

選擇性地，在所述步驟(1)中，采用無水乙醇或異丙醇清潔焊接面。

選擇性地，所述非磁性金屬粉包括單一成分的純金屬粉，也包括由兩種或多種金屬組合而成的金屬粉，可以選自銀粉、銅粉、鋁粉、錫粉、鋅粉、鍍銀銅粉中的一種或幾種。

選擇性地，所述非磁性金屬粉的粒徑為1-120μm。

選擇性地，所述非磁性金屬網的網線直徑為0.09-0.45mm，從而進一步限定了所述非磁性金屬網的孔隙大小不大于2mm²。

選擇性地，所述焊接層的厚度為0.1-0.5mm，從而在保證粘結力的同時又不會造成焊料的浪費，以及不會因為焊接層太厚而影響靶材裝機時的公差。

選擇性地，根據有機粘合劑的特性，所述固化可以在常溫常壓下進行。