[發明專利]一種靶材綁定方法有效
| 申請號: | 201410099257.7 | 申請日: | 2014-03-18 |
| 公開(公告)號: | CN104928633B | 公開(公告)日: | 2018-01-09 |
| 發明(設計)人: | 林俊榮;梁敏敏;祝令建;王玉曉 | 申請(專利權)人: | 漢能聯創移動能源投資有限公司 |
| 主分類號: | C23C14/34 | 分類號: | C23C14/34;B23K31/02 |
| 代理公司: | 北京維澳專利代理有限公司11252 | 代理人: | 周放,張春雨 |
| 地址: | 100101 北京市朝陽區北辰西*** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 綁定 方法 | ||
1.一種靶材綁定方法,其特征在于,包括以下步驟:
(1)清潔靶材和背板的焊接面;
(2)在有機粘合劑中加入重量百分比為50-80%的非磁性金屬粉制成導電膠;所述非磁性金屬粉的粒徑為1-120μm;
(3)將所述導電膠均勻涂布在所述靶材和背板的焊接面以及非磁性金屬網的兩面,其中,所述非磁性金屬網的篩孔尺寸為20-120目;
(4)將所述非磁性金屬網和靶材依次疊放在所述背板的焊接面上并定位,所述非磁性金屬網位于靶材和背板的焊接面之間;
(5)在所述靶材上放置壓塊,靜置固化,得到位于所述靶材和所述背板之間的焊接層;
(6)清除靶材邊緣多余的導電膠。
2.根據權利要求1所述的靶材綁定方法,其特征在于:在所述步驟(1)中,采用無水乙醇或異丙醇清潔焊接面。
3.根據權利要求1所述的靶材綁定方法,其特征在于:所述非磁性金屬粉選自銀粉、銅粉、鋁粉、錫粉、鋅粉、鍍銀銅粉中的一種或幾種。
4.根據權利要求1所述的靶材綁定方法,其特征在于:所述非磁性金屬網的網線直徑為0.09-0.45mm。
5.根據權利要求1所述的靶材綁定方法,其特征在于:所述焊接層的厚度為0.1-0.5mm。
6.根據權利要求1所述的靶材綁定方法,其特征在于:所述非磁性金屬網是銅網、鋁網、錫網或鋅網。
7.根據權利要求1所述的靶材綁定方法,其特征在于:所述固化在常溫常壓下進行。
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