[發明專利]干燥裝置及干燥處理方法

有效

• 申請號: 201410097639.6
• 申請日: 2014-03-14
• 公開（公告）號: CN104051674B
• 公開（公告）日: 2018-08-07
• 發明（設計）人: 島村明典;林輝幸;今田雄;佐田徹也;西山淳;齋藤廣美;大田司;田邊誠一
• 申請（專利權）人: 東京毅力科創株式會社
• 主分類號: H01L51/56
• 分類號: H01L51/56
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;張會華

本發明提供一種更夠高效地且在短時間除去被涂敷在基板上的有機材料膜中的溶劑、并且容易對用于收集溶劑的構件進行更新的干燥裝置和干燥處理方法。干燥裝置（100）包括能夠抽成真空的處理容器（1）、用于在處理容器（1）內支承基板（S）的作為支承構件的載置臺（3）、與支承在載置臺（3）上的基板（S）相對地設置且用于收集自有機材料膜揮發的溶劑的溶劑收集部（5）、以及控制部（6）。溶劑收集部（5）還包括用于使收集的溶劑脫離的作為溶劑脫離裝置的溫度調節裝置（7）。溶劑收集部（5）包括與載置在載置臺（3）上的基板（S）相對且與該基板（S）的表面大致平行地配置的1張或者多張金屬板的收集板（50）。在收集板（50）中形成有多個貫通開口（50a）。

技術領域

本發明例如涉及在有機EL元件的制造過程中能夠用來使有機材料膜干燥的干燥裝置及干燥處理方法。

背景技術

有機EL（Electro Luminescence）元件是通過通入電流而利用產生的有機化合物發光的發光元件，成為在一對電極之間夾有多個有機功能膜的層疊體（以下將該層疊體統稱作“EL層”）的構造。在此，EL層例如具有從陽極側起按照［正穴輸送層／發光層／電子輸送層］、［正穴注入層／正穴輸送層／發光層／電子輸送層］、或者［正穴注入層／正穴輸送層／發光層／電子輸送層／電子注入層］等的順序層疊而成的構造。

通過針對各層分別在基板上蒸鍍或者涂敷有機材料而形成EL層。在形成高精度的微細圖案的情況下，作為涂敷方法，一般認為利用噴墨印刷法是有利的。

由于在利用噴墨印刷法印刷在基板上的有機材料膜中含有大量的溶劑，因此，為了除去該溶劑而進行減壓干燥（例如專利文獻1、專利文獻2）。進而在缺氧氣氛中對干燥后的有機材料膜進行烘焙處理。利用該烘焙處理使有機材料膜變化為構成EL層的有機功能膜（例如專利文獻3）。

作為除去利用噴墨印刷法涂敷的有機材料膜中的溶劑的干燥裝置，提出了這樣的干燥裝置：包括在收納有基板的腔室內與基板相對地設置且用于吸附溶劑的無機多孔質的吸附構件（例如專利文獻4）。在該專利文獻4中記載有這樣的內容：為了校正基板上的蒸汽濃度的差異，將吸附構件的中央部的開口率設定得大于其外周部的開口率。此外，在專利文獻4中也記載有這樣的內容：在減壓條件下對基板進行干燥處理；通過將吸附構件移送到另一個腔室進行加熱而使其再生。

在干燥處理時，溶劑、水分等自基板上的有機材料膜大量地揮發。因此，若不自干燥裝置的處理容器內迅速地除去這些揮發成分，則干燥效率降低。干燥后的有機材料膜的狀態會對EL層的特性產生影響是眾所周知的。例如在干燥處理時，若在基板的面內產生有機材料膜中的溶劑濃度不均勻，則基板面內的有機EL元件的特性產生偏差。例如，若干燥狀態在基板的面內不均勻，在用作有機EL顯示器時，會成為引起顯示不均勻等不良的原因。

若使干燥裝置的腔室內減壓，則隨著壓力的降低而排氣量減少，因此，在高真空狀態下排氣量變少。此外，在高真空狀態下，自有機材料膜中揮發的溶劑在處理容器內形成分子流，因此，產生溶劑滯留在腔室內這樣的問題。為了解決該問題，像上述專利文獻4所公開的那樣，吸附收集在腔室內氣化的溶劑的方法是有效的。

但是，專利文獻4所公開的干燥裝置使用多孔質的吸附構件，由于收集溶劑時的收集效率主要依賴于多孔質的吸附構件的表面積，因此，為了謀求提高收集效率，需要使細孔微細化。但是，存在細孔的微細化存在極限、收集效率受到制約這樣的問題。此外，在重復利用收集溶劑所使用的吸附構件時，需要進行除去吸附的溶劑的再生處理（更新），但細孔越微細，溶劑越難以除去，更新花費時間。此外，由于專利文獻4的干燥裝置將吸附構件移送到再生處理專用的腔室使其加熱再生，因此再生處理用的步驟、設備復雜，在實用性這一點上存在問題。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本專利第3951162號公報（段落0023等）

專利文獻2：日本專利第4168968號公報（權利要求2等）