[發明專利]干燥裝置及干燥處理方法

有效

• 申請號: 201410097639.6
• 申請日: 2014-03-14
• 公開（公告）號: CN104051674B
• 公開（公告）日: 2018-08-07
• 發明（設計）人: 島村明典;林輝幸;今田雄;佐田徹也;西山淳;齋藤廣美;大田司;田邊誠一
• 申請（專利權）人: 東京毅力科創株式會社
• 主分類號: H01L51/56
• 分類號: H01L51/56
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;張會華

1.一種干燥裝置，其除去被涂敷在基板的表面上的有機材料膜中的溶劑而使有機材料膜干燥，其特征在于，

該干燥裝置包括能夠抽成真空的處理容器、用于排出上述處理容器內的氣體的排氣口、用于在上述處理容器內支承上述基板的支承構件、以及用于收集自上述有機材料膜揮發的溶劑的溶劑收集部，

其中，上述溶劑收集部包括與支承在上述支承構件上的上述基板相對地設置的、具有多個貫通開口的一張或者多張金屬板，

上述金屬板配置在從上述處理容器的頂部分開的位置，

上述溶劑收集部具有用于使收集的溶劑脫離的溶劑脫離裝置，

上述溶劑脫離裝置是用于向上述金屬板噴射氣體的氣體噴射裝置。

2.根據權利要求1所述的干燥裝置，其特征在于，

在上述金屬板的上方的處理容器頂部側設置有排氣口。

3.根據權利要求1所述的干燥裝置，其中，

在上述溶劑收集部中，上述多張金屬板以互相分開的狀態與支承在上述支承構件上的上述基板平行地層疊配置。

4.根據權利要求3所述的干燥裝置，其中，

上述多張金屬板中的至少兩張上述金屬板以上述貫通開口整體在層疊方向上不重合的方式錯位地配置。

5.根據權利要求1～4中任一項所述的干燥裝置，其中，

上述金屬板的上述貫通開口的開口率在20％～80％的范圍內。

6.根據權利要求1～4中任一項所述的干燥裝置，其中，

上述金屬板的表面的算術平均粗糙度Ra在0.3μm～13μm的范圍內。

7.根據權利要求1～4中任一項所述的干燥裝置，其中，

上述金屬板的厚度在0.2mm～2mm的范圍內。

8.根據權利要求1～4中任一項所述的干燥裝置，其中，

在上述金屬板中，上述貫通開口以不均勻的分布方式形成。

9.根據權利要求1所述的干燥裝置，其中，

上述溶劑脫離裝置是用于加熱上述金屬板的加熱裝置。

10.根據權利要求1～4、9中任一項所述的干燥裝置，其中，

上述溶劑收集部還具有用于促進溶劑的收集的收集促進裝置。

11.根據權利要求10所述的干燥裝置，其中，

上述收集促進裝置是用于對上述金屬板進行冷卻的冷卻裝置。

12.根據權利要求1～4、9、11中任一項所述的干燥裝置，其中，

該干燥裝置在上述溶劑收集部和上述排氣口之間還包括整流構件。

13.根據權利要求1所述的干燥裝置，其中，

上述溶劑收集部具有溶劑收集構件，該溶劑收集構件在其內部具有供熱介質流通的流路。

14.根據權利要求13所述的干燥裝置，其中，

在上述流路上連接有加熱用熱介質供給源。

15.根據權利要求13所述的干燥裝置，其中，

在上述流路上連接有冷卻用熱介質供給源。

16.根據權利要求13所述的干燥裝置，其中，

上述流路被劃分為分別獨立地供熱介質流通的多個部分。

17.根據權利要求16所述的干燥裝置，其中，

上述流路具有連接有加熱用熱介質供給源的第1流路和連接有冷卻用熱介質供給源的第2流路。