[發明專利]編程列串擾在線檢測方法有效
| 申請號： | 201410097546.3 | 申請日： | 2014-03-17 |
| 公開（公告）號： | CN103839850A | 公開（公告）日： | 2014-06-04 |
| 發明（設計）人： | 張琳;李志國;黃飛;程凱 | 申請（專利權）人： | 上海華虹宏力半導體制造有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/66 | 分類號： | H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 鄭瑋 |
| 地址： | 201203 上海市浦東*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 編程 列串擾 在線 檢測 方法 | ||
1.一種編程列串擾在線檢測方法，包括：
提供一晶圓，所述晶圓上具有自對準分柵閃存單元；
在線檢測所述自對準分柵閃存單元的特定參數；
將所述特定參數與一標準范圍進行比較，根據比較結果判斷所述自對準分柵閃存單元是否有編程列串擾問題。
2.如權利要求1所述的編程列串擾在線檢測方法，其特征在于，所述特定參數為所述自對準分柵閃存單元的字線厚度。
3.如權利要求2所述的編程列串擾在線檢測方法，其特征在于，所述將所述特定參數與一標準范圍進行比較，根據比較結果判斷所述自對準分柵閃存單元是否有編程列串擾問題的步驟包括：
將所述字線厚度與一標準厚度范圍進行比較；
如果所述字線厚度在所述標準厚度范圍之內，則所述自對準分柵閃存單元不會在最終的產品良率測試中產生編程列串擾問題；
如果所述字線厚度不在所述標準厚度范圍之內，則所述自對準分柵閃存單元會在最終的產品良率測試中產生編程列串擾問題。
4.如權利要求3所述的編程列串擾在線檢測方法，其特征在于，所述標準厚度范圍為[a，b]，其中，
5.如權利要求1所述的編程列串擾在線檢測方法，其特征在于，所述特定參數為所述自對準分柵閃存單元的柵極側墻寬度。
6.如權利要求5所述的編程列串擾在線檢測方法，其特征在于，所述將所述特定參數與一標準范圍進行比較，根據比較結果判斷所述自對準分柵閃存單元是否有編程列串擾問題的步驟包括：
將所述柵極側墻寬度與一第一標準寬度范圍進行比較；
如果所述柵極側墻寬度在所述第一標準寬度范圍之內，則所述自對準分柵閃存單元不會在最終的產品良率測試中產生編程列串擾問題；
如果所述柵極側墻寬度不在所述第一標準寬度范圍之內，則所述自對準分柵閃存單元會在最終的產品良率測試中產生編程列串擾問題。
7.如權利要求5所述的編程列串擾在線檢測方法，其特征在于，所述第一標準寬度范圍為[c，d]，其中，
8.如權利要求1所述的編程列串擾在線檢測方法，其特征在于，所述特定參數為所述自對準分柵閃存單元的柵極寬度。
9.如權利要求8所述的編程列串擾在線檢測方法，其特征在于，所述將所述特定參數與一標準范圍進行比較，根據比較結果判斷所述自對準分柵閃存單元是否有編程列串擾問題的步驟包括：
將所述柵極寬度與一第二標準寬度范圍進行比較；
如果所述柵極寬度在所述第二標準寬度范圍之內，則所述自對準分柵閃存單元不會在最終的產品良率測試中產生編程列串擾問題；
如果所述柵極寬度不在所述第二標準寬度范圍之內，則所述自對準分柵閃存單元會在最終的產品良率測試中產生編程列串擾問題。
10.如權利要求8所述的編程列串擾在線檢測方法，其特征在于，所述第二標準寬度范圍為[e，f]，其中，
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H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
