[發明專利]用于識別電子電路中的缺陷的裝置及方法

在審

• 申請號: 201410095444.8
• 申請日: 2014-03-14
• 公開（公告）號: CN104050907A
• 公開（公告）日: 2014-09-17
• 發明（設計）人: V·米那耶夫;R·A·馬丁;T·E·威沙德;M·S·卡薩迪;李鐘浩;T·H·貝利;S·克里希納斯瓦米
• 申請（專利權）人: 烽騰科技有限公司
• 主分類號: G09G3/00
• 分類號: G09G3/00;G01R31/28
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 駱希聰

技術領域

本發明大體而言涉及對電子器件的電性檢測領域，且具體而言，涉及對剛性及撓性液晶（Liquid?Crystal；LC）顯示器和有機發光二極管（Organic?Light?Emitting?Diode；OLED）顯示器的檢測以及用于檢測和缺陷探測的系統。

背景技術

液晶顯示器（Liquid?Crystal?Display；LCD）面板包含具有電場相依光調制特性（electric-field?dependent?light?modulating?property）的液晶。液晶顯示器面板最常用于在從傳真機、手機、平板計算機及膝上型計算機屏幕到大屏幕高清晰度電視在內的各種器件中顯示圖像及其他信息。有源矩陣LCD面板是由幾個功能層組成的復雜分層結構：一個或多個偏光膜層；TFT玻璃基板，包含有薄膜晶體管、存儲電容器、像素電極及互連件，所述互連件配接彩色濾光片玻璃基板與透明共用電極，所述彩色濾光片玻璃基板包含有黑色矩陣及彩色濾光片陣列；取向膜，由聚酰亞胺制成；以及實際液晶材料，包含有塑料/玻璃間隔件以保持適當的LCD單元厚度。

LCD面板是在潔凈室環境中在高度受控狀態下制造以使良率最大化。盡管如此，某些LCD可能因組裝產品中的制造瑕疵而不得不被丟棄。

為提高LCD面板生產良率，在LCD面板的整個制造過程期間實施多個檢測與修復步驟。在這些步驟當中，最關鍵的檢測步驟之一是陣列測試（在TFT陣列制作過程結束時執行的電性檢測步驟）。

LCD制造商當前可在市場上獲得幾種常規陣列測試技術，其中最流行的當數如例如以引用方式全文并入本文中的美國專利4,983,911中所述使用電光換能器（調制器）的電性LCD檢測。一個此種類型的實例性LCD檢測器件是可自位于美國加利福尼亞州圣何塞市的光子動力（Photon?Dynamics）公司（一家奧寶公司）購得的陣列檢查器（Array?Checker）。具體而言，上述陣列檢查器檢測系統采用一種叫做“電壓成像”的方法，所述方法利用基于反射型液晶的調制器來測量個別TFT陣列像素上的電壓。在通過陣列檢查器來對TFT陣列進行檢測時，通過測試圖案（test?pattern）產生器子系統來對受測試TFT面板施加驅動電壓圖案（voltage?pattern），并通過使上述電光調制器的位置緊密靠近受測試TFT陣列（通常相距大約50微米）并使其經受高壓方波電壓圖案來測量所得面板像素電壓。例如，被施加至調制器的電壓方波圖案的振幅可為300V、頻率60Hz。由于電光調制器靠近被施加有驅動電壓的受測試TFT陣列的像素，在檢測系統的電光調制器兩端會形成電位，所述電位迫使調制器中的液晶改變其電場相依空間取向，從而局部地改變其透過調制器的光透射率。換句話說，調制器的光透射率可表示與其靠近的陣列像素上的電壓。為捕獲發生改變的調制器透射率，使用光脈沖來照射調制器并使由承受面板電壓的調制器反射的光成像至電壓成像光學子系統（voltage?imaging?optical?subsystem；VIOS）照相機上，所述照相機獲取所得圖像并使其數字化。上述光脈沖的持續時間可為例如1毫秒。一種用于將原始電壓圖像轉換成LCD像素圖（map）并使用所述圖來探測缺陷的實例性系統及方法闡述于以引用方式全文并入本文中的第7,212,024號美國專利中。

然而，由于根據常規檢測技術，在檢測期間被施加至受測試TFT面板的驅動電壓不被連續監測或控制，因而任何測試圖案產生器子系統漂移或系統或面板狀態的變化均可導致各順次的TFT面板在不同狀態下受到檢測或在檢測過程期間不知不覺地被損壞。在沒有實時監測的情況下，缺陷探測精度及可重復性的變化將無人知曉，直到面板到達制造工廠中的組立工藝（cell?process）為止。到問題在組立工藝中被發現的時候，成千上萬的面板可能已被損壞或在次于最佳狀態下被檢測，從而給制造商帶來經濟損失。

發明內容

本發明涉及用于實質上消除一個或多個與用于檢測電子電路的常規技術相關聯的上述及其他問題的方法及系統。

根據本文所述實施例的一個方面，提供一種用于識別電子電路中的缺陷的裝置，所述裝置包含：電路驅動模塊，用以對所述電子電路施加電性測試信號；缺陷探測模塊，用以至少根據所施加的所述電性測試信號來識別所述電子電路中的所述缺陷；信號監測模塊，用以在所述電子電路處測量所述電性測試信號；以及控制模塊，可操作地耦合至所述信號監測模塊及所述電路驅動模塊，并用以根據在所述電子電路處測量的所述電性測試信號來控制至少所述電路驅動模塊。