[發明專利]一種配套掩模板及其蒸鍍方法

在審

• 申請號: 201410091023.8
• 申請日: 2014-03-13
• 公開（公告）號: CN103898441A
• 公開（公告）日: 2014-07-02
• 發明（設計）人: 魏志凌;高小平;潘世珎;莫松亭;許鐳芳
• 申請（專利權）人: 昆山允升吉光電科技有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24;H01L51/56
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技術領域

?本發明涉及一種配套掩模板及其蒸鍍方法，具體涉及一種用于OLED顯示屏蒸鍍用的配套掩模板及其蒸鍍方法。

背景技術

有機發光二極管(Organic?Light-Emitting?Diode；OLED)顯示器具有自主發光、低電壓直流驅動、全固化、視角寬、顏色豐富等一系列的優點，與液晶顯示器相比，OLED顯示器不需要背光源，視角大，功率低，其響應速度可達到液晶顯示器的1000倍，其制造成本卻低于同等分辨率的液晶顯示器。因此，OLED顯示器具有廣闊的應用前景，逐漸成為未來20年成長最快的新型顯示技術。

其中，OLED?屏體的發光層一般都是通過有機材料利用蒸鍍成膜技術透過金屬掩膜板在沉積基板上相應的像素位置形成有機發光元器件。OLED屏彩色化效果較好的像素排列方式是在每個像素單元有紅、綠、藍三個子像素，每個子像素具有獨立的有機發光元器件。由于紅、綠、藍三種子像素的有機發光材料不同，在制作過程中，需要通過金屬掩模板在相應的位置上分別對紅、綠、藍三基色發光子像素蒸鍍三種不同的有機材料，然后調節三種顏色組合的混色比，產生真彩色。如此，紅、綠、藍三色OLED元件獨立發光構成一個像素單元。

圖1所示為傳統掩模板組件整體平面結構示意圖，掩模板通過激光焊接固定于外框14，12為激光焊接形成的焊點，掩模板10上包括多個掩模單元11，圖2所示為圖1中13部分放大結構示意圖，20為貫穿掩模板上10的蒸鍍孔，蒸鍍孔20沿行方向和列方向以矩形陣列方式排布在掩模板10上，通過圖1～圖2中所示的掩模板蒸鍍后OLED顯示屏的像素結構如圖3所示，由于三種子像素的結構相同，所以在蒸鍍過程中可以用同一種結構的掩模板進行蒸鍍，三種有機材料可以用一塊掩模板蒸鍍，每次蒸鍍步驟之后需要清洗，也可以用三塊掩模板蒸鍍。

通過掩模板蒸鍍后的OLED顯示屏的壽命與像素的關聯度很大，即像素的壽命在很大程度上決定了OLED顯示屏的壽命，目前行業內用于制作像素的瓶頸在于藍色子像素，其原因在于藍色子像素在同等的電流下的發光效率明顯低于綠色和紅色子像素（差距非常大），為了使得OLED顯示屏可以正常的顯示白色，只能提高藍色子像素的電流，這樣做雖然平衡了綠色和紅色，但是因為電流提高了，藍色子像素的壽命大大縮短，從而影響OLED顯示屏的壽命。

另外，作為評價OLED顯示屏質量的另一個重要參數——分辨率，其與像素的排布結構有直接聯系，制作高ppi(pixel?per?inch)的OLED顯示屏是業界一直追求的一個重要目標。

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本發明主要是針對以上問題提出一種掩模板及其蒸鍍方法，以較好的解決以上所述問題。

發明內容

有鑒于此，本發明的主要目的在于提供一種配套掩模板及其蒸鍍方法，通過本發明所提供的配套掩模板蒸鍍的有機發光材料可增大增加OLED每個像素單元中藍色子像素的面積、提高顯示器的ppi，從而相應的使得藍色子像素的壽命增加、OLED顯示屏的顯示質量提高。??

本發明提供一種配套掩模板，包括兩種結構的掩模板，所述掩模板上設有由蒸鍍孔陣列而成的掩模圖案區域，所述蒸鍍孔貫穿所述掩模板，所述蒸鍍孔形狀為多邊形，所述兩種結構的掩模板包括第一掩模板和第二掩模板，所述第一掩模板上所述蒸鍍孔數量為所述第二掩模板上所述蒸鍍孔數量的兩倍,其中，

所述第一掩模板上的所述蒸鍍孔沿行方向和列方向以矩形陣列方式排布；

所述第二掩模板上的所述蒸鍍孔沿行方向和列方向依次排布，且相鄰兩行的所述蒸鍍孔沿行方向呈錯位排列，相鄰兩列的所述蒸鍍孔沿豎直方向呈錯位排列。

下面詳細描述本發明所提供的配套掩模板。

進一步地，所述蒸鍍孔的形狀為四邊形或六邊形或八邊形。

進一步地，所述兩種結構的所述掩模板上所述蒸鍍孔的形狀為八邊形，所述八邊形具有四組平行的對邊，所述八邊形的四組對邊的邊長尺寸分別為a1、?a2、?a3、?a4，其尺寸范圍及相互關系為：10μm≤a1≤35μm;?10μm≤a2≤35μm;?5μm≤a3≤25μm;?a3=a4;所述尺寸為a1的邊所在直線垂直于尺寸為a2的邊所在直線。

進一步地，所述邊長為a1的一組對邊的距離為b1,所述b1的尺寸范圍為30μm≤b1≤60μm;?所述邊長為a2的一組對邊的距離為b2,所述b2的尺寸范圍為30μm≤b2≤60μm。