[發明專利]一種配套掩模板及其蒸鍍方法

在審

• 申請號: 201410091023.8
• 申請日: 2014-03-13
• 公開（公告）號: CN103898441A
• 公開（公告）日: 2014-07-02
• 發明（設計）人: 魏志凌;高小平;潘世珎;莫松亭;許鐳芳
• 申請（專利權）人: 昆山允升吉光電科技有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24;H01L51/56
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1.一種配套掩模板，包括兩種結構的掩模板，所述掩模板上設有由蒸鍍孔陣列而成的掩模圖案區域，所述蒸鍍孔貫穿所述掩模板，其特征在于：所述蒸鍍孔形狀為多邊形，所述兩種結構的掩模板包括第一掩模板和第二掩模板，所述第一掩模板上所述蒸鍍孔數量為所述第二掩模板上所述蒸鍍孔數量的兩倍，其中，

所述第一掩模板上的所述蒸鍍孔沿行方向和列方向以矩形陣列方式排布；

所述第二掩模板上的所述蒸鍍孔沿行方向和列方向依次排布，且相鄰兩行的所述蒸鍍孔沿行方向呈錯位排列，相鄰兩列的所述蒸鍍孔沿豎直方向呈錯位排列。

2.根據權利要求1所述的配套掩模板，其特征在于，所述蒸鍍孔的形狀為四邊形或六邊形或八邊形。

3.根據權利要求2所述的配套掩模板，其特征在于，所述兩種結構的所述掩模板上所述蒸鍍孔的形狀為八邊形，所述八邊形具有四組平行的對邊，所述八邊形的四組對邊的邊長尺寸分別為a1、?a2、?a3、?a4，其尺寸范圍及相互關系為：10μm≤a1≤35μm;?10μm≤a2≤35μm;?5μm≤a3≤25μm;?a3=a4;所述尺寸為a1的邊所在直線垂直于尺寸為a2的邊所在直線。

4.根據權利要求3所述的配套掩模板，其特征在于，所述邊長為a1的一組對邊的距離為b1,所述b1的尺寸范圍為30μm≤b1≤60μm;?所述邊長為a2的一組對邊的距離為b2,所述b2的尺寸范圍為30μm≤b2≤60μm。

5.根據權利要求3所述的配套掩模板，其特征在于，所述第一掩模板中相鄰兩行所述蒸鍍孔之間的距離為L2?，所述a2與所述L2的關系為：a2≤L2；所述第一掩模板中相鄰兩列所述蒸鍍孔之間的距離為L1，所述a1與所述L1的關系為：a1≤L1。

6.根據權利要求5所述的配套掩模板，其特征在于，所述第二掩模板上相鄰兩奇數行或相鄰兩偶數行的所述蒸鍍孔的行間距為L4，所述L2、所述b1、所述L4三者的關系為：L4=2L2+2b1；所述第二掩模板的相鄰兩奇數列或相鄰兩偶數列的所述蒸鍍孔的行間距為L3，所述L1、所述b2、所述L3三者的關系為：L3=2L1+2b2。

7.根據權利要求2或3所述的配套掩模板，其特征在于，所述第一掩模板上彼此相鄰的四個所述蒸鍍孔圍成一個虛擬蒸鍍孔，所述虛擬蒸鍍孔的面積大于或等于一個所述蒸鍍孔的面積，所述虛擬蒸鍍孔的形狀與所述蒸鍍孔的形狀相同。

8.根據權利要求2或3所述的配套掩模板，其特征在于，所述掩模板為一體成型結構或由分立的掩模單元組合而成，所述掩模板固定于外框上。

9.一種蒸鍍方法，包括使用權利要求1～8任意一項權利要求所述的配套掩模板通過真空蒸鍍步驟制作OLED顯示屏的有機發光層，其特征在于：OLED顯示屏的藍色子像素通過所述第一掩模板蒸鍍形成，OLED顯示屏的紅色子像素和綠色子像素通過所述第二掩模板蒸鍍形成。

10.根據權利要求9所述的蒸鍍方法，其特征在于，所述蒸鍍步驟包括所述紅色子像素蒸鍍步驟、所述綠色子像素蒸鍍步驟、所述藍色子像素蒸鍍步驟，在每次所述子像素蒸鍍步驟之前還包括對位步驟，所述對位步驟為將所述掩模板與沉積基板對位，使所述掩模板上的所述蒸鍍孔與所述沉積基板的相應子像素區域相對應。