[發明專利]光學濾波器裝置、光學模塊以及電子設備有效
| 申請號: | 201410090778.6 | 申請日: | 2014-03-12 |
| 公開(公告)號: | CN104049293B | 公開(公告)日: | 2018-08-24 |
| 發明(設計)人: | 松下友紀 | 申請(專利權)人: | 精工愛普生株式會社 |
| 主分類號: | G02B5/28 | 分類號: | G02B5/28;G02B26/00;G01J3/46;G01N21/65;G01N21/359 |
| 代理公司: | 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240 | 代理人: | 余剛;吳孟秋 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 光學 濾波器 裝置 模塊 以及 電子設備 | ||
本發明提供一種光學濾波器裝置、光學模塊以及電子設備。該光學濾波器裝置具備:殼體,具有能使光射入內側的光通過孔;光圈,設置于殼體的外側,用于限制向光通過孔射入的光;以及干涉濾波器,設置于殼體的內側,具備固定反射膜以及與固定反射膜相對的可動反射膜,其中,在從膜厚方向觀察固定反射膜以及可動反射膜的俯視觀察中,光圈的開口、光通過孔和固定反射膜以及可動反射膜被設置為重疊,在將靠近光通過孔的固定反射膜的直徑設為Φm、將光通過孔的口徑設為Φp、將光圈的開口直徑設為Φa時,滿足Φa<Φm<Φp的關系。
技術領域
本發明涉及光學濾波器裝置、光學模塊以及電子設備。
背景技術
在現有技術中,已知有在一對基板的彼此相對的面上隔著規定間隙分別相對配置有反射膜的干涉濾波器。此外,還已知有將這樣的干涉濾波器收納于殼體內的光學濾波器裝置(例如,參照專利文獻1)。
該專利文獻1記載的光學濾波器裝置具備具有板狀的基底、以及圓筒狀的蓋部的封裝(殼體)。該殼體中,基底的周緣部分和蓋部的圓筒一端部以焊接或粘著的方式連接,在基底部和蓋部之間設置有用于收納干涉濾波器的空間。此外,蓋部的與基底部相對的上表面上設置有孔,在該孔中設置有用于使光通過的窗部。
在先技術文獻
專利文獻
專利文獻1:日本專利特開2008-70163號公報
在這樣的光學濾波器裝置中,在反射膜上反射射入的光的一部分。在具有入射角度的情況下,在反射膜的表面反射的光在干涉濾波器或封裝的內部反復反射而成為雜散光,會在未被分光的狀態下從光學濾波器裝置射出。
發明內容
本發明的目的在于提供可以抑制雜散光的產生的光學濾波器裝置、光學模塊以及電子設備。
本發明的光學濾波器裝置其特征在于,具備:殼體,具有能使光射入內側的入射光通過孔;光圈,設置于所述殼體的外側,用于限制向所述入射光通過孔射入的光;以及干涉濾波器,設置于所述殼體的內側,具備第一反射膜以及與所述第一反射膜相對的第二反射膜,其中,在從膜厚方向觀察所述第一反射膜以及所述第二反射膜的俯視觀察中,所述光圈的開口、所述入射光通過孔、和所述第一反射膜以及所述第二反射膜被設置為重疊,在將靠近所述入射光通過孔的所述第一反射膜的直徑設為Φm、將所述入射光通過孔的口徑設為Φp、將所述光圈的開口直徑設為Φa時,所述光學濾波器裝置滿足Φa<Φm<Φp的關系。
通過入射光通過孔射入至第一反射膜的入射光在第一反射膜的表面反射。這里,在Φp<Φm的情況下,反射后的光的一部分通過入射光通過孔射出到光學濾波器裝置的外部,但是,剩余的大部分則碰到位于入射光通過孔的周圍的殼體的內壁而再次反射,成為雜散光的可能性高。
針對于此,根據本發明,滿足Φa<Φm<Φp的關系,因此,在第一反射膜上反射的光的大部分通過入射光通過孔,射出到光學濾波器裝置的外部、或者碰到在所述俯視觀察中位于入射光通過孔內的光圈的表面而被吸收。由此,可以抑制雜散光的產生。此外,無需設置用于高精度地控制射入第一反射膜的光的入射角度的透鏡、或對殼體的內壁實施防反射處理,可以降低成本。
在本發明的光學濾波器裝置中,優選所述光圈的開口、所述入射光通過孔、所述第一反射膜、以及所述第二反射膜的在所述俯視觀察中的各中心點位于同一軸上。
根據本發明,在第一反射膜上反射的光的大部分更加可靠地通過入射光通過孔,射出到光學濾波器裝置的外部、或者碰到在所述俯視觀察中位于入射光通過孔內的光圈的表面而被吸收。
在本發明的光學濾波器裝置中,優選在將從所述入射光通過孔射入所述第一反射膜的光的入射角度設為θ、將從所述第一反射膜至所述光圈的距離設為d時,所述光學濾波器裝置滿足(Φp-Φm)>2dtanθ的關系。
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