[發明專利]利用靜電懸浮的基板移送裝置及基板移送方法

有效

• 申請號: 201410086383.9
• 申請日: 2014-03-10
• 公開（公告）號: CN104058256B
• 公開（公告）日: 2017-03-01
• 發明（設計）人: 鄭光鎬
• 申請（專利權）人: 株式會社延原表
• 主分類號: B65G54/02
• 分類號: B65G54/02;H01L21/677
• 代理公司: 北京銘碩知識產權代理有限公司11286
• 代理人: 孫昌浩,李盛泉

1.一種利用靜電懸浮的基板移送裝置，作為移送基板的裝置，其特征在于，包括：

固定軌道，其形成一個以上的導電體；

基板，其形成一個以上的導電體；以及

電壓接入設備，其在軌道側導電體與基板側導電體之間生成電位差；

并且，為了借助于所述接入的電壓，使軌道側導電體和基板側導電體帶有電荷，利用作用于帶電的電荷之間的靜電力，使基板懸浮于空中，具備：

間隔保持設備，其與軌道保持間隔，使得不接觸軌道；

驅動設備，其使基板沿著所述軌道移送；

以基板與軌道保持間隔的懸浮狀態移送基板。

2.根據權利要求1所述的利用靜電懸浮的基板移送裝置，其特征在于，

軌道側導電體由一個以上的虛線形導電體形成，基板側導電體由一個以上的實線形導電體形成，

向構成所述虛線形導電體的相互相鄰但電氣隔離的各個點狀導電體交替接入(+)極與(-)極電壓，

所述軌道側虛線形導電體中帶電的電荷在基板側導電體中誘導互補性電荷。

3.根據權利要求1或2所述的利用靜電懸浮的基板移送裝置，其特征在于，

所述間隔保持設備是安裝于軌道的滾輪，所述滾輪的一部分安裝于軌道，且從軌道底面凸出，防止基板因靜電引力而貼緊軌道。

4.根據權利要求3所述的利用靜電懸浮的基板移送裝置，其特征在于，

所述滾輪以導體為材質，向所述滾輪連接電源，作為對基板側導電體的電壓接入設備，使滾輪電氣接觸基板側導電體并滾動，從而通過滾輪使基板靜電懸浮并進行移送。

5.根據權利要求1或2所述的利用靜電懸浮的基板移送裝置，其特征在于，

所述間隔保持設備把RF或高頻一同接入借助于軌道側導電體和基板側導電體形成的電容器與電感器，構成LC諧振電路。

6.一種利用靜電懸浮的基板移送裝置，作為移送基板的裝置，其特征在于，包括：

固定軌道，其形成一個以上的導電體；

基板，其形成一個以上的導電體；以及

電壓接入設備，其在軌道側導電體與基板側導電體之間生成電位差；

具備驅動設備，其借助于所述接入的電壓而使軌道側導電體和基板側導電體帶有電荷，利用作用于帶電的電荷之間的靜電力，使基板懸浮于空中，與軌道保持間隔使得基板不接觸軌道，同時沿著所述軌道使基板移送；

所述電壓接入設備作為電源裝置，把所述電源裝置的(+)極或(-)極連接于軌道側導電體，其余另一極連接電阻(R1)，經所述電阻(R1)，延長為使得接觸基板側導電體的由具有彈性的導體構成的電壓供應線，

經過與所述電阻(R1)分歧并連接所述電源裝置兩端的電阻(R2)，延長為置于基板側導電體與軌道側導電體之間空間的另一電壓供應線，以導電弓方式使基板懸浮，保持基板與軌道的間隙。

7.根據權利要求1所述的利用靜電懸浮的基板移送裝置，其特征在于，

使基板沿著軌道移送的驅動設備包括靜電馬達，

所述靜電馬達包括軌道側導電體和基板側導電體，

所述軌道側導電體以虛線形形成，以相鄰4個隔開的導電體為單位，接入以+/0/-/0或-/0/+/0為一個周期的電壓，

進行基板移送時，所述構成一個單位的導電體的電壓極性，分別分區間地構成0/+/0/-或0/-/0/+中的一方，持續進行基板移送，

所述基板側導電體針對構成所述軌道側導電體虛線的各點狀導電體，交替對應地以帶有間隙的虛線形形成，交替接入+電壓和-電壓，借助于接入軌道側導電體的電壓，使靜電引力與斥力同時作用，以靜電線性馬達方式水平移送基板。

8.根據權利要求1、2或7中任意一項所述的利用靜電懸浮的基板移送裝置，其特征在于，

為了使基板不會因靜電引力而貼緊固定板而是保持既定間隔，

具備感知基板與軌道之間距離的傳感器，

具備控制設備，其通過所述傳感器的感應信息的反饋過程，基板與軌道之間距離如果接近，則降低接入軌道側導電體與基板側導電體之間的電壓，如果疏遠，則提高，從而以基板不接觸軌道而保持既定間隔的狀態移送基板。