[發明專利]測試儀器安裝支架

有效

• 申請號: 201410085894.9
• 申請日: 2014-03-10
• 公開（公告）號: CN103837185A
• 公開（公告）日: 2014-06-04
• 發明（設計）人: 馬力鵬;程蒙
• 申請（專利權）人: 上海華虹宏力半導體制造有限公司
• 主分類號: G01D11/30
• 分類號: G01D11/30;H01L21/67
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 高靜;駱蘇華

技術領域

本發明涉及半導體領域，具體涉及一種測試儀器安裝支架。

背景技術

在集成電路中，在一個半導體的襯底上集成有上萬至百萬個元器件。集成電路高精密度要求，使得集成電路制備的各個步驟在無塵的潔凈腔內完成，以避免集成電路在制備過程中受到污染。此外，在集成電路制備過程中，需要對工藝中的氣壓、溫度、風速等參數進行嚴格控制，以確保獲得的器件的質量。

為此，在集成電路制備工藝開始以前，需要在潔凈腔內安裝測試儀器，進行潔凈腔內的氣壓、溫度、風速等工藝參數的測試，以確保腔室內環境的穩定性，從而提高后續制備工藝各步驟中的氣壓、溫度以及風速調控的準確性。

其中，在測試過程中，為了提高獲得的數據的準確性和全面性，測試儀器需要通過測試儀器安裝支架設置在潔凈腔的中心位置。參考圖1所示，在潔凈腔內，位于中心位置的是用于安裝半導體器件的吸盤裝置12（Chuck），因而在測試支架安裝過程中，需要將吸盤裝置12從潔凈腔的安裝孔11內移除；接著參考圖2所示，現有的測試儀器安裝支架13包括一根固定軸14，在將所述吸盤裝置12移除后，將測試儀器安裝支架13的固定軸14插入所述固定板的安裝孔11內，從而使得測試儀器安裝支架13上的測試儀器位于潔凈腔10的中心位置。待測試結束后，再將測試儀器安裝支架13移除，將所述吸盤裝置12重新安裝在所述安裝孔11內。

然而，現有的測試儀器安裝支架13僅依靠所述固定軸14支撐，在測試過程中，測試支架容易出現晃動，從而影響測試結果；而且，所述潔凈腔10需要保持特定真空度，以確保后續半導體制備工藝各步驟的順利進行，但在測試過程中，吸盤裝置12反復移除，再安裝，會致使吸盤裝置12和固定板磨損，從而降低吸盤裝置12與潔凈腔內的固定板之間的匹配性，以及吸盤裝置12與安裝孔11之間的密封效果，進而降低了潔凈腔10內的密封效果。

此外，在潔凈腔10的固定板下方還設有需要與所述吸盤裝置12連接的線路以及電機等結構，吸盤裝置12的反復拆卸安裝，會導致吸盤裝置12與其他部件之間的連接結構隱患，若吸盤裝置12安裝出現移位等錯誤，在后續半導體制備過程中，會直接導致半導體器件損壞。

為此，如何提高測試過程中，安裝儀器測試穩定性，同時降低測試儀器安裝支架的安裝對于潔凈腔內的部件的損耗，是本領域技術人員亟需解決的問題。

發明內容

本發明解決的問題是提供一種測試儀器安裝支架，以降低測試儀器安裝支架的安裝對潔凈腔內的部件的損耗。

為解決上述問題，本發明提供一種測試儀器安裝支架，包括：

測試儀器安裝支架用于放置于潔凈腔內對測試儀器進行固定支撐，所述潔凈腔的底部設置有晶圓支撐裝置；

所述測試儀器安裝支架包括：

支撐部件，用于容納所述晶圓支撐裝置；

儀器安裝部件，位于所述支撐部件上方，用于固定測試儀器。

如權利要求1所述的測試儀器安裝支架，可選地，

所述晶圓支撐裝置為晶圓吸盤；

所述支撐部件為一端開口一端封閉的筒狀結構，所述筒狀結構的開口端朝向所述潔凈腔的底部放置，所述筒狀結構內的空間用于容納所述晶圓吸盤；

所述儀器安裝部件固定于所述筒狀結構封閉端的上方。

可選地，筒狀結構的高度為10～20cm。

可選地，所述晶圓吸盤為圓形，所述支撐部件為圓筒狀結構；

所述圓筒狀結構的開口端直徑大于所述晶圓吸盤直徑。

可選地，所述圓筒狀結構的開口端直徑與所述晶圓吸盤直徑的差值小于或等于3cm。

可選地，所述儀器安裝部件在所述潔凈腔的底部的投影點位于所述潔凈腔的底部的中心位置。

可選地，所述支撐部件為三角支架，所述三角支架包括三根支桿，所述儀器安裝部件固定在所述三角支架上方，所述三角支架中支桿的下端抵住所述潔凈腔的底部，且所述三根支桿圍繞所述晶圓支撐裝置。

可選地，所述支桿的下端與所述晶圓支撐裝置間的距離為d，3cm≥d＞0cm。

可選地，所述三角支架的高度為10～20cm。

可選地，所述晶圓支撐裝置為圓形的晶圓吸盤，所述三根支桿均勻圍繞所述晶圓吸盤設置。

與現有技術相比，本發明的技術方案具有以下優點：