[發明專利]測試儀器安裝支架有效
| 申請號： | 201410085894.9 | 申請日： | 2014-03-10 |
| 公開（公告）號： | CN103837185A | 公開（公告）日： | 2014-06-04 |
| 發明（設計）人： | 馬力鵬;程蒙 | 申請（專利權）人： | 上海華虹宏力半導體制造有限公司 |
| 主分類號： | G01D11/30 | 分類號： | G01D11/30;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 | 代理人： | 高靜;駱蘇華 |
| 地址： | 201203 上海市浦東*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 測試 儀器 安裝 支架 | ||
1.一種測試儀器安裝支架，其特征在于，測試儀器安裝支架用于放置于潔凈腔內對測試儀器進行固定支撐，所述潔凈腔的底部設置有晶圓支撐裝置；
所述測試儀器安裝支架包括：
支撐部件，用于容納所述晶圓支撐裝置；
儀器安裝部件，位于所述支撐部件上方，用于固定測試儀器。
2.如權利要求1所述的測試儀器安裝支架，其特征在于，
所述晶圓支撐裝置為晶圓吸盤；
所述支撐部件為一端開口一端封閉的筒狀結構，所述筒狀結構的開口端朝向所述潔凈腔的底部放置，所述筒狀結構內的空間用于容納所述晶圓吸盤；
所述儀器安裝部件固定于所述筒狀結構封閉端的上方。
3.如權利要求2所述的測試儀器安裝支架，其特征在于，筒狀結構的高度為10～20cm。
4.如權利要求2所述的測試儀器安裝支架，其特征在于，所述晶圓吸盤為圓形，所述支撐部件為圓筒狀結構；
所述圓筒狀結構的開口端直徑大于所述晶圓吸盤直徑。
5.如權利要求4所述的測試儀器安裝支架，其特征在于，所述圓筒狀結構的開口端直徑與所述晶圓吸盤直徑的差值小于或等于3cm。
6.如權利要求1所述的測試儀器安裝支架，其特征在于，所述儀器安裝部件在所述潔凈腔的底部的投影點位于所述潔凈腔的底部的中心位置。
7.如權利要求1所述的測試儀器安裝支架，其特征在于，所述支撐部件為三角支架，所述三角支架包括三根支桿，所述儀器安裝部件固定在所述三角支架上方，所述三角支架中支桿的下端抵住所述潔凈腔的底部，且所述三根支桿圍繞所述晶圓支撐裝置。
8.如權利要求7所述的測試儀器安裝支架，其特征在于，所述支桿的下端與所述晶圓支撐裝置間的距離為d，3cm≥d＞0cm。
9.如權利要求7所述的測試儀器安裝支架，其特征在于，所述三角支架的高度為10～20cm。
10.如權利要求7所述的測試儀器安裝支架，其特征在于，所述晶圓支撐裝置為圓形的晶圓吸盤，所述三根支桿均勻圍繞所述晶圓吸盤設置。
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