[發明專利]驅動裝置、電子部件輸送裝置以及電子部件檢查裝置

在審

• 申請號: 201410083286.4
• 申請日: 2014-03-07
• 公開（公告）號: CN104218844A
• 公開（公告）日: 2014-12-17
• 發明（設計）人: 松沢明;浦野治;西村義輝;鹽澤雅邦;宮澤修
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: H02N2/02
• 分類號: H02N2/02;G01R31/00;B65G47/74
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 舒艷君;李洋

技術領域

本發明涉及驅動裝置、電子部件輸送裝置、電子部件檢查裝置、機械手以及機器人。

背景技術

已知有利用單獨的驅動電路驅動多個馬達使可動部移動的驅動裝置。這樣的驅動裝置例如作為定位裝置使用，通過利用驅動電路依次驅動使可動部向不同的方向移動的多個馬達，能夠將可動部定位于規定的位置。在以往的定位裝置中，一般使用電磁馬達、脈沖馬達，但需要在按照每個馬達設置用于保持處在非驅動狀態下的轉子不旋轉的制動機構。

對此，提出了使用壓電馬達（壓電致動器）的驅動裝置（例如參照專利文獻1）。由于壓電馬達利用摩擦力向旋轉部傳遞由壓電元件產生的振動，在非驅動狀態下，旋轉部的位置也通過摩擦力而被保持，所以不需要制動機構。因此，在使用了專利文獻1所記載的壓電馬達的驅動裝置中，與使用了電磁馬達、脈沖馬達的驅動裝置相比，能夠實現驅動裝置的小型化、輕型化。

專利文獻1：日本特開2001－136760號公報

然而，在專利文獻1所記載的驅動裝置中，利用單獨的驅動電路驅動各壓電馬達，所以需要與壓電馬達相同數量的驅動電路。因此，存在不易使驅動裝置進一步小型化、輕型化、低成本化這樣的技術問題。

發明內容

本發明是為了解決上述的課題的至少一部分而完成的，能夠作為以下的方式或者應用例來實現。

本發明的驅動裝置的特征在于，具備：多個移動部；使上述移動部移動的馬達；驅動上述馬達的驅動電路；以及使上述馬達和上述驅動電路斷續的斷續部，上述驅動電路的數量比上述馬達的數量少。

由此，通過使馬達與驅動電路斷續來有選擇地驅動馬達，能夠利用共用的驅動電路來分時驅動多個馬達，使移動部移動。據此，能夠使驅動電路的數量相對于馬達的數量減少。其結果，能夠實現驅動裝置的小型化、輕型化、低成本化。

在本發明的驅動裝置中，優選上述馬達為壓電馬達。

由此，能夠進行移動部的微小的移動，能夠提高移動部的定位精度。另外，壓電馬達在停止時有恒定的制動效果，所以即使在施加了外力的情況下移動部也不易位置偏移。

在本發明的驅動裝置中，優選上述驅動裝置具備對上述移動部的移動進行制動的制動部。

由此，即使在施加了較大的外力的情況下移動部也不易位置偏移。

在本發明的驅動裝置中，優選具備多個上述驅動電路。

由此，能夠減少一個驅動電路擔負的馬達的數量，所以能夠延長驅動電路能夠控制一個馬達的時間，由此，能夠進行更多種類的控制。

在本發明的驅動裝置中，優選上述移動部的各自的移動方向不同。

由此，通過切換而獨立地驅動各馬達，使各移動部向不同的方向移動，能夠使對象物容易地、并且精度良好地向所期望的位置移動。

在本發明的驅動裝置中，優選地，多個上述移動部是第1移動部、能夠在與上述第1移動部的移動方向正交的方向上移動的第2移動部、以及在分別與上述第1移動部的移動方向以及上述第2移動部的移動方向正交的方向具有旋轉軸的第3移動部。

由此，通過切換而獨立地驅動各馬達而，使第1移動部、第2移動部、第3移動部向不同的方向移動或者轉動，能夠使對象物容易地、并且精度良好地向所期望的位置移動。

在本發明的驅動裝置中，優選具有基部，上述第1移動部被設置成能夠相對于上述基部移動，上述第3移動部配置在上述第1移動部與上述第2移動部之間。

由此，能夠減小第3移動部的移動方向的慣性力，即使在與第3移動部的移動方向相同的方向施加了加減速的情況下，該第3移動部也不易位置偏移。

在本發明的驅動裝置中，優選上述斷續部設置在各個上述馬達與上述驅動電路之間。

由此，能夠逐個單獨地驅動多個馬達，所以能夠逐個單獨地控制各移動部的移動，由此，能夠使對象物容易地、并且精度良好地向所期望的位置移動。

在本發明的驅動裝置中，優選上述斷續部具有光MOS繼電器。

由此，與由機械式繼電器（電磁繼電器）構成的情況相比，連接以及切斷時的動作時間較短，消耗電力較小，壽命長。由此，能夠提供更高性能且可靠性高的驅動裝置。

在本發明的驅動裝置中，優選上述斷續部具有旋轉開關。

由此，與由光MOS繼電器構成斷續部的情況相比，例如，即使在裝置的維護、調整時，無法輸出使該光MOS繼電器動作的選擇信號的情況下，也能夠手動地使旋轉開關旋轉，而容易地使馬達與驅動電路斷續。