[發(fā)明專利]一種干燥區(qū)間排氣門的控制方法和裝置及干燥區(qū)間設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410081087.X
• 申請日: 2014-03-06
• 公開（公告）號: CN103887211A
• 公開（公告）日: 2014-06-25
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 寇克瑜;于凱;李偉;宋泳珍;白忠飛;王其輝;鄭云亮;董志學(xué);徐國軍;徐言龍
• 申請（專利權(quán)）人: 京東方科技集團(tuán)股份有限公司;北京京東方顯示技術(shù)有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 北京路浩知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11002
• 代理人: 李迪

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種干燥區(qū)間排氣門的控制方法和裝置及干燥區(qū)間設(shè)備。

背景技術(shù)

在薄膜場效應(yīng)晶體管（Thin?Film?Transistor，TFT）-液晶顯示器（Liquid?Crystal?Display，LCD）制造業(yè)中，工藝腔（Process?Chamber）前的干燥區(qū)間被藥液蒸汽污染的問題一直困擾著濕法刻蝕和剝離設(shè)備。干燥區(qū)間排氣門的作用是為了保持區(qū)間內(nèi)的空氣干燥，但是，在圖1中的結(jié)構(gòu)中，當(dāng)干燥區(qū)間1和工藝腔2之間的閥門5開啟，藥液蒸汽經(jīng)實線箭頭所示路徑自干燥區(qū)間1進(jìn)入工藝腔2時，由于干燥區(qū)間排氣門3和工藝腔排氣門4均為開啟狀態(tài)，一部分藥液蒸汽會反向經(jīng)開關(guān)閥門5被干燥區(qū)間排氣門3吸入干燥區(qū)間1中，如圖1虛線所示。此時，干燥區(qū)間1內(nèi)藥液蒸汽中的藥液會遇冷凝結(jié)在干燥區(qū)間1的滾筒和腔壁上，易形成結(jié)晶或污染物。例如，剝離液凝結(jié)會使得玻璃基板產(chǎn)生與滾筒寬度匹配的線狀Mura痕跡，并且不容易洗掉，宏觀觀測的污染物示意圖如圖2所示。

在現(xiàn)有技術(shù)中，一般采用如下兩種方法以盡量減少或避免污染物的出現(xiàn)：一種方法是增大工藝腔排氣門的壓力，使其遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于干燥區(qū)間排氣門的壓力；另一種方法則是去除干燥區(qū)間的排氣門。但是，上述兩種方法均無法較好地達(dá)到目的：第一種方法雖然可以減少污染現(xiàn)象卻不可能完全避免，并且會給廢氣處理環(huán)節(jié)增加非常大的處理壓力和處理成本；而第二種方法會導(dǎo)致少量進(jìn)入干燥區(qū)間的污染性藥液蒸汽或水汽無法排出，長時間積累依然會使干燥區(qū)間慢慢被污染。

發(fā)明內(nèi)容

（一）要解決的技術(shù)問題

本發(fā)明提供干燥區(qū)間排氣門的控制方法和裝置及一種干燥區(qū)間設(shè)備，以解決現(xiàn)有技術(shù)中藥液蒸汽易污染干燥區(qū)間的技術(shù)問題。

（二）技術(shù)方案

為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供一種干燥區(qū)間排氣門的控制方法，包括：

在干燥區(qū)間和工藝腔之間，設(shè)置開關(guān)閥門，在干燥區(qū)間排氣門處設(shè)置聯(lián)動閥門，根據(jù)所述開關(guān)閥門的狀態(tài)控制所述聯(lián)動閥門，使得所述開關(guān)閥門和所述聯(lián)動閥門滿足互鎖關(guān)系。

進(jìn)一步地，所述互鎖關(guān)系為：

當(dāng)所述開關(guān)閥門開啟時，控制所述聯(lián)動閥門關(guān)閉干燥區(qū)間排氣門；當(dāng)所述開關(guān)閥門關(guān)閉時，控制所述聯(lián)動閥門開啟干燥區(qū)間排氣門。

另一方面，本發(fā)明還提供一種干燥區(qū)間排氣門的控制裝置，包括：

開關(guān)閥門，位于干燥區(qū)間和工藝腔之間，用于控制氣流流向；

聯(lián)動閥門，設(shè)置于干燥區(qū)間排氣門處，用于控制干燥區(qū)間排氣門的開啟和關(guān)閉；

互鎖裝置，與所述開關(guān)閥門和所述聯(lián)動閥門相連，用于控制所述關(guān)閥門和所述聯(lián)動閥門滿足互鎖關(guān)系。

進(jìn)一步地，

所述聯(lián)動閥門位于干燥區(qū)間排氣門的干燥區(qū)間腔體內(nèi)側(cè)。

進(jìn)一步地，所述互鎖關(guān)系為：

當(dāng)所述開關(guān)閥門開啟時，控制所述聯(lián)動閥門關(guān)閉干燥區(qū)間排氣門；當(dāng)所述開關(guān)閥門關(guān)閉時，控制所述聯(lián)動閥門開啟干燥區(qū)間排氣門。

再一方面，本發(fā)明還提供一種干燥區(qū)間設(shè)備：包括上述任一項干燥區(qū)間排氣門的控制裝置。

（三）有益效果

可見，在本發(fā)明提出的一種干燥區(qū)間排氣門的控制方法和裝置及干燥區(qū)間設(shè)備中，在干燥區(qū)間排氣門的腔體內(nèi)側(cè)設(shè)置了與開關(guān)閥門聯(lián)動的一個聯(lián)動閥門，以控制當(dāng)開關(guān)閥門打開時聯(lián)動閥門關(guān)閉排氣門，當(dāng)開關(guān)閥門關(guān)閉時聯(lián)動閥門打開排氣門。當(dāng)開關(guān)閥門打開時，藥液蒸汽通過開關(guān)閥門經(jīng)干燥區(qū)間進(jìn)入工藝腔，此時聯(lián)動閥門關(guān)閉，干燥區(qū)間排氣門關(guān)閉，藥液蒸汽不易因干燥區(qū)間排氣門作用倒吸回干燥區(qū)間內(nèi)；而當(dāng)開關(guān)閥門關(guān)閉時，聯(lián)動閥門開啟，干燥區(qū)間排氣門開啟，少量留存在干燥區(qū)間內(nèi)的藥液蒸汽或水汽會隨干燥區(qū)間排氣門排出，使得干燥區(qū)間內(nèi)不會有藥液污染殘留。本發(fā)明有效降低了干燥區(qū)間的污染程度，減少了玻璃基板背面污染物的發(fā)生率，提高了設(shè)備維護(hù)的便利性和產(chǎn)品品質(zhì)。

附圖說明

為了更清楚地說明本發(fā)明實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作一簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖是本發(fā)明的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1是現(xiàn)有技術(shù)中干燥區(qū)間和工藝腔之間的藥液蒸汽氣流示意圖；

圖2是現(xiàn)有技術(shù)中干燥區(qū)間宏觀觀測的roller污染物示意圖；

圖3是本發(fā)明實施例中當(dāng)開關(guān)閥門開啟時，干燥區(qū)間排氣門的控制裝置示意圖；

圖4是本發(fā)明實施例中當(dāng)開關(guān)閥門關(guān)閉時，干燥區(qū)間排氣門的控制裝置示意圖；