[發(fā)明專利]一種干燥區(qū)間排氣門的控制方法和裝置及干燥區(qū)間設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410081087.X
• 申請日: 2014-03-06
• 公開（公告）號: CN103887211A
• 公開（公告）日: 2014-06-25
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 寇克瑜;于凱;李偉;宋泳珍;白忠飛;王其輝;鄭云亮;董志學(xué);徐國軍;徐言龍
• 申請（專利權(quán)）人: 京東方科技集團(tuán)股份有限公司;北京京東方顯示技術(shù)有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 北京路浩知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11002
• 代理人: 李迪

1.一種干燥區(qū)間排氣門的控制方法，其特征在于，包括：

在干燥區(qū)間和工藝腔之間，設(shè)置開關(guān)閥門，在干燥區(qū)間排氣門處設(shè)置聯(lián)動閥門，根據(jù)所述開關(guān)閥門的狀態(tài)控制所述聯(lián)動閥門，使得所述開關(guān)閥門和所述聯(lián)動閥門滿足互鎖關(guān)系。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的干燥區(qū)間排氣門的控制方法，其特征在于，所述互鎖關(guān)系為：

當(dāng)所述開關(guān)閥門開啟時，控制所述聯(lián)動閥門關(guān)閉干燥區(qū)間排氣門；當(dāng)所述開關(guān)閥門關(guān)閉時，控制所述聯(lián)動閥門開啟干燥區(qū)間排氣門。

3.一種干燥區(qū)間排氣門的控制裝置，其特征在于，包括：

開關(guān)閥門，位于干燥區(qū)間和工藝腔之間，用于控制氣流流向；

聯(lián)動閥門，設(shè)置于干燥區(qū)間排氣門處，用于控制干燥區(qū)間排氣門的開啟和關(guān)閉；

互鎖裝置，與所述開關(guān)閥門和所述聯(lián)動閥門相連，用于控制所述開關(guān)閥門和所述聯(lián)動閥門滿足互鎖關(guān)系。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的干燥區(qū)間排氣門的控制裝置，其特征在于：

所述聯(lián)動閥門位于干燥區(qū)間排氣門的干燥區(qū)間腔體內(nèi)側(cè)。

5.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的干燥區(qū)間排氣門的控制裝置，其特征在于，所述互鎖關(guān)系為：

當(dāng)所述開關(guān)閥門開啟時，控制所述聯(lián)動閥門關(guān)閉干燥區(qū)間排氣門；當(dāng)所述開關(guān)閥門關(guān)閉時，控制所述聯(lián)動閥門開啟干燥區(qū)間排氣門。

6.一種干燥區(qū)間設(shè)備，其特征在于：包括如權(quán)利要求3至5中任一項所述的干燥區(qū)間排氣門的控制裝置。