[發明專利]真空泵

有效

• 申請號: 201410080508.7
• 申請日: 2014-03-04
• 公開（公告）號: CN104033395B
• 公開（公告）日: 2017-03-01
• 發明（設計）人: 住本慎
• 申請（專利權）人: 株式會社島津制作所
• 主分類號: F04D19/04
• 分類號: F04D19/04
• 代理公司: 北京中原華和知識產權代理有限責任公司11019
• 代理人: 壽寧,張華輝

技術領域

本發明涉及一種包含含有可動葉片(moving?blade)部與固定葉片部的排氣部的真空泵(Vacuum?pump)。

背景技術

渦輪分子泵(Turbo?Molecular?Pump)等真空泵中，在泵容器內，使包含多段排列的可動葉片部的轉子高速地旋轉，通過可動葉片部、與排列在可動葉片部的各段之間的固定葉片(stationary?blade)部，將氣體分子從吸氣口側移送至排氣埠側。

各段的可動葉片部包含轉子葉片(rotor?blade)，各段的固定葉片部包含定子葉片(statorb1ade)。各固定葉片部是由配設在固定葉片部外周的間隔件而以規定間隔被支撐。固定葉片部是將一對對半分開的環狀構件組合而形成為一個輪狀。也就是說，將對半分開的環狀構件作為對接部的兩個對接端部相互對接而形成一個輪。轉子葉片及定子葉片形成為相對于轉子的旋轉面而傾斜。

作為制作固定葉片部的方法，有通過機械加工而形成的方法、及通過塑性加工而形成的方法。通過塑性加工制作的方法在成本方面有利。

通過塑性加工進行制作的方法是以如下方式進行制作：對金屬板進行壓制加工，利用內周輪圈與外周輪圈將以規定的傾斜角度沿著圓周方向排列的多個定子葉片連結。由于加工時的偏差，對半分開的環狀構件的圓周長有時會比設計尺寸長。因此，在將對半分開的環狀構件的對接端部對接而形成一個輪時，對半分開的環狀構件的對接端部會相互重疊，或者因對接端部彼此的反作用力而使對接端部產生翹曲。

以往，已知有一種結構，在對半分開的環狀構件已對接的狀態下，在內周輪圈的對接面上設置著狹縫(例如，參照專利文獻1)。

背景技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本專利特開2006-77713號公報

發明內容

本發明的主要目的在于，克服現有的真空泵存在的缺陷，如上所述，若加工時對半分開的環狀構件的圓周長出現偏差，則固定葉片部會產生重疊或翹曲。專利文獻1中，對于此類問題，并無應對措施等的記載。而提供一種新的真空泵，所要解決的技術問題是使其抑制由于分割固定葉片部在對接部產生重疊或翹曲而導致組裝時固定葉片部發生變形，非常適于實用。本發明適用于包含將可動葉片部與固定葉片部多段地層疊而成的排氣部的真空泵。

本發明的目的及解決其技術問題是采用以下技術方案來實現的。依據本發明提出的真空泵的固定葉片部包含兩片以上的分割固定葉片部，分割固定葉片部各自在周方向的兩端部包含對接端部，將各分割固定葉片部各自的對接端部相互對接而形成固定葉片部，分割固定葉片部各自包含：由間隔件夾持的外周輪圈；位于固定葉片部的內周側前端的內周輪圈；及多個定子葉片，在外周輪圈與內周輪圈之間以規定寬度在周方向上呈輻射狀延伸，且以規定的葉片角度相對于固定葉片部主體傾斜而形成多個排氣開口；多個分割固定葉片部在相互對接的外周輪圈的對接端部，在至少其中一個外周輪圈上形成著缺口，所述缺口在相對向的另一個外周輪圈之間形成間隙。

本發明的目的及解決其技術問題還可采用以下技術措施進一步實現。

前述的真空泵，其中所述的分割固定葉片部各自是由平板而制作成相同形狀，在各分割固定葉片部的對接端部的其中一個上，由內周輪圈的對接端面、與外周輪圈的對接端面形成第1對接面，在對接端部的另一個上，由內周輪圈的端面、外周輪圈的端面、及形成開口部的緣構件的端面形成第2對接面，將第1對接面與第2對接面相互抵接而形成固定葉片部。

前述的真空泵，其中所述缺口在外周輪圈上設為周方向上具有規定寬度、徑向上具有規定長度的矩形形狀。

前述的真空泵，其中所述的在多個分割固定葉片部對接的內周輪圈中至少其中一個的端面上，設置著從該內周輪圈彎曲的彎曲部。從有效地進行對接作業的觀點出發，優選此種構成。

借由上述技術方案，本發明至少具有下列優點及有益效果：

根據本發明，即便由于分割固定葉片部的加工時的尺寸偏差，導致對接端部間的圓周長形成地比設計尺寸長的情況下，也能夠抑制在組裝固定葉片部時，多個分割固定葉片部的外周輪圈的端部重疊、或分割固定葉片部自身、甚至固定葉片部自身產生翹曲的狀況。

上述說明僅是本發明技術方案的概述，為了能夠更清楚了解本發明的技術手段，而可依照說明書的內容予以實施，并且為了讓本發明的上述和其他目的、特征和優點能夠更明顯易懂，以下特舉較佳實施例，并配合附圖，詳細說明如下。

附圖說明

圖1是作為本發明的真空泵的一個實施方式的渦輪分子泵的截面圖。

圖2是圖1中的區域II的放大圖。