[發(fā)明專利]真空泵

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410080508.7
• 申請日: 2014-03-04
• 公開（公告）號: CN104033395B
• 公開（公告）日: 2017-03-01
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 住本慎
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社島津制作所
• 主分類號: F04D19/04
• 分類號: F04D19/04
• 代理公司: 北京中原華和知識產(chǎn)權(quán)代理有限責任公司11019
• 代理人: 壽寧,張華輝

1.一種真空泵，包含排氣功能部，該排氣功能部是在配置為多段的可動葉片部間分別配置固定葉片部而成，所述固定葉片部是由間隔件夾持，該真空泵的特征在于：

所述固定葉片部包含兩片以上的分割固定葉片部，

所述分割固定葉片部各自在周方向的兩端部包含對接端部，將各分割固定葉片部各自的對接端部相互對接而形成所述固定葉片部，

所述分割固定葉片部各自包含：由所述間隔件夾持的外周輪圈；位于所述固定葉片部的內(nèi)周側(cè)前端的內(nèi)周輪圈；及多個定子葉片，在所述外周輪圈與所述內(nèi)周輪圈之間以規(guī)定寬度在周方向上呈輻射狀延伸，且以規(guī)定的葉片角度相對于固定葉片部主體傾斜而形成多個排氣開口，

所述多個分割固定葉片部在相互對接的外周輪圈的對接端部，在至少其中一個外周輪圈上形成著缺口，所述缺口在相對向的另一個外周輪圈之間形成間隙。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空泵，其特征在于：

所述分割固定葉片部各自是由平板而制作成相同形狀，

在所述各分割固定葉片部的對接端部的其中一個上，由所述內(nèi)周輪圈的對接端面、與所述外周輪圈的對接端面形成第1對接面，在所述對接端部的另一個上，由所述內(nèi)周輪圈的端面、所述外周輪圈的端面、及形成開口部的緣構(gòu)件的端面形成第2對接面，

將所述第1對接面與第2對接面相互抵接而形成所述固定葉片部。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的真空泵，其特征在于：

所述缺口在所述外周輪圈上設(shè)為周方向上具有規(guī)定寬度、徑向上具有規(guī)定長度的矩形形狀。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的真空泵，其特征在于：

在所述多個分割固定葉片部對接的內(nèi)周輪圈中至少其中一個的端面上，設(shè)置著從該內(nèi)周輪圈彎曲的彎曲部。