[發明專利]電子級氫氟酸取樣室

有效

• 申請號: 201410079402.5
• 申請日: 2014-03-05
• 公開（公告）號: CN103822802A
• 公開（公告）日: 2014-05-28
• 發明（設計）人: 胡洪峰
• 申請（專利權）人: 宣城亨泰化工科技有限公司
• 主分類號: G01N1/10
• 分類號: G01N1/10
• 代理公司: 合肥誠興知識產權代理有限公司 34109
• 代理人: 湯茂盛

1.一種電子級氫氟酸取樣室，其特征在于：包括一可自由打開和關閉的盒室（10），盒室（10）內設置有由隔板圍成的用于電子級氫氟酸取樣的取樣間（11），取樣間（11）的敞口處設置有遮擋外部空氣進入取樣間（11）的軟擋風簾（12），取樣間（11）上設置有進氣管口，進氣管口通過氣管（13）與潔凈氣源相連接，盒室（10）內設置有取樣輸送管（14）以及取樣輸送管（14）上設置的放樣閥（15），取樣輸送管（14）的出口端設置在取樣間（11）內部，取樣輸送管（14）的入口端與電子級氫氟酸生產系統中的氫氟酸輸送管道相連通連接。

2.如權利要求1所述的電子級氫氟酸取樣室，其特征在于：盒室（10）為方形，盒室（10）的前側壁設置門口和用于打開、關閉門口的門（15），取樣間（11）上的敞口位置與盒室（10）的門口位置相對應設置，擋風簾（12）為一塑料軟板構成，擋風簾（12）的上側邊部與取樣間（11）的外壁面相固接，擋風簾（12）的各邊部分別延伸設置至敞口外圍與取樣間（11）的外側壁相貼。

3.如權利要求2所述的電子級氫氟酸取樣室，其特征在于：門（15）為透明材料構成。

4.如權利要求1所述的電子級氫氟酸取樣室，其特征在于：取樣間（11）的底部設置有排污管（18），排污管（18）上設置閥門（19）。