[發明專利]電子級氫氟酸取樣室

有效

• 申請號: 201410079402.5
• 申請日: 2014-03-05
• 公開（公告）號: CN103822802A
• 公開（公告）日: 2014-05-28
• 發明（設計）人: 胡洪峰
• 申請（專利權）人: 宣城亨泰化工科技有限公司
• 主分類號: G01N1/10
• 分類號: G01N1/10
• 代理公司: 合肥誠興知識產權代理有限公司 34109
• 代理人: 湯茂盛

技術領域

本發明涉及電子級氫氟酸生產領域，具體涉及一種電子級氫氟酸取樣室。

背景技術

電子級氫氟酸主要用于電子、光伏行業中生產集成電路，要求非金屬元素的含量Cl≤5000ppb、NO₃^-≤3000ppb、PO₄^3－≤1000ppb、SO₄^2－≤5000ppb，金屬元素的含量要求低于10ppb。對于電子級的氫氟酸生產主要是將工業氫氟酸進一步進行氧化和精餾除雜，然后將精餾除雜后的產品輸送進行儲存。現有氫氟酸生產大多采用連續化生產系統進行，為保證產品質量，需不定期對輸送儲存的氫氟酸進行取樣檢測，但是由于制得的產品是電子級氫氟酸，而輸送管道大多半露天設置，因此取樣時需避免空氣中的雜質對氫氟酸的影響，避免取樣被污染，保證檢測的可靠性。

發明內容

本發明的目的是提供一種電子級氫氟酸取樣室，其可有效避免取樣時空氣中的雜質對氫氟酸的污染，提高檢測的可靠性。

為實現上述目的，本發明采用了以下技術方案：

一種電子級氫氟酸取樣室，其特征在于：包括一可自由打開和關閉的盒室，盒室內設置有由隔板圍成的用于電子級氫氟酸取樣的取樣間，取樣間的敞口處設置有遮擋外部空氣進入取樣間的軟擋風簾，取樣間上設置有進氣管口，進氣管口通過氣管與潔凈氣源相連接，盒室內設置有取樣輸送管以及取樣輸送管上設置的放樣閥，取樣輸送管的出口端設置在取樣間內部，取樣輸送管的入口端與電子級氫氟酸生產系統中的氫氟酸輸送管道相連通連接。

上述方案中，在盒室內設置一個小取樣間，在取樣時，通過氣管向小取樣間內通入潔凈氣體，將取樣間內的空氣通過擋風簾與取樣間側壁間的縫隙排凈，然后打開放樣閥進行取樣，取樣時保持取樣間通潔凈空氣，防止整個取樣過程中氫氟酸受空氣污染，保證氫氟酸取樣檢測的準確性。

附圖說明

圖1為本發明的結構示意圖。

具體實施方式

本發明的目的在于提供一種電子級氫氟酸取樣室，由于電子級氫氟酸生產系統是半露天的，在取樣時，即使一陣風吹過也會導致產品受到嚴重污染，檢測的結果不合格，無法準確得知產品的質量。為此本發明采用如圖1所示的技術方案進行實施，一種電子級氫氟酸取樣室，包括一可自由打開和關閉的盒室10，盒室10內設置有由隔板圍成的用于電子級氫氟酸取樣的取樣間11，取樣間11的敞口處設置有遮擋外部空氣進入取樣間11的軟擋風簾12，取樣間11上設置有進氣管口，進氣管口通過氣管13與潔凈氣源相連接，盒室10內設置有取樣輸送管14以及取樣輸送管14上設置的放樣閥15，取樣輸送管14的出口端設置在取樣間11內部，取樣輸送管14的入口端與電子級氫氟酸生產系統中的氫氟酸輸送管道相連通連接。通過在盒室10內設置一較小的取樣間11，取樣間11上開設與潔凈氣源相連接的進氣管口，這樣在取樣時，通過通入潔凈氣體，將取樣間的內的空氣通過擋風簾12與取樣間11側壁間的縫隙排凈，然后打開放樣閥15進行取樣，取樣時保持取樣間11通潔凈空氣，使得取樣間11內保持正壓狀態，防止微風吹過以及外部空氣中雜質進入取樣間11對取樣的氫氟酸進行污染，保證氫氟酸檢測的準確性。

具體的方案為，盒室10為方形，盒室10的前側壁設置門口和用于打開、關閉門口的門15，取樣間11上的敞口位置與盒室10的門口位置相對應設置，擋風簾12為一塑料軟板構成，擋風簾12的上側邊部與取樣間11的外壁面相固接，擋風簾12的各邊部分別延伸設置至敞口外圍與取樣間11的外側壁相貼。放樣閥15設置在取樣間11的外部，便于放樣閥15的操作，門15為透明材料構成，便于觀察盒室10內的情況。由于在取樣時，需先要將上一次取樣時取樣輸送管14內殘存的氫氟酸排出，因此在取樣間11的底部設置有排污管18，排污管18上設置閥門19，殘存的氫氟酸通過排污管18排出。

總之，本發明可有效避免取樣時空氣中的雜質對氫氟酸的污染，提高檢測的可靠性。