[發明專利]振動元件、振子、振蕩器、電子設備及移動體

無效

• 申請號: 201410076565.8
• 申請日: 2014-03-04
• 公開（公告）號: CN104038178A
• 公開（公告）日: 2014-09-10
• 發明（設計）人: 菊島正幸;田中雅子;小幡直久;海野幸浩
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: H03H9/19
• 分類號: H03H9/19;H03H9/02
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 李輝;黃綸偉

技術領域

本發明涉及振動元件、振子、振蕩器、電子設備及移動體。

背景技術

在AT切石英振動元件中，進行激勵的主振動的振動模式為厚度剪切振動（thickness-shear?vibration），適合于小型化、高頻率化，且頻率溫度特性呈現出優異的三次曲線，因此，在壓電振蕩器、電子設備等的多方面被使用。

作為這樣的AT切石英振動元件，例如在專利文獻1中，作為一例而公開了具有如下構造的倒臺面結構的AT切石英振動元件的實施方式：在矩形且較薄的振動部中，三個邊與較厚的厚壁部連接設置，所述較薄的振動部的一邊從厚壁部開口。通過采用這樣的結構，確保較大的振動區域，能夠實現小型化。

但是，在上述實施方式的AT切石英振動元件中，由于所述開口的寬度與沿著和所述寬度相同方向的所述振動部的寬度相等，因此在施加振動（尤其是，厚度方向的加速度）時，振動部發生變形。在振動部變形時，振動特性變化，存在不能得到期望的振蕩特性的問題。

專利文獻1：日本特開2009-164824號公報

發明內容

本發明目的是提供能夠降低由加速度（振動）等外力引起的振動特性變化、發揮穩定的振動特性的振動元件、振子、振蕩器、電子設備及移動體。

本發明是為了解決上述的問題的至少一部分而完成的，能夠作為以下的應用例來實現。

［應用例1］

本應用例的振動元件的特征在于包含：基板，其包含第1區域和第2區域，該第1區域包含以厚度剪切振動進行振動的振動區域，該第2區域與所述第1區域的外緣中的除了一部分外緣以外的外緣一體化，且厚度比所述第1區域厚；一對激勵電極，它們分別設在所述振動區域的互為正反關系的第1主面和第2主面；以及梁部，在從沿著所述主面且與所述厚度剪切振動的振動方向垂直的方向觀察所述一部分的外緣時，所述梁部沿著所述一部分外緣中的、與所述振動區域的被所述一對激勵電極夾著的部分中的靠近所述一部分外緣的部分不重合的外緣進行設置，且厚度大于所述第1區域。

由此，能夠提供可降低由加速度（振動）等的外力引起的振動特性的變化、發揮穩定的振動特性的振動元件。

［應用例2］

在本應用例的振動元件中，優選的是，在設所述梁部的沿著所述振動方向的長度為L1、設所述振動部的厚度為D₂時，滿足10×D₂≤L1≤15×D₂的關系。

由此，能夠更有效地降低由振動等的外力引起的振動特性的變化。

［應用例3］

在本應用例的振動元件中，優選的是，在設所述梁部的沿著與所述振動方向垂直的方向的寬度為W1、設所述振動部的厚度為D₂時，滿足3×D₂≤W1≤10×D₂的關系。

由此，能夠更有效地降低由振動等的外力引起的振動特性的變化。

［應用例4］

在本應用例的振動元件中，優選的是，所述第1區域的輪廓包含：第1邊和第2邊，它們在平面視圖中將所述第1區域夾在彼此之間而排列，沿著與所述振動方向垂直的方向；第3邊，其將所述第1邊的一端與所述第2邊的一端連接起來，沿著所述振動方向；以及第4邊，其將所述第1邊的另一端與所述第2邊的另一端連接起來，沿著所述振動方向，所述第2區域包含：沿著所述第1邊設置的第1厚壁部；沿著所述第2邊設置的第2厚壁部；以及沿著所述第3邊設置的第3厚壁部，所述梁部沿著所述第4邊設置，且與所述第1厚壁部以及所述第2厚壁部中的至少一方連接。

由此，能夠提高振動部的剛性，減少振動部的不需要振動。

［應用例5］

在本應用例的振動元件中，優選的是，所述梁部的緣部包含傾斜緣部，該傾斜緣部在平面視圖中相對于所述厚度剪切振動的振動方向以及與所述振動方向垂直的方向傾斜。

由此，能夠降低梁部附近的應力集中。

［應用例6］

在本應用例的振動元件中，優選的是，在平面視圖中，所述傾斜緣部相對于所述振動方向的傾斜角為30°以上且60°以下。

由此，能夠進一步降低梁部附近的應力集中。

［應用例7］

在本應用例的振動元件中，優選的是，所述第1厚壁部配置有固定部，該固定部安裝于對象物，所述第2厚壁部的沿著所述厚度剪切振動的振動方向的長度為40μm以上且100μm以下。

由此，既能夠確保振動元件的機械強度，又能夠減輕振動元件的前端部的質量。

［應用例8］